技术特征：
技术总结
本发明公开了一种柔性可拉伸光敏材料及其制备方法，所述柔性可拉伸光敏材料包括柔性基底，位于柔性基底上的缓冲层，以及位于缓冲层上的(001)取向的CdS薄膜。所述方法包括：1)在柔性基底上制备电阻率在5KΩ·m～5MΩ·m的缓冲层；2)采用磁控溅射的方法在缓冲层上制备(001)取向的CdS薄膜，且磁控溅射的参数为：靶枪功率密度为5W/m2～10W/m2，真空背底气压小于9×10‑4Pa，工作气压为0.5Pa～10Pa；3)退火，得到光敏材料。本发明制备了具有(001)取向的CdS薄膜，得到了柔性可拉伸的光敏材料，其在大尺度应力拉伸状态下依然可以保持良好的电学性能，大大提高了可穿戴式应用的前景。
技术研发人员：王充;于玫;杨灿灿;于喆
受保护的技术使用者：中国科学院深圳先进技术研究院
技术研发日：2017.08.18
技术公布日：2019.03.01