技术总结
本发明提供的抛光回转工作台及抛光装置，涉及抛光技术领域。该抛光回转工作台包括：工作台、支座和传动轴；所述工作台与所述支座之间设置有轴承，所述传动轴由伺服电机驱动转动，从而通过谐波减速机带动所述工作台转动。本发明提供的抛光回转工作台中所述传动轴由伺服电机驱动转动，从而通过谐波减速机带动所述工作台转动，由谐波减速机具有抱闸功能，防止工作台静止时由于外力导致工作台旋转，造成晶圆损伤。谐波减速机具有高转矩和精确定位的性能，且具有大的减速比范围。采用谐波减速机具有可靠性好和结构简单等优点。 1
技术研发人员：刘福强;费玖海
受保护的技术使用者：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
技术研发日：2017.12.26
技术公布日：2018.06.15