磁控多靶共溅射技术制备的生物性TiN‑Ag纳米复合多层膜及应用的制作方法

文档序号:13128695阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种掺银掺氮的TiN‑Ag纳米复合多层膜,它是在氮气环境下以钛合金Ti‑6Al‑4V为衬底交替沉积TiN‑Ag复合层和Ag层,TiN‑Ag复合层和Ag的调制比6:1,每周期层厚为23 ‑ 45纳米,多层膜的周期为8‑15层,总层厚为350纳米。得到最高的纳米硬度和弹性模量的TiN‑Ag纳米复合多层膜,TiN‑Ag纳米复合多层膜的亲水性和生物相容性也较衬底有了极大改善。生物性TiN‑Ag纳米复合多层膜在生物医用材料、生物工程薄膜技术领域中将有重要的应用前景。本发明所述的方法形成的材料结构稳定,方法可重复,制备条件可控。

技术研发人员:李德军;孙秀华;董磊;王荣欣;顾汉卿
受保护的技术使用者:天津师范大学
技术研发日:2017.07.17
技术公布日:2017.12.08
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