一种具备钛酸钡薄膜的钨镍合金电介质材料的制备方法与流程

文档序号:13755466阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种具备钛酸钡薄膜的钨镍合金电介质材料的制备方法,该方法制备的电介质材料,解决了传统细晶硬质合金制备过程中常出现“镍池”和孔洞的问题,多层薄膜结构不但可以阻碍氧空位的迁移,还可以增加BaTiO3薄膜面内压应力,因此可以起到降低介电损耗和提高介电常数的作用,解决了现有BaTiO3薄膜因制备、服役产生氧空位而导致漏电流、介电损耗增加,甚至失效的问题。

技术研发人员:不公告发明人
受保护的技术使用者:苏州思创源博电子科技有限公司
文档号码:201610690527
技术研发日:2016.08.20
技术公布日:2016.12.14

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