技术总结
本发明公开了一种玻璃的真空镀膜结构装置,其特征在于,包括真空泵腔室和靶材腔室,所述真空泵和靶材通过盖板被分别安装在各自的腔室内,其中,所述靶材腔室的空间大于真空泵腔室的空间;所述镀膜室及设置在镀膜室中的隔板,所述每个隔板上均设置有玻璃通道,所述隔板将镀膜室分割成多个腔室;每个腔室上都设置有与盖板相配合的盖板安装孔。本发明设计合理,结构简单,具有动态的安全性、可靠性、稳定性,可循环寿命。
技术研发人员:刘业茂
受保护的技术使用者:刘业茂
文档号码:201510789979
技术研发日:2015.11.17
技术公布日:2017.05.24