一种用于激光切割设备的陶瓷吸附平台的制作方法
【专利说明】
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及吸附平台，特别是涉及一种用于激光切割设备的吸附平台。
【【背景技术】】
[0002]激光加工中有多种聚焦方式，常用的有聚焦镜直接聚焦和振镜加平场镜两种，其中振镜加平场镜的组合方式加工速度快、方法灵活等优点而得到广泛的应用。其对于激光源无特殊要求，可以搭载各种波长、脉宽类型的激光器。加工材料主要针对于较薄的平板型材料，包括聚合物薄膜、玻璃、陶瓷、金属薄膜薄板等。
[0003]如图1所示，为振镜加平场镜式激光切割设备的结构示意图。主要结构包括机台
1、运动平台2、吸附平台3、激光器及光路4(扩束镜、反射镜、振镜、平场镜等)四个部分。其中，吸附平台3用于将待切割的材料放置其上，利用吸气装置产生真空负压来吸附固定材料，然后利用激光聚焦于待切割的材料进行切割。
[0004]如图2和3所示，分别为激光切割设备的俯视示意图和侧视示意图。吸附平台包括外围支撑板302和上方镂空板301。外围支撑板302内部为空腔，通过通气口 7连接外部的抽气管道，在内部空腔内形成负压。镂空板301为开设有圆形、六边形或者矩形形状的通孔的平板。在支撑板302上覆盖镂空板301用来支撑被切割材料9。吸附平台的工作原理通过通气口 7连接外部的抽气管道、吸气系统，通过吸气系统来调节吸力，产生真空负压来达到吸附固定被切割材料9的目的。该吸附平台的一个缺点是:对于一切柔软易变形的薄膜材料进行吸附时，薄膜材料会因吸力而凹陷变形，切割时会离焦，影响切割，尤其是通气口附近吸附力大变形会更大。对于金属薄膜材料吸附变形后还存在无法恢复的问题。另夕卜，镂空板材料受到激光照射后会碳化发黑，粘在被切割材料上，污染材料。
【【实用新型内容】】
[0005]本实用新型所要解决的技术问题是:弥补上述现有技术的不足，提出一种用于激光切割设备的陶瓷吸附平台，吸附柔性薄膜材料时不会发生塌陷变形的现象，且切割过程不会造成材料被污染。
[0006]本实用新型的技术问题通过以下的技术方案予以解决:
[0007]—种用于激光切割设备的陶瓷吸附平台，包括平板和支撑板；所述平板为具有微孔结构的陶瓷板，所述微孔结构为尺寸在0.05?0.2毫米的孔洞，所述陶瓷板的厚度为15?25毫米；所述平板位于所述支撑板的上方，所述支撑板的侧壁和/或底部开设有供连接抽气管道的通气口结构。
[0008]优选的技术方案中，
[0009]所述陶瓷吸附平台还包括格栅结构，所述格栅结构位于所述支撑板的内部空腔中；所述格栅结构包括横竖交错排列的多个金属片结构，所述金属片结构为其上设置有多个孔和沟槽的金属片，所述沟槽设置在两个孔之间，用于供两个金属片结构相互嵌合。
[0010]本实用新型与现有技术对比的有益效果是:
[0011]本实用新型的吸附平台，使用一定厚度的微孔结构的陶瓷材料作为平板，微孔结构的孔洞尺寸在0.05?0.2毫米，可以使空气透过，从而达到吸附目的。由于孔洞尺寸在0.05?0.2毫米，远小于传统的蜂窝状镂空板的孔的尺寸，镂空比约为10%，因此即便吸附柔性薄膜材料，也不会出现薄膜材料凹陷进孔洞中造成塌陷变形的现象。而吸附平台采用陶瓷材料，陶瓷材料耐激光切割，切割后不会产生碳化等污染源，因此不会造成被切割材料的污染。
【【附图说明】】
[0012]图1是现有技术中的振镜加平场镜式激光切割设备的结构示意图；
[0013]图2是现有技术中的振镜加平场镜式激光切割设备的俯视结构示意图
[0014]图3是现有技术中的振镜加平场镜式激光切割设备的侧视结构示意图；
[0015]图4是本实用新型【具体实施方式】的吸附平台的结构示意图；
[0016]图5是本实用新型【具体实施方式】的吸附平台的平板的结构示意图；
[0017]图6是本实用新型【具体实施方式】的吸附平台中的栅格结构的示意图；
[0018]图7是本实用新型【具体实施方式】的吸附平台中的金属片结构的示意图；
[0019]图8是图7所示的金属片结构交错排列形成栅格结构的状态示意图。
【【具体实施方式】】
[0020]下面结合【具体实施方式】并对照附图对本实用新型做进一步详细说明。
[0021]如图4所示，为本【具体实施方式】的吸附平台的结构示意图。吸附平台包括平板100、支撑板102。如图5所示，平板100为具有微孔结构的陶瓷板，所述微孔结构为尺寸在0.05?0.2毫米的孔洞，所述陶瓷板的厚度为15?25毫米。平板100位于支撑板102的上方，支撑板102的侧壁和/或底部开设有供连接抽气管道的通气口结构7。其中，通气口结构7可以设定在吸附平台的侧面或底面，数量可以为一个到多个。
[0022]陶瓷板的微孔结构中，孔洞的形状可为圆形、矩形、三角形或者其它不规则形状。如果为圆形，则尺寸指的是直径。如果为矩形，则尺寸指矩形的对角线。如果为三角形，则尺寸为最大的一条边的长度。如果为其他不规则形状，则尺寸为最大的一条边的长度。优选为圆形，便于制作。进一步地，陶瓷板上孔的面积占整个陶瓷板面积的百分比为10%?15%,这样孔的密度不至于过密过疏，便于加工制作。
[0023]现有技术中的平板的共同特点是开孔的面积大，因此整个平板空的面积大而支撑部分的侧壁很薄，其镂空比即孔面积占整体平板面积的比例达95%以上，因此吸附柔性薄膜材料时，薄膜材料会凹陷进入孔洞中。而本【具体实施方式】中，微孔陶瓷板为微孔结构的陶瓷材料，具有尺寸在0.05?0.2毫米的圆形孔洞，因此可以使空气透过，从而达到吸附目的。由于其自带的孔洞的尺寸在0.05?0.2毫米，远小于传统的蜂窝状镂空板的孔的尺寸，镂空比约为10%?15% (远小于现有的95% )，因此即便吸附柔性薄膜材料，也不会出现薄膜材料凹陷进孔洞中造