一种具有定位夹持结构的晶圆切割机的制作方法

本发明涉及晶圆，具体为一种具有定位夹持结构的晶圆切割机。

背景技术：

1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品，尤其是随着光电产业的迅猛发展，高集成和高性能的半导体晶圆需求也越来越大，然而晶圆切割是半导体封测工艺当中的一个不可或缺的工序，所以晶圆激光切割设备的使用也是越来越多，现有专利(申请号201721783713.5)公开了一种激光晶圆切割机定位装置，其背景中也提到原有的晶圆激光切割设备没有定位固定结构，半导体晶圆产生抖动影响激光切割头切割准确性。

2、综上所述，上述案例中提出：原有的晶圆激光切割设备没有定位固定结构，半导体晶圆产生抖动影响激光切割头切割准确性，同时现有的激光切割机工作不可避免废料的产生，若不及时清理废料，激光切割机的加工精度必然会降低、柔性化差，严重时还会损伤激光切割头，耗费人力财力的情况，依次现有的激光切割机工作会产生激光和烟雾粉尘的情况，并且烟雾粉尘会飘散于工作环境中会影响操作者的身体健康情况，同时激光切割机工作产生的激光让操作者眼睛长时间接触时，这样就容易导致操作者眼睛出现光晕影响后期的设备操作。

技术实现思路

1、本发明的目的在于针对现有技术的不足之处，提供一种具有定位夹持结构的晶圆切割机，以解决上述背景技术中提出通过的原有的晶圆激光切割设备没有定位固定结构，半导体晶圆产生抖动影响激光切割头切割准确性，同时现有的激光切割机工作不可避免废料的产生，若不及时清理废料，激光切割机的加工精度必然会降低、柔性化差，严重时还会损伤激光切割头，耗费人力财力的情况，依次现有的激光切割机工作会产生激光和烟雾粉尘的情况，并且烟雾粉尘会飘散于工作环境中会影响操作者的身体健康情况，同时激光切割机工作产生的激光让操作者眼睛长时间接触时，这样就容易导致操作者眼睛出现光晕影响后期的设备操作。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种具有定位夹持结构的晶圆切割机，包括有对定位夹持结构安装设置的控制切割结构，所述控制切割结构设有对切割吸尘组件安装设置的支撑防护组件，且支撑防护组件包括带有限位槽的工作板，同时工作板底部设有带安装槽的安装柱，依次安装柱之间通过固定板连接设置；

3、所述工作板上设有带固定槽的安装罩，且安装罩通过安装罩内部设有对操作者眼睛防护的防护镜片，同时防护镜片通过安装罩一侧设有对零部件控制调节的控制箱。

4、通过采用上述技术方案，通过设置的安装罩从而起到开设和安装设置效果。

5、优选的，所述切割吸尘组件包括底部设有连接块的滚珠螺母，且滚珠螺母通过连接块设有对晶圆激光切割的切割激光切割头，同时滚珠螺母贯穿滚珠丝杆有驱动电机连接设置。

6、通过采用上述技术方案，通过设置的滚珠螺母从而起到贯穿和驱动调节设置效果。

7、优选的，所述滚珠螺母上通过连接柱与通孔块连接设置，且通孔块贯穿连接杆活动设置于滚珠螺母上。

8、通过采用上述技术方案，通过设置的通孔块从而起到辅助导向调节效果。

9、优选的，所述通孔块通过安装罩上设有内部呈中空结构的除烟室，且除烟室下方镶嵌设有方便卧式风机安装设置的通管，同时通管通过除烟室内部设有对烟雾净化去除的烟雾过滤器。

10、通过采用上述技术方案，通过设置的烟雾过滤器从而对烟雾中的有害物质起到净化过滤效果。

11、优选的，所述定位夹持结构包括对定位夹持组件驱动调节的升降组件，且升降组件包括两侧设有滑块的调节板，同时调节板底部设有对调节板驱动调节的电动气缸，依次调节板通过滑杆贯穿滑块活动设置于安装柱之间。

12、通过采用上述技术方案，通过设置的调节板从而起到三向连接设置和升降驱动调节效果。

13、优选的，所述调节板上通过固定柱设有带通槽的配套块，且配套块通过通槽内部设有转动调节的连接轴承，同时连接轴承内环设有对定位夹持组件零部件安装设置的连接盘，依次连接盘底部设有对连接盘转动调节的输出电机。

14、通过采用上述技术方案，通过设置的连接轴承从而起到内、外环安装设置效果。

15、优选的，所述定位夹持组件包括内部开设有漏孔的凹盘，且凹盘内部设有方便切割废料下滑落料的弧形导板，同时弧形导板通过支撑柱和凹盘设置于连接盘上。

16、通过采用上述技术方案，通过设置的弧形导板从而起到废料导流输送效果。

17、优选的，所述凹盘内部设有带吸盘的t形柱，且t形柱通过凹盘内环周围设有驱动调节的调节杆，同时弹簧杆输出端设有对晶圆驱动夹持的凹块。

18、通过采用上述技术方案，通过设置的弹簧杆从而起到双向连接设置和受力驱动调节效果。

19、优选的，所述凹块通过凹槽之间设有增加晶圆阻力和对晶圆周围防护的橡胶垫，且橡胶垫通过支撑柱下方设有废料收集的收集箱。

20、通过采用上述技术方案，通过设置的凹块从而对晶圆起到调节定位连接设置效果。

21、与现有技术相比，本发明的有益效果是：该具有定位夹持结构的晶圆切割机，

22、(1)本案例通过定位夹持结构中设置的：定位夹持组件，从而解决原有的晶圆激光切割设备没有定位固定结构，半导体晶圆产生抖动影响激光切割头切割准确性的情况，同时现有的激光切割机工作不可避免废料的产生，若不及时清理废料，激光切割机的加工精度必然会降低、柔性化差，严重时还会损伤激光切割头，耗费人力财力的情况，当晶圆需要夹持固定时，此时操作者握住晶圆使一侧与凹块受力接触，此时凹块通过橡胶垫对弹簧杆受力挤压，当晶圆一侧安装设置时，此时弹簧杆弹性恢复使晶圆另一侧与其它凹块受力接触，当晶圆四周连接限位时，此时吸盘对晶圆起到二次吸附固定限位，并且晶圆切割过程中产生的废料通过弧形导板输送于收集箱内部收集，通过收集箱对晶圆废料收集从而避免上述的情况，同时利用设置的定位夹持组件依次适应对不同直径的晶圆定位夹持固定，再次避免上述的情况；

23、(2)通过控制切割结构中设置的：支撑防护组件，从而解决激光切割机工作产生的激光让操作者眼睛长时间接触时，这样就容易导致操作者眼睛出现光晕影响后期的设备操作情况，当激光设备工作过程中此时工作过程中产生的激光通过防护镜片起到隔离效果，避免激光暴露和扩散于工作环境外部，导致行人或者操作者眼睛接触导致激光时导致眼睛出现疲劳和光晕的情况，同时利用设置的支撑防护组件依次避免上述的情况；

24、(3)通过控制切割结构中设置的：切割吸尘组件，从而解决烟雾粉尘会飘散于工作环境中会影响操作者的身体健康情况，当激光设备工作过程中产生的烟雾粉尘通过卧式风机输送于除烟室内部，进入于除烟室内部的烟雾通过烟雾过滤器进行净化过滤，并且净化过滤后的烟雾从而排放于工作环境中，利用设置的切割吸尘组件同时避免上述的情况，依次对操作者和行人的身体健康起到保护效果；

25、(4)通过通过定位夹持结构中设置的：升降组件，从而解决定位夹持组件对晶圆夹持后无法调节于防护镜片位置进行激光切割，导致设置的防护镜片无法对眼睛起到防护的情况，当晶圆夹持后，此时操作者控制电动气缸工作，电动气缸工作过程中通过调节板带动升降组件受力运动，升降组件受力运动过程中带动晶圆调节于相应的位置进行激光切割处理，利用设置的升降组件同时避免上述的情况，依次避免取放工件在工作板上都需要使用人员将晶圆放置切割机的工作板上，由于工作板与切割机比较近，这样工作人员在取放时会对自身安全造成一定的影响的情况。