一种飞秒激光加工热敏金属材料的方法及系统与流程

文档序号:39688411发布日期:2024-10-18 13:46阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于飞秒激光系统的飞秒激光加工热敏金属材料的方法,其特征在于,所述飞秒激光系统包括:飞秒激光器、光学模块、高能飞秒激光长工作距离聚焦镜、运动平台、成像模块、上位机和控制模块;所述高能飞秒激光长工作距离聚焦镜为空气间隙聚焦镜;

2.根据权利要求1所述的飞秒激光加工热敏金属材料的方法,其特征在于,所述飞秒激光束平均功率在0.7w-4w之间;

3.根据权利要求1所述的飞秒激光加工热敏金属材料的方法,其特征在于,所述平台坐标原点和平台路径坐标子集中的每一个坐标包括:x1坐标、y1坐标、δ坐标,其中x1坐标为水平方向的横坐标,y1坐标为水平方向的纵坐标,δ坐标为旋转角度;

4.根据权利要求1所述的飞秒激光加工热敏金属材料的方法,其特征在于,所述光学模块包括:可变光束扩束器、反射镜、二分之一波片、四分之一波片和二向色镜;

5.根据权利要求1所述的飞秒激光加工热敏金属材料的方法,其特征在于,所述成像模块包括高分辨率相机;

6.根据权利要求1所述的飞秒激光加工热敏金属材料的方法,其特征在于,所述空气间隙聚焦镜的结构为三片式分离结构;

7.根据权利要求1所述的飞秒激光加工热敏金属材料的方法,其特征在于,在所述上位机获取工艺程序数据之前,所述方法还包括对所述待加工热敏金属材料进行预处理;所述预处理具体包括:将所述待加工热敏金属材料置于无水乙醇中进行超声清洗并干燥;

8.一种飞秒激光系统,其特征在于,所述飞秒激光系统包括:飞秒激光器、光学模块、高能飞秒激光长工作距离聚焦镜、运动平台、成像模块、上位机和控制模块;其中,所述高能飞秒激光长工作距离聚焦镜为空气间隙聚焦镜;

9.根据权利要求8所述的飞秒激光系统,其特征在于,所述飞秒激光束平均功率在0.7w-4w之间;

10.根据权利要求8所述的飞秒激光系统,其特征在于,所述平台坐标原点和平台路径坐标子集中的每一个坐标包括:x1坐标、y1坐标、δ坐标,其中x1坐标为水平方向的横坐标,y1坐标为水平方向的纵坐标,δ坐标为旋转角度;

11.根据权利要求8所述的飞秒激光系统,其特征在于,所述光学模块包括:可变光束扩束器、反射镜、二分之一波片、四分之一波片和二向色镜;

12.根据权利要求8所述的飞秒激光系统,其特征在于,所述空气间隙聚焦镜的结构为三片式分离结构;

13.根据权利要求12所述的飞秒激光系统,其特征在于,所述空气间


技术总结
本发明涉及一种飞秒激光加工热敏金属材料的方法及系统,飞秒激光器产生的飞秒激光束,依次经过光学模块的扩束、准直、偏振处理之后完全反射到高能飞秒激光长工作距离聚焦镜中进行聚焦,聚焦后的飞秒激光束入射至待加工热敏金属材料样品的表面,飞秒激光束与样品按预设的路径做相对移动进行加工;本发明通过调整飞秒激光束平均功率、扫描速率以及平台单次进给量改变激光通量,实现热敏金属材料的高质量切割,并采用高能飞秒激光长工作距离聚焦镜调整聚焦条件缩小激光聚焦区域,从而提高加工精度;通过本发明飞秒激光加工热敏金属材料的方法加工得到的产品,切割断面无热影响区,粗糙度较小,精度较高,产品质量的一致性较好。

技术研发人员:杨旭三,杨志伟,宋云峰,李子圆,许天刚
受保护的技术使用者:长三角物理研究中心有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/10/17
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