一种光学镀膜装置基板承载机构的制作方法

文档序号:13929864阅读:191来源:国知局
一种光学镀膜装置基板承载机构的制作方法

本发明涉及光学镀膜领域,特别是涉及一种光学镀膜装置基板承载机构。



背景技术:

镀膜是用物理或化学的方法在材料表面镀上一层透明的电解质膜,或镀一层金属膜,目的是改变材料表面的反射和透射特性。在可见光和红外线波段范围内,大多数金属的反射率都可达到78%~98%,但不可高于98%。无论是对于co2激光,采用铜、钼、硅、锗等来制作反射镜,采用锗、砷化镓、硒化锌作为输出窗口和透射光学元件材料,还是对于yag激光采用普通光学玻璃作为反射镜、输出镜和透射光学元件材料,都不能达到全反射镜的99%以上要求。不同应用时输出镜有不同透过率的要求,因此必须采用光学镀膜方法。光学镀膜过程中常常会用到基板承载机构。现有的基板承载机构需耗费人工对基板承载架进行更换,且冷却速度慢,生产效率低且容易烫伤工人。



技术实现要素:

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种光学镀膜装置基板承载机构。

本发明通过以下技术方案来实现上述目的:

一种光学镀膜装置基板承载机构,包括第一电源、密封垫、第二电源、带座轴承、底板,所述底板上一端设置有支撑块,所述支撑块上设置有第一电机,所述第一电机设置有第一输出轴,所述第一输出轴穿过靠近所述第一电机的竖板连接旋转架,所述旋转架上设置有连接轴,所述连接轴上设置有基板承载架,所述连接轴内设置有空腔,所述基板承载架上设置有基板固定位,所述基板承载架内设置有安装孔、衔铁,所述第一电机下方设置有冷却机构,所述冷却机构包括储水箱、抽水泵、软管、连接块、移动板、连接管、电动滑块、滑轨,所述第一电机的上方设置有支撑板,所述支撑板上设置有第一电动推杆,所述底板上远离所述第一电机的一端设置有动力机构,所述动力机构包括第二电机、主动皮带轮、第二输出轴、皮带、从动皮带轮、转轴,所述连接轴和所述转轴内均设置有电磁线圈、电磁铁,所述动力机构上方设置有第二电动推杆、连接板。

上述实施例中,所述第一电机通过所述第一输出轴与所述旋转架连接,所述第一输出轴通过所述带座轴承与靠近所述第一电机的所述竖板连接。

上述实施例中,所述连接轴的数量为四个,相邻所述连接轴之间的夹角为九十度,所述空腔内壁设置有所述电磁铁,所述电磁铁上均匀缠绕有所述电磁线圈,所述连接轴内的所述电磁线圈与所述第一电源电连接,所述连接轴远离所述旋转架的一端设置有所述密封垫。

上述实施例中,所述安装孔的直径与所述连接轴的直径相同,所述安装孔内壁设置有所述衔铁。

上述实施例中,所述储水箱位于所述支撑块内,所述储水箱的一侧下部设置有所述软管和所述抽水泵,所述软管的另一端连接所述连接管,所述连接管设置在所述连接块侧面,所述连接块下端设置有所述移动板,所述移动板下端设置有所述电动滑块,所述电动滑块下方设置有所述滑轨,所述滑轨内嵌在所述底板上。

上述实施例中,所述支撑板通过螺栓固定在靠近所述第一电机的所述竖板侧面,所述第一电动推杆焊接在所述支撑板上。

上述实施例中,所述第二电机与所述主动皮带轮通过所述第二输出轴连接,所述主动皮带轮上方设置有所述从动皮带轮,所述主动皮带轮与所述从动皮带轮通过所述皮带连接。

上述实施例中,所述从动皮带轮连接所述转轴,所述转轴通过所述带座轴承与靠近所述第二电机的所述竖板连接,所述转轴内部设置有所述第二电源,所述第二电源与位于所述转轴内的所述电磁线圈电连接。

上述实施例中,所述连接板通过螺栓固定在靠近所述第二电机的所述竖板上,所述第二电动推杆焊接在所述连接板下端。

发明的有益效果在于:本发明能够实现自动更换基板承载架,减轻人工劳力,节约生产成本,且能够对镀膜后的基板承载架进行冷却,减少冷却的时间,加快生产且防止高温烫伤工人。

附图说明

图1是发明所述一种光学镀膜装置基板承载机构的结构示意图;

图2是发明所述一种光学镀膜装置基板承载机构中基板承载架的结构示意图;

图3是发明所述一种光学镀膜装置基板承载机构中旋转架和连接轴的结构示意图。

附图标记说明如下:

1、底板;2、支撑块;3、第一电机;4、支撑板;5、第一输出轴;6、第一电动推杆;7、带座轴承;8、旋转架;9、转轴;10、竖板;11、连接板;12、第二电动推杆;13、从动皮带轮;14、皮带;15、第二输出轴;16、第二电机;17、主动皮带轮;18、密封垫;19、基板承载架;20、滑轨;21、电动滑块;22、连接管;23、软管;24、移动板;25、连接块;26、抽水泵;27、储水箱;28、衔铁;29、安装孔;30、连接轴;31、第一电源;32、电磁铁;33、空腔;34、电磁线圈;35、冷却机构;36、第二电源;37、动力机构;38、基板固定位。

具体实施方式

下面结合附图对发明作进一步说明:

如图1-图3所示,一种光学镀膜装置基板承载机构,包括第一电源31、密封垫18、第二电源36、带座轴承7、底板1,底板1上一端设置有支撑块2,起支撑第一电机3的作用,支撑块2上设置有第一电机3,提供旋转架8旋转的动力,第一电机3设置有第一输出轴5,起连接作用,第一输出轴5穿过靠近第一电机3的竖板10连接旋转架8,旋转架8上设置有连接轴30,放置基板承载架19,连接轴30上设置有基板承载架19,承载基板,连接轴30内设置有空腔33,加水冷却的空间,基板承载架19上设置有基板固定位38,固定基板,基板承载架19内设置有安装孔29、衔铁28,第一电机3下方设置有冷却机构35,对基板进行冷却,冷却机构35包括储水箱27、抽水泵26、软管23、连接块25、移动板24、连接管22、电动滑块21、滑轨20,第一电机3的上方设置有支撑板4,起支撑第一电动推杆6的作用,支撑板4上设置有第一电动推杆6,起更换基板承载架19的作用,底板1上远离第一电机3的一端设置有动力机构37,给转轴9旋转提供动力,动力机构37包括第二电机16、主动皮带轮17、第二输出轴15、皮带14、从动皮带轮13、转轴9,连接轴30和转轴9内均设置有电磁线圈34、电磁铁32,动力机构37上方设置有第二电动推杆12、连接板11。

上述实施例中,第一电机3通过第一输出轴5与旋转架8连接,第一输出轴5通过带座轴承7与靠近第一电机3的竖板10连接。

上述实施例中,连接轴30的数量为四个,相邻连接轴30之间的夹角为九十度,空腔33内壁设置有电磁铁32,与衔铁28配合固定基板承载架19,电磁铁32上均匀缠绕有电磁线圈34,连接轴30内的电磁线圈34与第一电源31电连接,连接轴30远离旋转架8的一端设置有密封垫18,密封空腔33。

上述实施例中,安装孔29的直径与连接轴30的直径相同,安装孔29内壁设置有衔铁28。

上述实施例中,储水箱27位于支撑块2内,储水箱27的一侧下部设置有软管23和抽水泵26,软管23的另一端连接连接管22,连接管22设置在连接块25侧面,连接块25下端设置有移动板24,移动板24下端设置有电动滑块21,电动滑块21下方设置有滑轨20,滑轨20内嵌在底板1上。

上述实施例中,支撑板4通过螺栓固定在靠近第一电机3的竖板10侧面,第一电动推杆6焊接在支撑板4上。

上述实施例中,第二电机16与主动皮带轮17通过第二输出轴15连接,主动皮带轮17上方设置有从动皮带轮13,主动皮带轮17与从动皮带轮13通过皮带14连接。

上述实施例中,从动皮带轮13连接转轴9,转轴9通过带座轴承7与靠近第二电机16的竖板10连接,转轴9内部设置有第二电源36,第二电源36与位于转轴9内的电磁线圈34电连接。

上述实施例中,连接板11通过螺栓固定在靠近第二电机16的竖板10上,第二电动推杆12焊接在连接板11下端。

上述装置使用的过程中,转轴9上镀膜完成的基板承载架19经第二电动推杆12的作用,推向连接轴30,第一电源31给连接轴30内的电磁线圈34供电,在连接轴30内电磁铁32和衔铁28的作用下将基板承载架19固定在连接轴30上,第一电机3间接带动连接轴30旋转九十度,第一电动推杆6开始工作,将连接轴30上的带镀膜的基板承载架19推向转轴9,第二电源36给转轴9内的电磁线圈34供电,在转轴9内的电磁铁32和衔铁28的作用下将基板承载架19固定,第二电机16开始工作,间接带动基板承载架19高速旋转,完成镀膜后重复上述步骤,连续进行镀膜,镀膜结束的基板承载架19旋转至底部,电动滑块21间接带动连接管22向旋转架8移动,将连接管22伸进空腔33内,抽水泵26开始工作,将水通过软管23和连接管22输送到空腔33内进行冷却降温,待冷却降温后,打开密封垫18,将水放出。

以上显示和描述了发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解,发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明发明的原理,在不脱离发明精神和范围的前提下,发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的发明范围内。发明要求保护范围由所附的权利要求书及其效物界定。

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