多用光学真空腔体的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜领域，具体涉及一种多用光学真空腔体。

背景技术：

真空镀膜是在真空室内把材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上，而镀膜有很多种方式，蒸镀、溅射镀膜等常规镀膜方式，也有通过电子枪镀膜的，但目前电子枪镀膜都需配备铝制腔体和铅玻璃的法兰视窗的真空腔体。另外目前的镀膜都会在真空腔体内壁积膜，如何避免是个问题；还有，现有的镀膜都是一次镀膜成功，这样会出现膜层不均的情况，如果把镀膜过程分步进行，预镀膜后再正式镀膜，其膜层的均匀性将得到提高。

技术实现要素：

本实用新型主要解决的技术问题在于，提供一种即可用于普通镀膜也可用于电子枪镀膜的多用光学真空腔体，并且不积膜在腔体内壁，且可配合预镀膜再正式镀膜的光线镀膜机，提高膜层的均匀性。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：多用光学真空腔体，包括真空腔体本体、腔室门和法兰视窗，真空腔体本体内部形成真空腔室，所述腔室门和法兰视窗在真空腔体本体上相对设置，腔室门通过合页连接在真空腔体本体上，所述法兰视窗位于真空腔体本体的侧壁内，法兰视窗厚度上向内延及至真空腔室，向外超出真空腔体本体的侧壁，法兰视窗内配备设有钢化玻璃，位于法兰视窗上方的真空腔体本体的侧壁内设有铅玻璃，法兰视窗上设有允许铅玻璃插放的槽，超出真空腔体本体的侧壁的法兰视窗上还对应设置和铅玻璃一端固定连接的扳把，扳把的中间部位通过销轴可转动地与法兰视窗连接，扳把的另一端伸出法兰视窗；与腔室门相连的真空腔体本体部分的侧壁上设有铝板安装槽。通过法兰视窗的新型设置，可在需要使用电子枪镀膜时将铅玻璃从真空腔体本体的侧壁内转动下来至法兰视窗的槽上（通过扳动扳把实现铅玻璃的落下或收入真空腔体本体的侧壁内），再配合真空腔体本体上的铝板安装槽，可以将原先通常镀膜的真空腔体很简单地改造成专用于电子枪镀膜的真空腔体，实现一腔体多用。

作为本实用新型多用光学真空腔体的进一步改进，腔室门的侧壁上设有铝板可插入的铝板安装槽。配合前述的与腔室门相连的真空腔体本体部分的侧壁上设有铝板安装槽，这样只需要两个铝板即可完成整个真空腔体的X射线的屏蔽，即一个铝板制成环绕真空腔体的形状后两边插在与腔室门相连的真空腔体本体部分的侧壁上设有的铝板安装槽内，另一块铝板则保持平板状，插入腔室门的侧壁上设有的铝板安装槽即可。

作为本实用新型多用光学真空腔体的进一步改进，真空腔体本体内壁贴合至少三层金属膜，每层金属膜在靠近腔室门处设有超出真空腔室的与金属膜一体的角标，角标上通过钢印印制凸起的数字标识或角标上镀带有颜色的膜。这样在真空腔体内壁积膜后只需撕掉最外层的金属膜即可，可以根据金属膜的层次在最外层的金属膜上印制数字1或镀成红色的膜，然后依次给里层的金属膜上印制数字2、3、4……或镀成橙色、黄色、绿色的膜……。这样可以在积膜后依次撕掉金属膜，保证不在真空腔室内壁积膜。

作为本实用新型多用光学真空腔体的进一步改进，每层金属膜的角标上的数字标识不同；每层金属膜的角标上镀膜颜色不同。

作为本实用新型多用光学真空腔体的进一步改进，真空腔体本体的中间设有与真空腔体本体一体成型的隔板，隔板将真空腔体本体分隔成两个真空腔室；所述真空腔体本体的内底壁上还设有四个和真空腔体本体一体成型的向上凸起的台阶，台阶两两成对设置，每一对台阶的相对面上设有不贯穿台阶的圆孔。这样的设置配合实现镀膜过程的分步进行（这样的真空腔体应用在新式光学镀膜机尤其是分布镀膜的光线镀膜机上），预镀膜后再正式镀膜，其膜层的均匀性将得到提高；台阶的设置是为了配合光学镀膜机中的传动装置如链轮传动或皮带传动的带轮的轮轴可插入在两辆设置的台阶的圆孔中。

本实用新型可用于普通光学镀膜及电子枪镀膜，通过插装铝板及增加法兰视窗处的铅玻璃即可实现；还能避免腔室内壁被镀膜；配合实现镀膜过程的分步进行：预镀膜后再正式镀膜，其膜层的均匀性将得到提高。

附图说明

图1为本实用新型多用光学真空腔体未示出铝板安装槽的结构示意图；

图2为腔室门的侧向示意图；

图3为图2的右视图；

图4为铝板未安装至腔体上的示意图；

图5为真空腔体本体的示意图；

图6为图5的主视图。

图中：1、真空腔体本体 2、腔室门 3、法兰视窗 4、真空腔室 5、钢化玻璃 6、铅玻璃 7、槽 8、扳把 9、铝板安装槽 10、金属膜 11、角标 12、隔板 13、台阶 14、圆孔。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的以及效果有更加清楚地了解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。

如图1至图6所示，多用光学真空腔体，包括真空腔体本体1、腔室门2和法兰视窗3，真空腔体本体1内部形成真空腔室4，所述腔室门2和法兰视窗3在真空腔体本体1上相对设置，腔室门2通过合页连接在真空腔体本体1上，所述法兰视窗3位于真空腔体本体1的侧壁内，法兰视窗3厚度上向内延及至真空腔室4，向外超出真空腔体本体1的侧壁，法兰视窗3内配备设有钢化玻璃5，位于法兰视窗3上方的真空腔体本体1的侧壁内设有铅玻璃6，法兰视窗3上设有允许铅玻璃6插放的槽7，超出真空腔体本体1的侧壁的法兰视窗3上还对应设置和铅玻璃6一端固定连接的扳把8，扳把8的中间部位通过销轴可转动地与法兰视窗3连接，扳把8的另一端伸出法兰视窗3；与腔室门2相连的真空腔体本体1部分的侧壁上设有铝板安装槽9。腔室门2的侧壁上设有铝板可插入的铝板安装槽9。真空腔体本体1内壁贴合至少三层金属膜10，每层金属膜10在靠近腔室门2处设有超出真空腔室4的与金属膜10一体的角标11，角标11上通过钢印印制凸起的数字标识或角标11上镀带有颜色的膜。每层金属膜10的角标11上的数字标识不同；每层金属膜10的角标11上镀膜颜色不同。真空腔体本体1的中间设有与真空腔体本体1一体成型的隔板12，隔板12将真空腔体本体1分隔成两个真空腔室4；所述真空腔体本体1的内底壁上还设有四个和真空腔体本体1一体成型的向上凸起的台阶13，台阶13两两成对设置，每一对台阶13的相对面上设有不贯穿台阶13的圆孔14。

以上内容是结合具体的优选技术方案对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。