技术特征：
1.一种用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，其特征在于，包括支撑台(1)、多个可活动的垫块(2)、可伸缩的整平机构(3)；所述整平机构(3)设置在所述支撑台(1)上，其中，所述整平机构(3)的伸缩方向垂直于所述支撑台(1)的台面；所述支撑台(1)上设置有圆环槽(4)，其中，多个所述垫块(2)分别可活动的设置在所述圆环槽(4)内，相邻的两个垫块(2)之间留有间距；所述垫块(2)上设置有定位部件(5)，其中，所述定位部件(5)用于将所述圆盘状铝钪靶材定位在所述垫块(2)上，所述铝钪靶材的轮廓位于所述垫块(2)的轮廓内；任一个所述垫块(2)分别能够沿着所述圆环槽(4)移动至所述整平机构(3)和所述支撑台(1)之间，其中，所述整平机构(3)具有舒张状态和收缩状态，当所述整平机构(3)呈舒张状态时，所述整平机构(3)和所述垫块(2)的间距减小，当所述整平机构(3)呈收缩状态时，所述整平机构(3)和所述垫块(2)的间距增大。2.根据权利要求1所述的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，其特征在于，所述定位部件(5)具体为多个可伸缩的定位块；多个所述定位块分别设置在同一个定位圆周上，其中，沿着所述定位圆周的顺时针或逆时针方向，相邻的两个定位块的间距相同；所述定位圆周具有圆心处，其中，任一个所述定位块分别具有舒张状态和收缩状态，当任一个所述定位块呈舒张状态时，所述定位块的舒张方向指向所述圆心处。3.根据权利要求2所述的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，其特征在于，所述定位块包括固定螺栓(501)、活动压块(502)、固定压块(503)、螺旋弹簧(504)、导向部件(505)和连接螺栓(506)；所述固定压块(503)通过固定螺栓(501)设置在所述垫块(2)上；所述活动压块(502)通过连接螺栓(506)可活动的连接于所述固定压块(503)，其中，所述活动压块(502)和所述固定压块(503)之间设置有导向部件(505)和螺旋弹簧(504)，所述导向部件(505)的其中一端可设置在所述活动压块(502)上，所述导向部件(505)的其中另一端可活动的穿透所述固定压块(503)，所述螺旋弹簧(504)套设在所述导向部件(505)上，所述螺旋弹簧(504)的两端分别可接触所述固定压块(503)和所述导向部件(505)。4.根据权利要求1所述的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，其特征在于，所述圆环槽(4)内设置有第一齿圈(6)和第二齿圈(7)；所述垫块(2)呈圆盘状；所述第一齿圈(6)和所述第二齿圈(7)分别呈圆环状，所述第一齿圈(6)的直径大于所述第二齿圈(7)的直径，所述第一齿圈(6)和所述第二齿圈(7)同轴设置在所述圆环槽(4)内，其中，所述第一齿圈(6)相对于所述圆环槽(4)呈可转动状态，所述第二齿圈(7)相对于所述圆环槽(4)呈固定状态；所述第一齿圈(6)设置有内齿圈，所述第二齿圈(7)设置有外齿圈，所述垫块(2)设置在所述第一齿圈(6)和所述第二齿圈(7)之间，其中，所述垫块(2)上的外齿圈分别与所述第一齿圈(6)的内齿圈和所述第二齿圈(7)的外齿圈啮合。5.根据权利要求4所述的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，其特征在于，还包括驱动机构(8)；
所述驱动机构(8)至少包括驱动齿轮(801)；所述第一齿圈(6)上还设置有外齿圈，所述驱动齿轮(801)和所述外齿圈啮合。6.根据权利要求5所述的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，其特征在于，所述驱动机构(8)还包括电机(802)和减速机(803)；所述减速机(803)具有输入端和输出端，所述电机(802)的电机(802)轴同轴连接于所述输入端，所述驱动齿轮(801)同轴连接于所述输出端。7.根据权利要求4所述的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，其特征在于，还包括轴承(9)；所述第一齿圈(6)通过所述轴承(9)呈可转动状态的设置在所述圆环槽(4)内。8.根据权利要求4所述的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，其特征在于，还包括键销(10)；所述第二齿圈(7)上设置有第二键槽，其中，所述第二键槽和所述第二齿圈(7)的内环面相交；所述支撑台(1)上设置有第三键槽，其中，所述第三键槽和所述圆环槽(4)相通；当所述第二键槽和所述第三键槽相通时，所述键销(10)的其中一部分可设置在所述第二键槽内，所述键销(10)的其中另一部分可设置在所述第三键槽内。9.根据权利要求1所述的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，其特征在于，所述圆环槽(4)内还设置有承压块(11)和多个万向滚珠(12)；多个所述万向滚珠(12)分别呈固定状态的设置在所述圆环槽(4)内，其中，任一个万向滚珠(12)分别具有滚珠部件，多个所述滚珠部件的其中一点设置在同一个支撑平面上，所述整平机构(3)的伸缩方向垂直于所述支撑平面；所述承压块(11)呈圆柱状，所述承压块(11)固定设置在所述圆环槽(4)内，其中，所述承压块(11)的其中一端的端面为承压端面，所述承压端面和所述支撑平面共面，或者所述支撑平面设置在所述承压端面和所述整平机构(3)之间、且所述承压端面与所述支撑平面之间的间距小于四分之一的所述滚珠部件的半径。10.根据权利要求5所述的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，其特征在于，还包括控制机构(13)；所述控制机构(13)和所述驱动机构(8)电性连接，其中，所述控制机构(13)用于所述驱动机构(8)的启停。
技术总结
本实用新型涉及铝钪靶材领域，具体是一种用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，包括支撑台、多个可活动的垫块、可伸缩的整平机构；整平机构设置在支撑台上，整平机构的伸缩方向垂直于支撑台的台面；支撑台上设置有圆环槽，多个垫块分别可活动的设置在圆环槽内，相邻的两个垫块之间留有间距；垫块上设置有定位部件，其中，定位部件用于将圆盘状铝钪靶材定位在垫块上，圆盘状铝钪靶材的轮廓位于垫块的轮廓内；任一个垫块分别能够沿着圆环槽移动至整平机构和支撑台之间。相对于现有技术中的靶材与整平构件的定位方式，本实用新型的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，操作的步骤减少，进而操作的时间减少，从而提高了多个铝钪靶材相对整平构件的定位效率。的定位效率。的定位效率。
技术研发人员：陈江伟 何凌男 何建进
受保护的技术使用者：苏州精美科光电材料有限公司
技术研发日：2021.03.01
技术公布日：2021/11/24