一种用于硅片切割的冷却装置的制作方法

文档序号:33676492发布日期:2023-03-29 15:37阅读:99来源:国知局
一种用于硅片切割的冷却装置的制作方法

1.本实用新型涉及硅片切割机技术领域,具体为一种用于硅片切割的冷却装置。


背景技术:

2.硅片切割机又称硅片激光切割机、激光划片机,是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而实现硅材料的切割,通常硅片切割机的激光发射器是固定状态,而用于放置硅片的放置台是通过系统控制并移动的,在激光切割硅片完毕后,通常是由操作人员手动将硅片取下,而在激光发射器对硅片切割时,会产生极强的热量用以切割硅片,而硅片受到的热量会传导至放置台的上方,而切割机经过长时间的工作,放置台的整体热量则会上升,在操作人员不穿戴防护手套徒手拿取硅片时,手很容易被放置台的高温烫伤,具有一定的危险性。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于提供一种用于硅片切割的冷却装置,使它可以解决硅片切割机在切割硅片后放置板温度较高的问题。
4.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
5.一种用于硅片切割的冷却装置,包括硅片切割机,所述硅片切割机上方左侧滑动连接有滑动台,所述滑动台上端面固定连接有放置板,所述滑动台内部下方中间滑动连接有干冰放置盒,所述干冰放置盒前端面固定连接有顶板,所述顶板前侧固定连接有拉环,所述滑动台后端面中间固定连接有电机,所述电机前侧固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆外侧螺旋连接有第一移动板,所述第一移动板右端面固定连接有微型抽风机。
6.优选的,所述干冰放置盒内部上方滑动连接有隔板,所述微型抽风机右端面固定连接有第二移动板,所述第二移动板内部中间滑动连接有限位杆,所述滑动台内部左方前后两侧固定连接有按压式开关,所述滑动台前端面左侧上方固定连接有控制器。
7.优选的,所述顶板后端面与滑动台接触,所述滑动台前侧中间上方设有进风孔,且滑动台前侧中间上方的进风孔数量为若干,且滑动台前侧中间上方的进风孔口径均为0.75cm。
8.优选的,所述干冰放置盒上端面为敞开状态,且干冰放置盒内部后方上侧设有条形挖槽,且干冰放置盒内部后方上侧的条形挖槽形状与隔板的横切面形状相同,且隔板内侧中间固定交叉型铁网。
9.优选的,所述螺纹杆前端面与滑动台转动连接,所述限位杆前后两侧顶端与滑动台固定连接,且滑动台上端面设有若干圆形挖孔,且滑动台上端面的挖孔口径均为1cm。
10.优选的,所述按压式开关的数量为两个,且按压式开关分布在滑动台内部的左方前后两侧,且滑动台内部前后两侧的按压式开关均与控制器呈电性连接,且控制器与电机呈电性连接,且微型抽风机的出风口位于上方。
11.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
12.1、本实用新型中,通过设置的干冰放置盒、隔板、微型抽风机和进风孔,使得装置可以将干冰放置盒内干冰散发出的冷气通过微型抽风机吹向放置板的底部,再由底部将温度传至整个放置板,实现对放置板进行持续冷却,以解决硅片切割机在切割硅片后放置板温度较高的问题;
13.2、本实用新型中,通过设置的电机、螺纹杆、第一移动板、按压式开关和控制器,使得装置可以让微型抽风机在滑动台内部进行前后滑动,让干冰的冷气喷向放置板的底部更加均匀,降低放置板的整体温度,以解决微型抽风机固定在滑动台内有局限性且降温不均匀的问题。
附图说明
14.图1为本实用新型整体结构示意图;
15.图2为本实用新型滑动台内部侧视结构示意图;
16.图3为本实用新型干冰放置盒立体结构示意图;
17.图4为本实用新型微型抽风机俯视结构示意图。
18.图中:1-硅片切割机、2-滑动台、3-放置板、4-进风孔、5-顶板、6-拉环、7-控制器、8-微型抽风机、9-干冰放置盒、10-电机、11-螺纹杆、12-第一移动板、13-按压式开关、14-隔板、15-第二移动板、16-限位杆。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
20.请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案:
21.一种用于硅片切割的冷却装置,包括硅片切割机1,硅片切割机1上方左侧滑动连接有滑动台2,滑动台2上端面固定连接有放置板3,滑动台2内部下方中间滑动连接有干冰放置盒9,干冰放置盒9前端面固定连接有顶板5,顶板5前侧固定连接有拉环6,滑动台2后端面中间固定连接有电机10,电机10前侧固定连接有螺纹杆11,螺纹杆11外侧螺旋连接有第一移动板12,第一移动板12右端面固定连接有微型抽风机8,干冰放置盒9内部上方滑动连接有隔板14,微型抽风机8右端面固定连接有第二移动板15,第二移动板15内部中间滑动连接有限位杆16,滑动台2内部左方前后两侧固定连接有按压式开关13,滑动台2前端面左侧上方固定连接有控制器7。
22.通过设置的干冰放置盒9、隔板14、微型抽风机8和进风孔4,而顶板5后端面与滑动台2接触,滑动台2前侧中间上方设有进风孔4,且滑动台2前侧中间上方的进风孔4数量为若干,且滑动台2前侧中间上方的进风孔4口径均为0.75cm,同时干冰放置盒9上端面为敞开状态,且干冰放置盒9内部后方上侧设有条形挖槽,且干冰放置盒9内部后方上侧的条形挖槽形状与隔板14的横切面形状相同,且隔板14内侧中间固定交叉型铁网,使得装置可以将干冰放置盒9内干冰散发出的冷气通过微型抽风机8吹向放置板3的底部,再由底部将温度传至整个放置板3,实现对放置板3进行持续冷却,以解决硅片切割机1在切割硅片后放置板3
温度较高的问题;通过设置的电机10、螺纹杆11、第一移动板12、按压式开关13和控制器7,而螺纹杆11前端面与滑动台2转动连接,限位杆16前后两侧顶端与滑动台2固定连接,且滑动台2上端面设有若干圆形挖孔,且滑动台2上端面的挖孔口径均为1cm,同时按压式开关13的数量为两个,且按压式开关13分布在滑动台2内部的左方前后两侧,且滑动台2内部前后两侧的按压式开关13均与控制器7呈电性连接,且控制器7与电机10呈电性连接,且微型抽风机8的出风口位于上方,使得装置可以让微型抽风机8在滑动台2内部进行前后滑动,让干冰的冷气喷向放置板3的底部更加均匀,降低放置板3的整体温度,以解决微型抽风机8固定在滑动台2内有局限性且降温不均匀的问题。
23.工作流程:使用时将干冰放置在干冰放置盒9中,放置的量不超过干冰放置盒9后方的挖槽位置处,放置完毕后取出隔板14,将隔板14插入干冰放置盒9后方的挖槽中,将干冰完全覆盖,随后将干冰放置盒9放入滑动台2内部下方,此时打开微型抽风机8和电机10,首先微型抽风机8将干冰散发的冷气吹向放置3板的底部,而电机10则带动螺纹杆11旋转,螺纹杆11外侧的第一移动板12则带动微型抽风机8进行前后移动,而微型抽风机8右端面的第二移动板15则在限位杆16外侧滑动,让放置板3底部散热更加均匀,当第一移动板12移动至滑动台2前后两侧内壁时,第一移动板12的前后两侧挤压按压式开关13,按压式开关13产生电流导向控制器7,再由控制器7控制电机10进行反转,以此往复,让微型抽风机8在滑动台2内部前后循环移动,此时操作人员可将硅片放置在放置板3的上方,调整硅片切割机1的激光发射器,激光发射器发射的激光将硅片切割,放置板3上方被激光发射器切割硅片所产生的温度被干冰和微型抽风机8进行抵消,让放置板3的整体温度下降,防止操作人员手拿硅片时被高温烫伤。
24.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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