用于电阻加热式蒸发镀膜机的有机蒸发源的制作方法

文档序号:12183418阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于电阻加热式蒸发镀膜机的有机蒸发源,其特征在于:从上到下依次包括蒸发源挡板、保温盖板、保温隔绝炉体、上支板、下支板、支撑柱、安装法兰、旋转磁流体、摆动气缸,所述安装法兰还连接有穿线斜管,所述穿线斜管与玻璃烧结接头相连接,所述保温隔绝炉体内设置有支撑芯和加热陶瓷管,所述加热陶瓷管内设置有石英坩埚,所述保温隔绝炉体的蒸发源口周围设置有不锈钢挡片。

2.根据权利要求1所述的用于电阻加热式蒸发镀膜机的有机蒸发源,其特征在于:所述保温隔绝炉体直接安装在上支板的可调支板上,所述可调支板上开有45度U型槽,所述U型槽与下支板铰接安装,所述上支板用于实现所述U型槽的角度调节,从而使蒸发源口正对基片台。

3.根据权利要求1所述的用于电阻加热式蒸发镀膜机的有机蒸发源,其特征在于:所述有机蒸发源采用PID控温技术,石英坩埚底部连接有温度传感器,实现实时温度测量,根据温度大小进行控温,温度控制范围在+-0.5摄氏度以内。

4.根据权利要求1所述的用于电阻加热式蒸发镀膜机的有机蒸发源,其特征在于:所述蒸发源挡板的旋转采用摆动气缸控制,所述蒸发源挡板的挡板轴直接从保温隔绝炉体的底部穿出,上部伸出保温隔绝炉体,挡板轴与保温隔绝炉体的安装板采用磁流体密封,所述蒸发源挡板的引线采用玻璃烧结密封装置。

5.根据权利要求1所述的用于电阻加热式蒸发镀膜机的有机蒸发源,其特征在于:所述安装法兰与镀膜机腔体相连接,并用密封圈密封。

6.根据权利要求1所述的用于电阻加热式蒸发镀膜机的有机蒸发源,其特征在于:所述安装法兰的上面设置有3根支撑柱,所述下支板直接固定在3根支撑柱上,能够上下调整距离,所述下支板上开有两个孔,其中一个孔用于固定,另外一个孔用于调整好上支板的角度后锁紧。

7.根据权利要求1所述的用于电阻加热式蒸发镀膜机的有机蒸发源,其特征在于:所述加热陶瓷管是内部绕有加热丝的陶瓷体,通过支撑芯固定在保温隔绝炉体内;所述支撑芯是带有弹性的零件,其上面直接与石英坩埚接触,所述支撑芯能够上下调节高度,从而使石英坩埚上下移动,进而调整到最有利于蒸发的位置。

8.根据权利要求3所述的用于电阻加热式蒸发镀膜机的有机蒸发源,其特征在于:所述温度传感器采用热电偶,所述热电偶接触头穿过支撑芯的顶面直接与石英坩埚接触,有利于实时测温。

9.根据权利要求8所述的用于电阻加热式蒸发镀膜机的有机蒸发源,其特征在于:所述穿线斜管的一端与安装法兰焊接,另一端安装有玻璃烧结接头,加热丝和热电偶线直接从穿线斜管穿出,连接到玻璃烧结接头上。

10.根据权利要求4所述的用于电阻加热式蒸发镀膜机的有机蒸发源,其特征在于:所述挡板轴直接穿过保温隔绝炉体底面并与底面做成一体,所述挡板轴的下面用万向节连接到下支板。

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