氮化铝陶瓷基片自动化划线设备的制作方法

本技术涉及氮化铝陶瓷基片，特别是涉及一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备。

背景技术：

1、氮化铝具有优良的导热性（为氧化铝陶瓷的 5-10倍），较低的介电常数和清洗介质损耗，可靠的绝缘性能，优良的力学性能，无毒，耐高温，耐化学腐蚀，且与硅的热膨胀系数相近，广泛应用于通讯器件、高亮度led、电力电子器件等行业，是理想的大规模集成电路散热基板和封装材料。

2、氮化铝陶瓷基板采用流延法进行加工时，通常先在陶瓷粉料中加入溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂等成分，球磨得到稳定、均一的陶瓷浆料，陶瓷浆料经过脱泡处理后在流延机上进行流延，干燥后形成一层生瓷片，生瓷片按照需要的尺寸进行划线、清洗、排胶、烧结、切割等工序，得到陶瓷薄片。

3、相关技术中，在氮化铝陶瓷基板的划线工艺过程中，工作人员先将氮化铝陶瓷基板固定于激光设备的工作台上，再通过激光设备形成激光束对氮化铝陶瓷基板进行划线，再等加工后的氮化铝陶瓷基板降温后，工作人员将其取出，同时，氮化铝陶瓷基板表面会被激光烧蚀形成凹槽，在激光烧蚀过程中氮化铝陶瓷基板会出现大量的浮粉，浮粉会四处漂浮，工作人员在取出加工后的氮化铝陶瓷基板不可避免地呼吸到浮粉，上述过程不仅导致氮化铝陶瓷基板的加工效率低，还影响工作人员的身体健康。

技术实现思路

1、基于此，提供一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备，以解决相关技术中人工上下料导致加工效率较低，工作人员在取出加工后的氮化铝陶瓷基板不可避免地呼吸到浮粉，上述过程不仅导致氮化铝陶瓷基板的加工效率低，还影响工作人员的身体健康的问题。

2、一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备，包括设备主体、第一对射传感器组、第二对射传感器组、储料机构和上料机构，所述设备主体开设有内腔，所述储料机构为两个，所述两个储料机构一者、所述上料机构和所述两个储料机构另一者依次间隔设于所述内腔中，所述上料储料机构包括第一支架、抬升板、圆柱齿条、对射传感器组和第一驱动电机，所述第一驱动电机设于所述第一支架上，所述第一支架沿重力方向开设有第一通孔，所述第一通孔中设置有线性轴承，所述圆柱齿条与所述线性轴承滑动配合，所述圆柱齿条的一端与所述第一驱动电机的驱动端啮合配合，所述圆柱齿条的另一端与所述抬升板相连，所述第一支架的周缘均布设置有四个限位柱，所述四个限位柱形成承载空间，所述第一对射传感器组设于所述两个第一支架一者上，在所述第一对射传感器组处于第一状态的情况下，所述两个储料机构一者承载有多个叠置的氮化铝陶瓷基片，在所述两个储料机构一者中，所述第一驱动电机驱动所述圆柱齿条沿重力方向相反的方向移动预设距离，所述抬升板随所述圆柱齿条移动，所述多个叠置的氮化铝陶瓷基片随所述抬升板移动，所述上料机构抓取所述多个叠置的氮化铝陶瓷基片中远离所述抬升板的一者；在所述第二对射传感器组处于第二状态的情况下，在所述两个储料机构另一者中，所述第一驱动电机驱动所述圆柱齿条沿所述重力方向移动所述预设距离，所述抬升板随所述圆柱齿条移动，所述上料机构将加工后的氮化铝陶瓷基片放置于所述抬升板上。

3、优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备中，所述设备主体包括壳体、工装夹具、工作台、激光组件、第一吹风机、第一驱动气缸和集尘筒，所述壳体开设有所述内腔，所述工作台和所述激光组件设于所述内腔中，所述工装夹具设于所述工作台上，所述激光组件与所述工装夹具沿重力方向相对，所述第一驱动气缸设于所述工作台上，所述第一吹风机与第一驱动气缸的驱动端相连，所述集尘筒设于所述内腔中，在所述第一驱动气缸处于第三状态的情况下，所述第一吹风机、所述工装夹具和所述集尘筒沿第一方向依次间隔设置，所述第一吹风机开启。

4、优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备中，所述工作台包括基座、第一支撑架、第一安装板、第一连接板和第一伺服电机，所述基座设于所述内腔中，所述第一支撑架设于所述基座上，所述工装夹具设于所述第一连接板上，所述第一驱动气缸设于所述第一连接板上，所述第一连接板设于所述第一安装板上，所述第一支撑架邻近所述基座的一侧设置有第一导轨和第一齿条，所述第一安装板设置有第一滑块，所述第一安装板与所述第一支撑架通过所述第一滑块与所述第一导轨滑动配合，所述第一伺服电机设于所述第一安装板上，所述第一伺服电机的驱动端与所述第一齿条啮合配合。

5、优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备中，所述工作台包括基座、第一支撑架、第二支撑架、第一安装板、第二安装板、第一连接板、第二连接板、第一伺服电机和第二伺服电机，所述基座设于所述内腔中，所述第一支撑架设于所述基座上，所述第一连接板设于所述第一安装板上，所述第一支撑架邻近所述基座的一侧设置有第一导轨和第一齿条，所述第一安装板设置有第一滑块，所述第一安装板与所述第一支撑架通过所述第一滑块与所述第一导轨滑动配合，所述第一伺服电机设于所述第一安装板上，所述第一伺服电机的驱动端与所述第一齿条啮合配合，所述第一伺服电机可驱动所述第一安装板沿第二方向移动；所述第二支架设于所述第一连接板上，所述第二连接板设于所述第二安装板上，所述工装夹具设于所述第二连接板上，所述第一驱动气缸设于所述第二连接板上，所述第二支撑架邻近所述基座的一侧设置有第二导轨和第二齿条，所述第二安装板设置有第二滑块，所述第二安装板与所述第二支撑架通过所述第二滑块与所述第二导轨滑动配合，所述第二伺服电机设于所述第二安装板上，所述第二伺服电机的驱动端与所述第二齿条啮合配合，所述第二伺服电机可驱动所述第二安装板沿所述第一方向移动，其中，所述第一方向与所述第二方向相交。

6、优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备中，所述上料机构包括第二支架、第二驱动电机、第二驱动气缸、第三驱动气缸和抓取气爪，所述第二驱动电机设于第二支架上，所述第二驱动电机的驱动端与所述第二驱动气缸相连，所述第二驱动电机可驱动所述第二驱动气缸转动，所述第三驱动气缸与所述第二驱动气缸的伸缩端相连，所述抓取手爪与所述第三驱动气缸的伸缩端相连。

7、优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备中，还包括储尘仓，所述储尘仓的开口伸入所述内腔与所述集尘筒相连、且连通。

8、优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备中，所述储尘仓中设置有吸尘器。

9、优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备中，激光组件包括连接轴、补光灯、激光发射器和第二吹风机，所述连接轴设于所述内腔中，所述连接轴上设置有连接板，所述补光灯、所述激光发射器和所述第二吹风机均设于所述连接板上。

10、优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备中，还包括连接护罩件和接近传感器，所述连接护罩件设置于所述工装夹具上，所述接近传感器设于所述连接护罩件上，在所述接近传感器检测所述上料机构将所述氮化铝陶瓷基片放置于所述工装夹具上的情况下，所述激光发射器和所述补光灯均开启。

11、本技术采用的技术方案能够达到以下有益效果：

12、在本技术公开的氮化铝陶瓷基片自动化划线设备中，具体地，设备主体开设有内腔，储料机构为两个，两个储料机构一者、上料机构和两个储料机构另一者依次间隔设于内腔中，上料储料机构包括第一支架、抬升板、圆柱齿条、对射传感器组和第一驱动电机，第一驱动电机设于第一支架上，第一支架沿重力方向开设有第一通孔，第一通孔中设置有线性轴承，圆柱齿条与线性轴承滑动配合，圆柱齿条的一端与第一驱动电机的驱动端啮合配合，圆柱齿条的另一端与抬升板相连，第一支架的周缘均布设置有四个限位柱，四个限位柱形成承载空间，第一对射传感器组设于两个第一支架一者上，第二对射传感器组设于两个第一支架另一者上，在第一对射传感器组处于第一状态（即第一对射传感器检测不到承载空间中的多个叠置的氮化铝陶瓷基片远离抬升板的一者）的情况下，两个储料机构一者承载有多个叠置的氮化铝陶瓷基片，在两个储料机构一者中，第一驱动电机驱动圆柱齿条沿重力方向相反的方向移动预设距离，抬升板随圆柱齿条移动，多个叠置的氮化铝陶瓷基片随抬升板移动，上料机构抓取多个叠置的氮化铝陶瓷基片中远离抬升板的一者；在第二对射传感器组处于第二状态（即第二对射传感器检测到承载空间中的多个叠置的氮化铝陶瓷基片远离抬升板的一者）的情况下，在两个储料机构另一者中，第一驱动电机驱动圆柱齿条沿重力方向移动预设距离，抬升板随圆柱齿条移动，上料机构将加工后的氮化铝陶瓷基片放置于抬升板上。

13、在氮化铝陶瓷基片自动化划线设备的使用过程中，两个储料机构一者的承载空间中承载有多个叠置的氮化铝陶瓷基片，多个叠置的氮化铝陶瓷基片处于待加工状态，由于第一对射传感器组设于两个第一支架一者上，当第一对射传感器组检测不到承载空间中的多个叠置的氮化铝陶瓷基片远离抬升板的一者，即多个叠置的氮化铝陶瓷基片中一者被上料机构抓取并放置至设备主体上，则在两个储料机构一者中，第一驱动电机驱动圆柱齿条沿重力方向相反的方向移动预设距离（即预设距离为氮化铝陶瓷基片的厚度），抬升板随圆柱齿条移动，多个叠置的氮化铝陶瓷基片随抬升板移动，以使第一对射传感器组能够检测到多个叠置的氮化铝陶瓷基片远离抬升板的一者，然后上料机构能够再次抓取多个叠置的氮化铝陶瓷基片中远离抬升板的一者；第二对射传感器组检测到承载空间中的多个叠置的氮化铝陶瓷基片远离抬升板的一者（多个叠置的氮化铝陶瓷基片处于已加工状态），第一驱动电机驱动圆柱齿条沿重力方向移动预设距离，抬升板随圆柱齿条移动，上料机构将加工后的氮化铝陶瓷基片放置于抬升板上。可见，上述结构实现氮化铝陶瓷基板加工的自动化设计，从而避免工作人员需要每加工一个氮化铝陶瓷基片就要停机来上下料，从而提高加工效率。