1.一种在粉末表面均匀镀膜的原子层沉积装置，其特征在于：包括电机、旋转多孔进源器、反应腔、加热器、进气管路和抽气管路，旋转多孔进源器为由空心轴和桨叶构成，空心轴两端为密封的，侧壁上设有气孔，桨叶螺旋固定在空心轴上，桨叶上设有与空心轴连通的微孔；旋转多孔进源器架设在反应腔内，上端与电机轴连接，进气管路与空心轴连通，抽气管路与反应腔连通；加热器包覆反应腔外壁上。
2.如权利要求1所述在粉末表面均匀镀膜的原子层沉积装置，其特征在于：桨叶为若干个，为多层螺旋设置。
3.如权利要求1所述在粉末表面均匀镀膜的原子层沉积装置，其特征在于：桨叶为整体螺旋状，使所述反应腔中的粉末不断上下交换。
4.如权利要求1所述在粉末表面均匀镀膜的原子层沉积装置，其特征在于：反应腔内设有过滤网，抽气管路与过滤网上部空腔连通。
5.如权利要求1或4所述在粉末表面均匀镀膜的原子层沉积装置，其特征在于：抽气管路上设有粉末收集器。
6.如权利要求1所述在粉末表面均匀镀膜的原子层沉积装置，其特征在于：桨叶材质为多孔金属、多孔陶瓷或多孔薄膜。