一种纳米镀膜设备旋转升降载物平台装置的制作方法

文档序号:11658311阅读:177来源:国知局

本实用新型属于真空镀膜技术领域,特别涉及一种纳米镀膜设备旋转升降载物平台装置。



背景技术:

等离子镀膜作为提升材料表面性能有效方法被广泛应用于航空航天、汽车制造、机械重工和五金工具制造等领域。在等离子镀膜时,需要将工件放入镀膜设备反应腔室的货架上。现行的镀膜设备大多采用方形反应腔室,货架固定在反应腔室内。放置工件时,需要将工件直接放入反应室腔内的货架上。第一,由于反应腔室位置较高,放置工件时需要托举到反应腔室位置,增加操作人员劳动强度,而且容易造成工件掉落。第二,货架固定在方形反应腔室内,反应腔室通常只有一侧开门,装卸位于反应腔室内侧工件时需要将外侧的工件先取出来才能进行,装卸效率较低。



技术实现要素:

本实用新型的目的是克服上述不足,提出一种纳米镀膜设备旋转升降载物平台装置。

为实现上述目的,本实用新型所采用的技术方案如下:

一种纳米镀膜设备旋转升降载物平台装置,包括反应腔室、旋转载物平台、货架、升降电机、丝杠、机架、旋转电机和工件,所述机架顶端安装有反应腔室,并与反应腔室连通,机架内部安装有旋转载物平台,旋转载物平台位于反应腔室正下方;

至少两根升降丝杠竖直安装于机架两侧,旋转载物平台活动安装于至少两根升降丝杠之上,升降丝杠与升降电机相连;

所述旋转载物平台上旋转安装有货架,所述工件依次摆放于货架的置物层上;所述旋转载物平台下安装有旋转电机。

旋转载物平台可根据需要上下移动。所述旋转载物平台安装于至少两根升降丝杠之上,通过控制升降电机,可控制丝杠带动旋转载物平台上下移动。所述旋转载物平台下安装有旋转电机,旋转电机可带动旋转载物平台旋转。

所述旋转载物平台安装内齿圈,旋转电机轴上安装齿轮,齿轮与内齿圈啮合,通过齿轮带动齿圈使载物平台转动。被处理工件预先用扇形治具装载,多个扇形治具装载到设置在旋转载物平台上的货架的置物层上,通过升降电机带动丝杠使载物平台升降;镀膜处理结束后旋转载物平台下降到合适的位置便于操作人员取出已镀膜工件并重新装载新工件,重新装载结束后上升到反应腔室内进行镀膜。

所述反应腔室的腔容积为50L—1000L,材质为铝合金或不锈钢。

所述旋转载物平台直径为200mm—2000mm,材质为铝合金或不锈钢。

所述货架包括1—20层置物层,材质为铝合金或不锈钢。

所述旋转电机的功率为50W—500W。

所述升降电机的功率为200W—2000W。

本实用新型的上述技术方案与现有技术相比,具有以下优点:

旋转载物平台在需要装卸工件时,通过升降电机从反应腔室下降到便于装卸工件的位置,装卸工件时不需要托举到反应腔室位置,降低了装卸工件时的劳动强度,提高了装卸效率。

旋转载物平台降低到便于取放工件的高度后,通过旋转电机带动旋转,旋转速度可调节到便于装卸工件的速度,有利于快速装卸工件。

附图说明

图1为一种纳米镀膜设备旋转升降装料平台装置结构示意图

如图所示:一种纳米镀膜设备旋转升降装料平台装置,包括1反应腔室;2旋转载物平台;3货架;4升降电机;5丝杠;6机架;7旋转电机和8工件。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例详细说明本实用新型,但本实用新型并不局限于具体实施例。

实施例1

如图1所示:一种纳米镀膜设备旋转升降载物平台装置,包括反应腔室1、旋转载物平台2、货架3、升降电机4、丝杠5、机架6、旋转电机7和工件8;

机架6顶端安装有反应腔室,并与反应腔室1连通,机架内部安装有旋转载物平台2,旋转载物平台位于反应腔室正下方;

两根升降丝杠5竖直安装于机架两侧,旋转载物平台活动安装于两根升降丝杠之上,升降丝杠与升降电机4相连;

所述旋转载物平台上旋转安装有货架3,所述工件8依次摆放于货架的置物层上;所述旋转载物平台下安装有旋转电机7。

反应腔室1的容积为50L,材质为铝合金。

旋转载物平台直径为200mm,材质为不锈钢。

货架包括1层置物层,材质为铝合金。

旋转电机的功率为50W。

升降电机的功率为200W。

实施例2

本实施例中的一种纳米镀膜设备旋转升降装料平台装置与实施例1中基本结构相同,其中不同的技术参数是:

升降丝杠为三根;

反应腔室1的容积为200L,材质为不锈钢。

旋转载物平台直径为400mm,材质为不锈钢。

货架包括3层置物层,材质为铝合金。

旋转电机的功率为150W。

升降电机的功率为500W。

实施例3

本实施例中的一种纳米镀膜设备旋转升降装料平台装置与实施例1中基本结构相同,其中不同的技术参数是:

升降丝杠为四根;

反应腔室1的容积为600L,材质为不锈钢。

旋转载物平台直径为1000mm,材质为铝合金。

货架包括10层置物层,材质为不锈钢。

旋转电机的功率为300W。

升降电机的功率为1000W。

实施例4

本实施例中的一种纳米镀膜设备旋转升降装料平台装置与实施例1中基本结构相同,其中不同的技术参数是:

升降丝杠为四根;

反应腔室1的容积为1000L,材质为不锈钢。

旋转载物平台直径为2000mm,材质为不锈钢。

货架包括20层置物层,材质为不锈钢。

旋转电机的功率为500W。

升降电机的功率为2000W。

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