1.一种用于晶圆切割的激光划片装置,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)的上表面安装有x轴运动平台(2)和y轴运动平台(4),所述x轴运动平台(2)上驱动有θ轴旋转平台(3),所述y轴运动平台(4)上驱动有折射管(5),所述折射管(5)内安装有反射镜(12),所述折射管(5)的一侧安装有与反射镜(12)对应的激光发生器(10),所述折射管(5)的上端安装有与反射镜(12)对应的ccd相机(11),所述折射管(5)的下端安装有对焦单元(6),所述对焦单元(6)包括连接套(61),所述连接套(61)内滑动连接有活动套(62),所述活动套(62)内安装有第一聚焦镜(63),所述连接套(61)的内壁开设有多个直槽(64),所述活动套(62)的外壁固定连接有多个分别与多个直槽(64)滑动连接的滑杆(65),所述连接套(61)的外壁安装有用于带动活动套(62)上下移动的驱动单元(9),所述折射管(5)的下端内壁安装有用于调节激光束照射范围的调节单元(7),所述活动套(62)的下端安装有用于对第一聚焦镜(63)进行保护的防护单元(8)。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆切割的激光划片装置,其特征在于,所述驱动单元(9)包括调节套(91)和电机(92),所述调节套(91)与连接套(61)的外壁转动连接,所述调节套(91)的内壁开设有多个斜槽(95),所述滑杆(65)的一端穿设至斜槽(95)内,所述电机(92)安装在连接套(61)的外壁,所述电机(92)的输出轴固定连接有齿轮(93),所述调节套(91)的外壁固定连接有与齿轮(93)啮合连接的齿环(94)。
3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆切割的激光划片装置,其特征在于,所述调节单元(7)包括开设在折射管(5)下端内壁的两个限位槽(71),所述限位槽(71)和折射管(5)之间滑动连接有第二聚焦镜(72),其中一个所述限位槽(71)内固定连接有限位杆(73),另一个所述限位槽(71)的上端开设让位孔(75),且该所述限位槽(71)内转动连接有螺纹杆(74),所述第二聚焦镜(72)与限位杆(73)的外壁滑动连接,所述螺纹杆(74)穿设第二聚焦镜(72)并与其螺纹连接,所述螺纹杆(74)的上端固定连接有第一伞齿(76),所述折射管(5)的外壁转动连接有转杆(78),所述转杆(78)的一端延伸至让位孔(75)内并固定连接有与第一伞齿(76)啮合连接的第二伞齿(77),所述转杆(78)的另一端固定连接有转头(79)。
4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆切割的激光划片装置,其特征在于,所述调节单元(7)还包括开设在折射管(5)外壁的观察槽(710),所述观察槽(710)与其中一个限位槽(71)连通。
5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆切割的激光划片装置,其特征在于,所述调节单元(7)还包括设在折射管(5)外壁的刻度线(711),所述刻度线(711)与观察槽(710)对应。
6.根据权利要求4所述的一种用于晶圆切割的激光划片装置,其特征在于,所述调节单元(7)还包括转动连接在折射管(5)外壁的遮挡套(712),所述遮挡套(712)的外壁开设有让位口(713),所述让位口(713)与观察槽(710)对应。
7.根据权利要求2所述的一种用于晶圆切割的激光划片装置,其特征在于,所述防护单元(8)包括连接环(81),所述连接环(81)与活动套(62)的外壁转动连接,所述连接环(81)的底面固定连接有插套(84),所述插套(84)的内壁开设有多个出气孔(85),所述插套(84)的外壁安装有与内部连通的进气管(82)。
8.根据权利要求7所述的一种用于晶圆切割的激光划片装置,其特征在于,所述防护单元(8)还包括遮挡板(83),所述遮挡板(83)与插套(84)对应并活动插接。
9.根据权利要求1所述的一种用于晶圆切割的激光划片装置,其特征在于,所述激光发生器(10)的输出端安装有激光准直镜(13),所述激光准直镜(13)与折射管(5)的外壁安装并与反射镜(12)对应。
10.一种激光划片装置的定位方法,其特征在于,使用权利要求1-9中任意一项所述的用于晶圆切割的激光划片装置,具体方法如下: