复合式稳定移载装置及加磁输送轮的制作方法

本发明涉及一种移载装置，特别是涉及一种用于溅镀设备的复合式稳定移载装置。

背景技术：

申请人所研发且已申请为中国台湾证书号数第M384399号专利的一种水平步进式溅镀设备，包含数个分别对应数个溅镀腔室且用于输送一个工件托盘于所述溅镀腔室间移动的驱动单元。各驱动单元包括一个位于所对应的溅镀腔室外的传输马达、数个设置于所对应溅镀腔室内的且被该传输马达驱动的输送滚轮，及数个设置于所对应溅镀腔室内且位于所述输送滚轮两侧的侧向滚轮。各驱动单元在驱动该工件托盘移动时，所述输送滚轮是与该工件托盘的底面抵接，所述侧向滚轮导引该工件托盘的两侧，藉此达到能连续且周期性往复带动该工件托盘，并对该工作托盘进行精确的位置控制。

但由于上述工件托盘借由与输送滚轮之间摩擦滚动接触进行移载，因此当所述输送滚轮由运转状态快速停止运转时，该工件托盘因惯性运动无法立即随着所述输送滚轮停止移动，从而容易产生定位偏差的问题。

该工件托盘在各腔室内或跨腔室移动时，经常会歪斜，需借由接触所述侧向滚轮来导正，从而增加机构复杂度及容易因碰撞产生落尘污染及工件振动偏移。

另外，中国台湾证书号数第I421360号专利所公开的一种双面溅射蚀刻基板之系统，其一个盘片载具是具有一组磁化轮，且载置于一组以永久磁性材料制作的轨道，并由一个直线马达驱动该盘片载具。该盘片载具借由该组磁化轮与该组磁性轨道相配合产生较佳的吸引力及稳定性。

但由于上述磁化轮与磁性轨道为直接硬接触，因此当该组磁性轨道的轨道面加工不平整，或是两个磁性轨道之间具有设置高度差，皆会造成该盘片载具在移动过程中倾斜晃动，从而影响溅射蚀刻的质量。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种至少克服先前技术所述缺点的复合式稳定移载装置。

本发明复合式稳定移载装置，用于安装在一个溅镀腔体，包含两个轮座、数个设置于所述轮座的轮组、一个承靠于所述轮组的载台单元，及一个用于驱动所述轮组的驱动单元。

所述轮座沿一个横方向间隔设置于该溅镀腔体内。各轮座沿一个垂直于该横方向的输送方向延伸。

所述轮组的其中数者沿该输送方向间隔设置于其中一个轮座，其余数者沿该输送方向间隔设置于另一个轮座。各轮组包括一个轮轴，及一个加磁输送轮。该轮轴枢设于所对应的轮座。该加磁输送轮连接该轮轴，且具有一个轴线、一个环绕该轴线的轮周部、一个环绕该轴线设置于该轮周部内的磁轨环，及至少一个环绕设置于该轮周部的外周面且具有弹性的摩擦环，该磁轨环具有环绕该轴线交错间隔设置的数个正磁区及数个负磁区，各正磁区的磁极相异于各负磁区的磁极。

该载台单元承靠于所述轮组的摩擦环，并包括一个载台，及两个沿该横方向间隔设置于该载台的磁轨条。各磁轨条沿该输送方向延伸且具有沿该输送方向交错间隔设置的数个正磁区及数个负磁区。各正磁区的磁极相异于各负磁区的磁极。所述磁轨条其中一者是对应设置于其中一个轮座的所述轮组，所述磁轨条另一者是对应设置于另一个轮座的所述轮组。

该驱动单元能被操作用于驱动所述轮组同步运转。

本发明复合式稳定移载装置，各加磁输送轮还具有一个壳体及一个侧封环盖，该壳体具有该轮周部、一个沿径向位于该轮周部内侧的轴承环部、一个由该轮周部的一端延伸至该轴承环部的封闭侧部，及一个由该轮周部、该轴承环部及该封闭侧部所界定形成的容置空间，该侧封环盖盖设于该壳体的该轮周部相反于该封闭侧部的一端，以封闭该容置空间的开口。

本发明复合式稳定移载装置，各磁轨环设置于所对应的加磁输送轮的该容置空间，且贴设于各加磁输送轮的该轮周部的内周面。

本发明复合式稳定移载装置，该载台的底面凹陷形成两个分别供所述磁轨条嵌设的嵌槽，该载台单元的所述磁轨条分别承靠于所述轮组的摩擦环。

本发明复合式稳定移载装置，定义其中两个沿该横方向相对设置的轮组为主动轮组，定义其余的轮组为从动轮组，该驱动单元包括一个驱动件、一个连接轴、数个传动轮，及两个传动组，该驱动件连接于其中一个主动轮组的轮轴，该连接轴连接所述主动轮组的轮轴，所述传动轮分别设置于所述轮组的轮轴，所述传动组其中一者将设置于该其中一个轮座的所述轮组的传动轮相连接，所述传动组另一者将设置于另一个轮座的所述轮组的传动轮相连接，用于致使所述轮组能同步运转。

本发明的有益效果在于：借由该载台单元的磁轨条与所抵接的所述轮组的磁轨环的磁吸力，不仅能让该载台单元与所述轮组之间的结合性更佳及提高该载台单元的移动稳定性与定位精度，并克服所述轮组急停造成该载台单元惯性位移，且能避免该载台单元相对所述轮组沿该横方向偏移，从而免去先前技术所提及的侧向导轮的组件设置。再者，借由所述轮组的摩擦环的弹性，能补偿吸收该载台单元及所述轮组在高度方向上的公差，也避免跨腔衔接产生硬接触的问题。

本发明加磁输送轮，包含一个轴线、一个环绕该轴线的轮周部、一个环绕该轴线的磁轨环，及至少一个环绕该轴线的摩擦环。

该磁轨环设置于该轮周部内，且包括环绕该轴线交错间隔设置的数个正磁区及数个负磁区，各正磁区的磁极相异于各负磁区的磁极。

该至少一个摩擦环环绕设置于该轮周部的外周面且具有弹性。

本发明加磁输送轮，该加磁输送轮还包含一个壳体及一个侧封环盖，该壳体包括该轮周部、一个沿径向位于该轮周部内侧的轴承环部、一个由该轮周部的一端延伸至该轴承环部的封闭侧部，及一个由该轮周部、该轴承环部及该封闭侧部所界定形成的容置空间，该侧封环盖盖设于该壳体的该轮周部相反于该封闭侧部的一端，以封闭该容置空间的开口。

本发明加磁输送轮，该磁轨环设置于该容置空间，且贴设于该轮周部的内周面。

附图说明

图1是一个立体图，显示本发明复合式稳定移载装置的一个较佳实施例设置于一个溅镀腔体内；

图2是该较佳实施例的一个立体图；

图3是该较佳实施例的一个载台单元的一个立体分解图；

图4是由图2所取得的一个不完整的局部剖视图，显示该较佳实施例的各轮组的结构组成；及

图5是该较佳实施例的各轮组的一个加磁输送轮的立体分解图。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明。

参阅图1与图2，本发明复合式稳定移载装置的一个较佳实施例，用于安装在一个溅镀腔体1内，该复合式稳定移载装置包含两个轮座2、十六个轮组3、一个载台单元5，及一个驱动单元6。

所述轮座2沿一个横方向X间隔设置于该溅镀腔体1内。各轮座2沿一个垂直于该横方向X的输送方向Y延伸。

所述轮组3其中八者沿该输送方向Y间隔设置于其中一个轮座2，其余八者沿该输送方向Y间隔设置于另一个轮座2。参阅图4及图5，各轮组3包括一个枢设于所对应的轮座2的轮轴31，及一个连接该轮轴31的加磁输送轮4。

该加磁输送轮4具有一个轴线L、一个壳体41、一个磁轨环42、一个侧封环盖43，及两个摩擦环44。各壳体41具有一个环绕该轴线L的轮周部411、一个沿径向位于该轮周部411内侧且环绕该轴线L的轴承环部412、一个由该轮周部411的一端延伸至该轴承环部412的封闭侧部413，及一个由该轮周部411、该轴承环部412及该封闭侧部413所界定形成的容置空间414。

该磁轨环42设置于该容置空间414，且贴设于该轮周部411的内周面。该磁轨环42具有环绕该轴线L交错间隔设置的数个正磁区421及数个负磁区422，该磁轨环42的各正磁区421的磁极相异于各负磁区422的磁极。该侧封环盖43盖设于该壳体41的该轮周部411相反于该封闭侧部413的一端，以封闭该容置空间414的开口，借此该侧封环盖43与该壳体41相配合将该磁轨环42封闭于该容置空间414内而与外界隔绝。所述摩擦环44沿该轴线L方向并排环绕设置于该轮周部411的外周面且分别具有弹性。

参阅图2、3、4，该载台单元5承靠于所述轮组3的摩擦环44，并包括一个载台51，及两个沿该横方向X间隔设置于该载台51的磁轨条52。该载台51的底面凹陷形成两个分别供所述磁轨条52嵌设的嵌槽511。所述磁轨条52其中一者是对应设置于其中一个轮座2的所述轮组3且承靠于所述轮组3的摩擦环44，所述磁轨条52另一者是对应设置于另一个轮座2的所述轮组3且承靠于所述轮组3的摩擦环44。各磁轨条52沿该输送方向Y延伸且具有沿该输送方向Y交错间隔设置的数个正磁区521及数个负磁区522，各磁轨条52的各正磁区521的磁极相异于各负磁区522的磁极。在本实施例中，各磁轨条52是先黏合于一个背铁53，再透过该背铁53嵌合于所对应的嵌槽511。

参阅图2及图4，在此定义其中两个分别设置于所述轮座2位于同侧的端部且沿该横方向X相对设置的轮组3为主动轮组，定义其余的轮组3为从动轮组。

该驱动单元6包括一个驱动件61、一个连接轴62、数个传动轮63、两个传动组64，及数个张力轮65。该驱动件61连接于其中一个主动轮组3的轮轴31。该连接轴62连接所述主动轮组3的轮轴31。所述传动轮63分别设置于所述轮组3的轮轴31。所述传动组64其中一者将设置于该其中一个轮座2的所述轮组3的传动轮63相连接，所述传动组64另一者将设置于另一个轮座2的所述轮组3的传动轮63相连接，用于致使所述轮组3能同步运转。各传动组64具有数个分别绕设于两个相邻的轮组3上的传动轮63的传动带641。所述张力轮65分别用于将所述传动带641迫紧连接所述传动轮63。

以上即为本发明复合式稳定移载装置的组件组成的叙述；接着，再将本发明的作动以及预期能达成之功效陈述如后︰

借由该载台单元5的磁轨条52与所抵接的所述轮组3的磁轨环42的磁吸力，能让该载台单元5与所述轮组3之间的结合性更佳及提高该载台单元5的移动稳定性与定位精度，且能避免该载台单元5相对所述轮组3沿该横方向X偏移，从而免去先前技术所提及的侧向导轮的组件设置。

当所述轮组3由运转状态快速停止运转时，借由该载台单元5的磁轨条52与所抵接的所述轮组3的磁轨环42的磁吸力，以及所述轮组3的摩擦环44所提供的摩擦力，用于抵抗该载台单元5的惯性运动，避免产生定位偏差问题。

借由所述轮组3的摩擦环44是具有弹性而能被该载台单元5压缩的特性，用于补偿吸收该载台单元5与所述轮组3之间的加工公差或高度设置公差，使得该载台单元5能维持一定的设置水平，且在移动过程中不会倾斜晃动，也避免跨腔衔接产生硬接触的问题。

各加磁输送轮4透过其壳体41及其侧封环盖43的结构设计，能相配合将其磁轨环42包覆封闭，避免该磁轨环42被溅镀以及溅镀高温影响而失去磁性，而且将该磁轨环42包覆封闭于该壳体41内，使得各加磁输送轮4的外型尺寸与传统未加磁的输送轮一致，有利于传统的移载装置仅需更换本发明的该加磁输送轮4即能升级为本发明复合式稳定移载装置。

综上所述，确实能达成本发明之目的。