技术总结
本实用新型提供了一种基板固定装置，包括驱动机构、切换机构和固定机构；驱动机构与切换机构连接，用于驱动切换机构转动；固定机构包括连接件及多个固定单元；多个固定单元分散安装在连接件上；连接件安装在切换机构上，并能够随切换机构的转动而旋转；其中，当连接件随切换机构的转动而旋转预设角度时，多个固定单元中的一个固定单元能够与放置在工艺腔室中的基板的边缘卡接。其通过由驱动机构驱动切换机构转动来带动固定机构中的连接件旋转，通过连接件的旋转将固定单元移动至基板的边缘位置处即可实现固定单元的更换，不需要打开工艺腔室，从而减少了工艺腔室的开腔次数，有效解决了传统的基板固定装置导致生产效率较低的问题。
技术研发人员：张杨
受保护的技术使用者：昆山国显光电有限公司
文档号码：201620642333
技术研发日：2016.06.24
技术公布日：2016.11.30