一种气体分配盘部件侧孔加工夹具的制作方法

1.本实用新型属于半导体制造技术领域，涉及气体分配盘部件，尤其涉及一种气体分配盘部件侧孔加工夹具。


背景技术：

2.气体分配盘为半导体系统中的重要部件，用于将气体均匀的分布于芯片上方，其表面分布有气孔，且自外向内逐渐减小，包括沿圆周布置的气体供给侧孔。由于气体分配盘中孔的分布空间的特殊性，在侧孔钻孔过程中，容易发生偏移或滑动，造成产品不符合工艺要求。
3.cn204029776u公开了一种用于半导体芯片的加工装置，所述半导体芯片表面的四周边缘区域分布有若干个盲孔；所述晶圆级静电喷涂装置包括腔体、金属托盘、喷嘴和静电发生器，所述喷嘴上端安装有高压气体输入管，喷嘴侧壁安装有用于传输保护光阻液的液体传输管，所述金属托盘设置于腔体底部的中央区域，所述静电发生器的第一电极输出端通过导线连接到金属托盘，所述静电发生器的第二电极输出端通过导线连接到喷嘴，所述半导体芯片放置于所述金属托盘上表面上，所述金属托盘固定于一旋转盘上，此旋转盘下表面连接到电机的输出轴上。
4.cn114161063a公开了一种半导体器件的加工制造装置，包括：底座、夹持部、焊接部、辅助部和降温部，所述底座安装在工作台上，且底座上放置有零件毛坯；所述夹持部由座板、滑动杆a、夹持块和弹性件a组成，且座板共设有两块，并且两块座板均焊接在底座顶端面。每块所述座板上均滑动连接有两根滑动杆a；左侧两根滑动杆a的头端焊接有夹持块，且右侧两根滑动杆a的头端也焊接有夹持块，并且两个夹持块分别位于零件毛坯的左侧和右侧位置；每根滑动杆a上均套接有一个弹性件a，且弹性件a组成了滑动杆a和夹持块的弹性复位结构。
5.cn213224479u公开了一种可多方向夹持的铣削加工夹具，包括支撑板，支撑板顶部设有支撑柱，支撑柱顶部连有工作台，支撑柱外侧壁上转动连有连接齿轮板，连接齿轮板顶部安有两个连接块，连接块顶部安有夹紧缸，夹紧缸活塞杆末端安有夹紧块，支撑板外侧壁上设有电机座，电机座顶部安有减速电机，减速电机输出轴末端连有与连接齿轮板啮合的驱动齿轮。


技术实现要素：

6.针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种气体分配盘部件侧孔加工夹具，解决了气体分配盘侧孔装机问题，保证加工技术要求，能够使得系统具有较高的安全性、稳定性及可靠性。
7.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
8.本实用新型提供了一种气体分配盘部件侧孔加工夹具，所述的气体分配盘部件侧孔加工夹具包括本体与至少两个定位组件，所述的至少两个定位组件对称分布于所述本体
的表面，所述本体的表面开设有限位槽，所述的限位槽内设置有至少两个定位柱，所述的定位组件包括压板，将气体分配盘部件置于所述本体的表面，所述压板的一端可拆卸连接所述的本体，另一端下压气体分配盘部件进行固定。
9.本实用新型提供的气体分配盘部件侧孔加工夹具，解决了气体分配盘侧孔装机问题，保证加工技术要求，提高产品质量，稳定性高，提高了工作效率。
10.作为本实用新型一个优选技术方案，所述的限位槽内设置有定位凸台，所述定位凸台的表面开设至少两个第一通孔。
11.需要说明的是，本实用新型中通过在定位凸台表面开设第一通孔，可将夹具固定至加工车床上，避免在加工过程中发生振动或偏移，导致侧孔不符合要求，降低产品质量。本实用新型中的气体分配盘部件侧孔加工过程可在卧式加工中心内进行。卧式加工中心是指主轴在空间处于水平状态的加工中心，并可以分度旋转工作台。其综合加工能力较强，工件一次装夹后能完成较多的加工内容，加工精度较高，就中等加工难度的批量工件，工作效率是普通设备的5～10倍，特别是它能完成许多普通设备不能完成的加工，特别适用于形状较复杂，精度要求高的单件加工或中小批量多品种生产。
12.作为本实用新型一个优选技术方案，沿所述本体的外缘开设有至少两个避空凹槽。
13.需要说明的是，本实用新型的夹具通过设置避空凹槽，能够防止在实际操作过程中，加工刀具碰撞或损坏气体分配盘部件。
14.作为本实用新型一个优选技术方案，所述的定位组件还包括至少两个固定螺栓，所述压板的表面开设有贯通的定位槽，所述的固定螺栓穿过所述定位槽并连接所述的本体。
15.作为本实用新型一个优选技术方案，所述定位槽的长度大于所述固定螺栓的直径。
16.作为本实用新型一个优选技术方案，所述本体的表面分布有第二通孔，所述的固定螺栓伸入所述第二通孔内进行固定。
17.需要说明的是，本实用新型中的固定螺栓先穿过压板表面的定位槽，再伸入本体表面的第二通孔内进行固定，提高了压板的稳定性，防止压板发生移动；固定螺栓的直径小于定位槽的长度，本领域技术人员可根据实际情况，调整压板的位置，提高夹具的灵活性。
18.作为本实用新型一个优选技术方案，所述本体的横截面为圆形，所述本体的直径420～450mm，例如可以是420mm、425mm、429mm、430mm、432mm、435mm、438mm、440mm、442mm、448mm或450mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
19.所述本体的厚度为20～40mm，例如可以是20mm、22mm、25mm、28mm、30mm、32mm、35mm、36mm、38mm或40mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
20.作为本实用新型一个优选技术方案，所述限位槽的深度为6～12mm，例如可以是6.0mm、6.5mm、7.0mm、7.5mm、8.0mm、8.5mm、9.0mm、9.5mm、10.0mm、10.5mm、11.0mm、11.5mm或12.0mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
21.作为本实用新型一个优选技术方案，所述定位柱的直径为4～7mm，例如可以是4.0mm、4.2mm、4.3mm、4.5mm、4.8mm、5.0mm、5.2mm、5.5mm、5.7mm、5.8mm、6.0mm、6.2mm、
6.5mm、6.8mm或7.0mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
22.作为本实用新型一个优选技术方案，所述避空凹槽的宽度为65～85mm，例如可以是65mm、66mm、68mm、69mm、70mm、72mm、74mm、75mm、78mm、80mm、82mm或85mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
23.本实用新型所述的数值范围不仅包括上述例举的点值，还包括没有例举出的上述数值范围之间的任意的点值，限于篇幅及出于简明的考虑，本实用新型不再穷尽列举所述范围包括的具体点值。
24.与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：
25.本实用新型提供的一种气体分配盘部件侧孔加工夹具，解决了气体分配盘侧孔装机问题，保证加工技术要求，提高产品质量，稳定性高，提高了工作效率。
附图说明
26.图1为本实用新型实施例1提供的气体分配盘部件侧孔加工夹具的结构示意图；
27.图2为本实用新型实施例1提供的本体的结构示意图。
28.其中，1-本体；2-压板；3-限位槽；4-定位凸台；5-定位柱；6-避空凹槽；7-第一通孔；8-第二通孔。
具体实施方式
29.需要理解的是，在本实用新型的描述中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。
30.需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
31.下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
32.在一个具体实施方式中，本实用新型提供了一种气体分配盘部件侧孔加工夹具，所述的气体分配盘部件侧孔加工夹具包括本体1与至少两个定位组件，所述的至少两个定位组件对称分布于所述本体1的表面，所述本体1的表面开设有限位槽3，所述的限位槽3内设置有至少两个定位柱5，所述的定位组件包括压板2，将气体分配盘部件置于所述本体1的表面，所述压板2的一端可拆卸连接所述的本体1，另一端下压气体分配盘部件进行固定。
33.进一步地，所述的限位槽3内设置有定位凸台4，所述定位凸台4的表面开设至少两个第一通孔7。可将夹具固定至加工车床上，避免在加工过程中发生振动或偏移，导致侧孔不符合要求，降低产品质量。
34.进一步地，沿所述本体1的外缘开设有至少两个避空凹槽6，防止在实际操作过程中，加工刀具碰撞或损坏气体分配盘部件。
35.进一步地，所述的定位组件还包括至少两个固定螺栓，所述压板2的表面开设有贯通的定位槽，所述的固定螺栓穿过所述定位槽并连接所述的本体1。
36.进一步地，所述定位槽的长度大于所述固定螺栓的直径。
37.进一步地，所述本体1的表面分布有第二通孔8，所述的固定螺栓伸入所述第二通孔8内进行固定。固定螺栓先穿过压板2表面的定位槽，再伸入本体1表面的第二通孔8内进行固定，提高压板2的稳定性，防止压板2发生移动。
38.进一步地，所述本体1的横截面为圆形，所述本体1的直径420～450mm，所述本体1的厚度为20～40mm。
39.进一步地，所述限位槽3的深度为6～12mm。
40.进一步地，所述定位柱5的直径为4～7mm。
41.进一步地，所述避空凹槽6的宽度为65～85mm。
42.实施例1
43.本实施例提供了一种气体分配盘部件侧孔加工夹具，如图1所示，包括本体1与六个定位组件，两两对称分布于本体1的表面。本体1的横截面为圆形，本体1的直径429mm，本体1的厚度为36mm。如图2所示，本体1的表面开设有深度为10mm的限位槽3，限位槽3内设置有两个定位柱5，定位柱5的直径为5.7mm。限位槽3内设置有定位凸台4，定位凸台4的表面开设四个第一通孔7，用于将加工夹具固定于卧式加工中心。沿本体1的外缘开设有六个避空凹槽6，避空凹槽6的宽度为78mm，以避免在加工过程中，刀具碰撞或损坏气体分配盘部件。
44.定位组件包括压板2与六个固定螺栓，压板2的表面开设有贯通的定位槽。本体1的表面分布六个第二通孔8，将气体分配盘部件置于本体1的表面，压板2的一端下压气体分配盘部件，将固定螺栓穿过定位槽，并伸入第二通孔8内固定，再采用铣刀在气体分配盘部件的侧面加工形成六个侧孔。
45.实施例2
46.本实施例提供了一种气体分配盘部件侧孔加工夹具，包括本体1与六个定位组件，两两对称分布于本体1的表面。本体1的横截面为圆形，本体1的直径440mm，本体1的厚度为40mm。本体1的表面开设有深度为12mm的限位槽3，限位槽3内设置有两个定位柱5，定位柱5的直径为6.4mm。限位槽3内设置有定位凸台4，定位凸台4的表面开设四个第一通孔7，用于将加工夹具固定于卧式加工中心。沿本体1的外缘开设有六个避空凹槽6，避空凹槽6的宽度为82mm，以避免在加工过程中，刀具碰撞或损坏气体分配盘部件。
47.定位组件包括压板2与六个固定螺栓，压板2的表面开设有贯通的定位槽。本体1的表面分布六个第二通孔8，将气体分配盘部件置于本体1的表面，压板2的一端下压气体分配盘部件，将固定螺栓穿过定位槽，并伸入第二通孔8内固定，再采用铣刀在气体分配盘部件的侧面加工形成六个侧孔。
48.实施例3
49.本实施例提供了一种气体分配盘部件侧孔加工夹具，包括本体1与六个定位组件，两两对称分布于本体1的表面。本体1的横截面为圆形，本体1的直径420mm，本体1的厚度为28mm。本体1的表面开设有深度为6mm的限位槽3，限位槽3内设置有两个定位柱5，定位柱5的
直径为4.2mm。限位槽3内设置有定位凸台4，定位凸台4的表面开设四个第一通孔7，用于将加工夹具固定于卧式加工中心。沿本体1的外缘开设有六个避空凹槽6，避空凹槽6的宽度为68mm，以避免在加工过程中，刀具碰撞或损坏气体分配盘部件。
50.定位组件包括压板2与六个固定螺栓，压板2的表面开设有贯通的定位槽。本体1的表面分布六个第二通孔8，将气体分配盘部件置于本体1的表面，压板2的一端下压气体分配盘部件，将固定螺栓穿过定位槽，并伸入第二通孔8内固定，再采用铣刀在气体分配盘部件的侧面加工形成六个侧孔。
51.本实用新型提供的气体分配盘部件侧孔加工夹具，解决了气体分配盘侧孔装机问题，保证加工技术要求，提高产品质量，稳定性高，避免在加工过程中发生振动或偏移，可用于卧式加工中心，提高了工作效率。
52.申请人声明，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本实用新型的保护范围和公开范围之内。