真空蒸镀方法与流程

文档序号:11900405阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种真空蒸镀方法,包括以下步骤:

提供蒸发源及待镀基底,该蒸发源包括蒸发材料及碳纳米管膜结构,该碳纳米管膜结构为一载体,该蒸发材料设置在该碳纳米管膜结构表面,通过该碳纳米管膜结构承载;

将该蒸发源与待镀基底相对且间隔设置在真空室中并抽真空;以及

通过一电磁波信号输入装置向该碳纳米管膜结构中输入电磁波信号,使该蒸发材料气化,在该待镀基底的待镀表面形成蒸镀层。

2.如权利要求1所述的真空蒸镀方法,其特征在于,该蒸发源的制备方法包括以下步骤:

提供碳纳米管膜结构;以及

在该碳纳米管膜结构表面通过溶液法、沉积法、蒸镀、电镀或化学镀的方法担载该蒸发材料。

3.如权利要求2所述的真空蒸镀方法,其特征在于,该蒸发材料通过溶液法担载在该碳纳米管膜结构表面,具体包括以下步骤:

将该蒸发材料溶于或均匀分散于一溶剂中,形成一溶液或分散液;

将该溶液或分散液均匀附着于该碳纳米管膜结构表面;以及

将附着在该碳纳米管膜结构表面的溶液或分散液中的溶剂蒸干,从而将该蒸发材料均匀的附着在该碳纳米管膜结构表面。

4.如权利要求3所述的真空蒸镀方法,其特征在于,该蒸发材料包括多种材料,该多种材料在溶剂中按预定比例预先混合均匀,形成该溶液或分散液。

5.如权利要求1所述的真空蒸镀方法,其特征在于,该电磁波信号的平均功率密度在100mW/mm2~20W/mm2范围内。

6.如权利要求1所述的真空蒸镀方法,其特征在于,该碳纳米管膜结构在支撑结构之间悬空设置,该蒸发材料设置在悬空的碳纳米管膜结构表面。

7.如权利要求1所述的真空蒸镀方法,其特征在于,该碳纳米管膜结构的单位面积热容小于2×10-4焦耳每平方厘米开尔文,比表面积大于200平方米每克。

8.如权利要求1所述的真空蒸镀方法,其特征在于,该碳纳米管膜结构包括一个或相互层叠的多个碳纳米管膜,该碳纳米管膜包括多个通过范德华力首尾相连的碳纳米管。

9.如权利要求8所述的真空蒸镀方法,其特征在于,该碳纳米管膜中的碳纳米管基本平行于该碳纳米管膜表面,并沿同一方向延伸。

10.如权利要求1所述的真空蒸镀方法,其特征在于,该蒸发源的厚度小于或等于100微米。

11.如权利要求1所述的真空蒸镀方法,其特征在于,该待镀基底与该蒸发源的碳纳米管膜结构等间隔设置,间距为1微米~10毫米。

12.如权利要求1所述的真空蒸镀方法,其特征在于,该电磁波信号输入装置设置在该真空室中,并与该碳纳米管膜结构相对且间隔设置。

13.如权利要求1所述的真空蒸镀方法,其特征在于,该电磁波信号输入装置设置在该真空室外,与该碳纳米管膜结构相对设置,该电磁波信号能够穿过该真空室的墙壁,到达该碳纳米管膜结构。

14.如权利要求1所述的真空蒸镀方法,其特征在于,进一步提供一栅网,并将该栅网设置在该蒸发源与待镀基底之间。

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