一种利用金属靶材在带孔金属产品上镀黑色涂层的磁控溅射装置及其方法与流程

文档序号:13323998阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种利用金属靶材在带孔金属产品上镀黑色涂层的磁控溅射装置,它包括炉体(1)、转架(2)、安装于炉体(1)顶部的顶盖(3)、安装于炉体(1)上的封闭门以及设置于炉体(1)外部的电机(4)、抽真空装置(5)、负电源(6)和电源(7),顶盖(3)的上表面经转轴旋转安装有大齿轮(8),电机(4)的输出端与大齿轮(8)的转轴连接,抽真空装置(5)的工作端与炉体(1)的内部连通。本发明的有益效果是:现了带孔金属产品的快速安装、方便安装和卸下夹具、提高产品的抗腐蚀、耐磨防划以及耐人工汗的利用金属靶材在带孔金属产品上镀黑色涂层。

技术研发人员:陈刚;周敏;樊庆根;陈亮
受保护的技术使用者:成都极星等离子科技有限公司
文档号码:201610263108
技术研发日:2016.04.26
技术公布日:2017.12.29

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