技术总结
本实用新型公开了一种智能真空度控制系统，包括真空炉，所述真空炉通过管道连接真空泵，所述真空炉的内部设有压力传感器，所述压力传感器分别电性连接流量计负反馈电路的输入端和节流阀负反馈电路的输入端，所述流量计负反馈电路的输出端电性连接流量计的输入端，所述节流阀负反馈电路的输出端电性连接节流阀的输入端，所述流量计和节流阀设置在真空炉沉积气体进气的管道上。该智能真空度控制系统，采用闭环控制，并引进了节流阀的辅助控制，使流量计和节流阀共同动作，保证了沉积压强的准确，快速，稳定。
技术研发人员：徐海呈;张勇;于有河
受保护的技术使用者：大连维钛克科技股份有限公司
文档号码：201620752129
技术研发日：2016.07.18
技术公布日：2016.11.30