技术特征：
技术总结
本发明涉及一种二氧化钛薄膜及其制备方法和应用，是利用原子层沉积技术，采用含钛前驱体和含氧前驱体分别作为钛源和氧源，在基材表面沉积得到的二氧化钛薄膜后进行紫外照射后得到，所述二氧化钛薄膜为多晶二氧化钛薄膜，晶相为纯锐钛矿相。本发明采用原子层沉积技术制备锐钛矿型二氧化钛薄膜，具有优良的生物相容性，经过紫外光辐照后可获得优良的抗菌性能。
技术研发人员：吕林;谢有桃;李恺;曹韫真;郑学斌
受保护的技术使用者：中国科学院上海硅酸盐研究所
技术研发日：2016.09.14
技术公布日：2018.03.20