一种自动化晶圆切割定位装置的制作方法

[0001]
本实用新型属于切割设备技术领域，具体涉及一种自动化晶圆切割定位装置。


背景技术：

[0002]
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，晶圆需要经过切割成块后，再作为处理器内核使用，现有的晶圆切割过程中，多通过金刚石锯片进行划片，其也是最常见的晶圆划片方式，其是通过机械力直接作用在晶圆上，划片过程易导致晶圆损坏，刀片易磨损需要经常更换，其加工效率低下且加工精度低。
[0003]
为此，公开号为cn208961259u公开了一种自动化晶圆切割定位装置，包括：底座、气动升降台、真空陶瓷吸盘、安装架；所述底座为矩形板状结构；所述气动升降台设置在底座的上侧，且气动升降台与底座通过螺栓固定相连接；所述真空陶瓷吸盘设置在气动升降台的上侧，且真空陶瓷吸盘与气动升降台通过螺栓固定相连接；所述安装架设置在底座的上侧，且安装架与底座通过焊接方式相连接。
[0004]
但仍存在以下不足：当对超出真空陶瓷吸盘支撑面积的晶圆进行切割时，不能对其进行稳固的支撑，影响切割质量；为了保证切割质量，如果换用不同尺寸的真空陶瓷吸盘对晶圆进行稳固支撑，这样无疑又造成了成本的浪费，适用范围小，灵活性差。


技术实现要素：

[0005]
本实用新型的目的在于提供一种自动化晶圆切割定位装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
[0006]
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种自动化晶圆切割定位装置，包括支撑座，所述支撑座的中部固定连接有固定座，所述固定座和支撑座之间滑动贯穿有支撑柱，所述支撑柱的下端与伸缩气缸的输出端固定连接，所述支撑柱的上端固定连接有底板，所述底板的上端固定安装有真空陶瓷吸盘本体，所述底板的两侧均固定连接有固定板，所述支撑座上固定连接有固定杆，所述固定杆的内部滑动连接有调节杆，所述调节杆的端部滑动贯穿至固定板上且固定连接有支撑板，所述支撑板之间插接固定有第一扩展板，所述第一扩展板套设在真空陶瓷吸盘本体的周围。
[0007]
优选的，所述固定杆设有三个且呈环形阵列均匀的分布在支撑座上，所述固定杆的内部设有与调节杆相匹配连接的滑槽，所述调节杆的两侧均固定连接有限位块，所述滑槽的槽壁上设有与限位块相匹配连接的限位槽。
[0008]
此项设置便于对第一扩展板或第二扩展板进行稳固的支撑，牢固性高，有效提高了调节杆与固定杆之间连接结构的稳固性，使得调节杆滑移时稳定性，从而便于带动支撑板随着底板的升降而进行上下滑动，进而使得第一扩展板或第二扩展板能够随着真空陶瓷吸盘本体进行同步的上下移动，使得放置在其上的晶圆高度便于调节，加工方便。
[0009]
优选的，所述固定杆的上端通过弹簧与固定板之间通过弹簧固定连接，所述弹簧套设在调节杆上。
[0010]
此项设置有效提高了固定杆与固定板之间连接结构的稳定性，使得调节杆运动时缓冲效果好，移动稳定性高，从而使得第一扩展板或第二扩展板移动时稳定性高，缓冲防护效果好。
[0011]
优选的，所述支撑座和固定座的内部均设有与支撑柱相匹配连接的导向槽。
[0012]
此项设置有效提高了支撑柱与支撑座以及固定座之间连接结构的稳定性，启动伸缩气缸时便于带动支撑柱进行上下移动，从而便于真空陶瓷吸盘本体高度位置的调节。
[0013]
优选的，所述支撑板的上端至少固定连接有三个定位块，相邻的所述支撑板上的定位块之间呈环形阵列分布，所述第一扩展板上设有与定位块相匹配连接的定位孔，所述定位孔上固定连接有防滑橡胶垫。
[0014]
此项设置有效提高了第一扩展板与支撑板之间连接结构的稳固性，便于第一扩展板插紧固定在支撑板上。
[0015]
优选的，呈环形阵列设置的所述定位块之间还插接有第二扩展板，所述第二扩展板上也设有与定位块相匹配连接的定位孔，所述第一扩展板和第二扩展板均与真空陶瓷吸盘本体间隙相隔，且所述第一扩展板和第二扩展板均与真空陶瓷吸盘本体的顶部平齐。
[0016]
此项设置有效提高了第二扩展板与支撑板之间连接结构的稳固性，便于第二扩展板插紧固定在支撑板上，通过第一扩展板或第二扩展板比那与延伸真空陶瓷吸盘本体的支撑面积，从而便于定位固定不同尺寸的晶圆工件，灵活性强，节约使用成本。
[0017]
与现有技术相比，本实用新型的技术效果和优点：该自动化晶圆切割定位装置，当晶圆工件的尺寸超出真空陶瓷吸盘本体的支撑面积时，可选用适应尺寸的第一扩展板或第二扩展板，插接至对应的定位块上，即把第一扩展板或第二扩展板插紧固定至支撑板上，此时，再把晶圆工件放置到真空陶瓷吸盘本体和第一扩展板上或真空陶瓷吸盘本体和第二扩展板上即可，即可实现对不同尺寸晶圆工件的稳固支撑，并且，通过调节杆、弹簧、滑槽、固定杆、固定板和支撑板的配合作用，带动第一扩展板或第二扩展板与真空陶瓷吸盘本体进行同步升降，即方便调节晶圆工件高度，操作简单更换方便，有效提高了工作效率，避免了再更换真空陶瓷吸盘本体造成的浪费，节约成本。
附图说明
[0018]
图1为本实用新型的结构示意图；
[0019]
图2为本实用新型的第一扩展板俯视结构示意图；
[0020]
图3为本实用新型的当安装第二扩展板时俯视结构示意图；
[0021]
图4为本实用新型的固定杆内部结构示意图。
[0022]
图中：1、支撑座；2、固定座；3、支撑柱；301、导向槽；302、伸缩气缸；4、底板；401、固定板；5、真空陶瓷吸盘本体；6、固定杆；601、调节杆；602、滑槽；603、限位块；604、限位槽；7、支撑板；701、定位块；8、第一扩展板；801、定位孔；9、第二扩展板。
具体实施方式
[0023]
下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的
所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0024]
如图1-4所示，一种自动化晶圆切割定位装置，包括支撑座1，所述支撑座1的中部固定连接有固定座2，所述固定座2和支撑座1之间滑动贯穿有支撑柱3，所述支撑柱3的下端与伸缩气缸302的输出端固定连接，所述支撑柱3的上端固定连接有底板4，所述底板4的上端固定安装有真空陶瓷吸盘本体5，所述底板4的两侧均固定连接有固定板401，所述支撑座1上固定连接有固定杆6，所述固定杆6的内部滑动连接有调节杆601，所述调节杆601的端部滑动贯穿至固定板401上且固定连接有支撑板7，所述支撑板7之间插接固定有第一扩展板8，所述第一扩展板8套设在真空陶瓷吸盘本体5的周围。
[0025]
所述固定杆6设有三个且呈环形阵列均匀的分布在支撑座1上，所述固定杆6的内部设有与调节杆601相匹配连接的滑槽602，所述调节杆601的两侧均固定连接有限位块603，所述滑槽602的槽壁上设有与限位块603相匹配连接的限位槽604；便于对第一扩展板8或第二扩展板9进行稳固的支撑，牢固性高，有效提高了调节杆601与固定杆6之间连接结构的稳固性，使得调节杆601滑移时稳定性，从而便于带动支撑板7随着底板4的升降而进行上下滑动，进而使得第一扩展板8或第二扩展板9能够随着真空陶瓷吸盘本体5进行同步的上下移动，使得放置在其上的晶圆高度便于调节，加工方便。
[0026]
所述固定杆6的上端通过弹簧与固定板401之间通过弹簧固定连接，所述弹簧套设在调节杆601上；有效提高了固定杆6与固定板401之间连接结构的稳定性，使得调节杆601运动时缓冲效果好，移动稳定性高，从而使得第一扩展板8或第二扩展板9移动时稳定性高，缓冲防护效果好。
[0027]
所述支撑座1和固定座2的内部均设有与支撑柱3相匹配连接的导向槽301；有效提高了支撑柱3与支撑座1以及固定座2之间连接结构的稳定性，启动伸缩气缸302时便于带动支撑柱3进行上下移动，从而便于真空陶瓷吸盘本体5高度位置的调节。
[0028]
所述支撑板7的上端至少固定连接有三个定位块701，相邻的所述支撑板7上的定位块701之间呈环形阵列分布，所述第一扩展板8上设有与定位块701相匹配连接的定位孔801，所述定位孔801上固定连接有防滑橡胶垫；有效提高了第一扩展板8与支撑板7之间连接结构的稳固性，便于第一扩展板8插紧固定在支撑板7上。
[0029]
呈环形阵列设置的所述定位块701之间还插接有第二扩展板9，所述第二扩展板9上也设有与定位块701相匹配连接的定位孔801，所述第一扩展板8和第二扩展板9均与真空陶瓷吸盘本体5间隙相隔，且所述第一扩展板8和第二扩展板9均与真空陶瓷吸盘本体5的顶部平齐；有效提高了第二扩展板9与支撑板7之间连接结构的稳固性，便于第二扩展板9插紧固定在支撑板7上，通过第一扩展板8或第二扩展板9比那与延伸真空陶瓷吸盘本体5的支撑面积，从而便于定位固定不同尺寸的晶圆工件，灵活性强，节约使用成本。
[0030]
具体的，使用时，将晶圆工件放置到真空陶瓷吸盘本体5上进行定位固定，启动伸缩气缸302带动支撑柱3进行移动，即把真空陶瓷吸盘本体5及晶圆工件调节至合适的高度，通过激光切割器对晶圆划片后，再通过传统工艺将其完全分离即可，当晶圆工件的尺寸超出真空陶瓷吸盘本体5的支撑面积时，可选用适应尺寸的第一扩展板8或第二扩展板9，插接至对应的定位块701上，即把第一扩展板8或第二扩展板9插紧固定至支撑板7上，此时，再把晶圆工件放置到真空陶瓷吸盘本体5和第一扩展板8上或真空陶瓷吸盘本体5和第二扩展板9上即可，即可实现对不同尺寸晶圆工件的稳固支撑，并且，通过调节杆601、弹簧、滑槽602、
固定杆6、固定板401和支撑板7的配合作用，带动第一扩展板8或第二扩展板9与真空陶瓷吸盘本体5进行同步升降，即方便调节晶圆工件高度，操作简单更换方便，有效提高了工作效率，避免了再更换真空陶瓷吸盘本体5造成的浪费，节约成本。
[0031]
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。