1.一种靶材组件的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，步骤(1)所述靶材包括铝靶材；
3.根据权利要求1或2所述的焊接方法，其特征在于，步骤(1)所述装配前将靶材和背板依次进行机加工、清洗和干燥。
4.根据权利要求3所述的焊接方法，其特征在于，步骤(1)所述机加工包括机加工坡口和机加工螺纹；
5.根据权利要求3所述的焊接方法，其特征在于，步骤(1)所述清洗的洗液包括异丙酮；
6.根据权利要求1-5任一项所述的焊接方法，其特征在于，步骤(1)所述焊丝包括铝焊丝；
7.根据权利要求1-6任一项所述的焊接方法，其特征在于，步骤(1)所述坡口的形状包括v形；
8.根据权利要求1-7任一项所述的焊接方法，其特征在于，步骤(2)所述扩散焊接处理包括依次进行的抽真空和热等静压焊接。
9.根据权利要求8所述的焊接方法，其特征在于，步骤(2)所述抽真空的终点真空度＜0.001pa；
10.根据权利要求1-9任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括以下步骤：