一种硅片边角磨光器的制作方法

文档序号:12162109阅读:291来源:国知局

本实用新型涉及单晶硅生产技术领域,具体涉及一种硅片边角磨光器。



背景技术:

切割后的硅片边角会有各种毛刺,尽管所占面积很小,如果不做处理可能会影响到后续的工艺,同时也容易伤人,现有磨光设备一般都是固定式,位置不能自由移动,这对于较薄的硅片边角进行磨光极不方便,很容易造成硅片裂片。



技术实现要素:

本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有的技术缺陷,提供一种硅片边角磨光器。

本实用新型所要解决的技术问题采用以下的技术方案来实现:

一种硅片边角磨光器,包括磨盘,底板,第一电机,第二电机;所述底板上有滑槽,转轴穿过滑槽,所述磨盘位于滑槽正上方,转轴一端穿过磨盘中心,另一端穿过位于滑槽内的轴承并与位于底板下方的第一电机连接,所述第一电机通过转轴带动磨盘转动,轴承侧面与丝杆固定连接,丝杆另一端与位于底盘左侧的第二电机套筒连接,通过第二电机带动轴承在滑槽内滑动,从而实现磨盘在水平位置上的移动,进而对硅片边角进行打磨。

为防止磨盘侧面在对硅片边角进行打磨时出现滑移,将磨盘侧面向内凹陷形成一凹槽,通过凹槽对硅片边角进行打磨,将凹槽表面进行粗糙处理,提高打磨效果。

本实用新型的有益效果为:通过在底板下方、左侧分别设置第一电机、第二电机,使得磨盘在转动的同时可以在水平方向上移动,从而方便的对硅片边角进行打磨,可以根据硅片大小和需打磨厚度自由调节磨盘水平位移,与常规磨光器相比更为灵活、简单易用。

附图说明

图1为本实用新型示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示,进一步阐述本实用新型。

如图1所示,一种硅片边角磨光器,包括磨盘2,底板3,第一电机6,第二电机8;底板3上有滑槽4,转轴1穿过滑槽4,磨盘2位于滑槽4正上方,转轴1一端穿过磨盘2中心,另一端穿过位于滑槽4内的轴承5并与位于底板3下方的第一电机6连接,第一电机6通过转轴1带动磨盘2转动,轴承5侧面与丝杆7固定连接,丝杆7另一端与位于底盘3左侧的第二电机8套筒连接,通过第二电机8带动轴承5在滑槽4内滑动,从而实现磨盘2在水平位置上的移动,进而对硅片边角进行打磨。

为防止磨盘2侧面在对硅片边角进行打磨时出现滑移,将磨盘2侧面向内凹陷形成一凹槽9,通过凹槽9对硅片边角进行打磨,将凹槽9表面进行粗糙处理,提高打磨效果。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

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