本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域,特别涉及一种具有内置弧源的真空镀膜装置。
背景技术:
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材,基片与靶材同在真空腔中,一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜,但是已有的镀膜设备均为外置弧源,致使工件生存效率较小,通常情况下会造成镀上的膜层密度很小,色泽暗淡,影响镀膜质量,无法达到理想的效果,大大提高了企业的经营成本,同时也降低生产的效率。因此我们对此做出改进,提出一种具有内置弧源的真空镀膜装置。
技术实现要素:
本实用新型的主要目的在于提供一种具有内置弧源的真空镀膜装置,可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:
一种具有内置弧源的真空镀膜装置,包括固定板、内置弧源、撤回杆固定环、镀膜腔和弧源电源接口,所述固定板连接在真空镀膜机外侧,且固定板上安装有外置弧源,所述真空镀膜机底部设有撤回杆把手,所述撤回杆把手一端连接着滑动块,所述滑动块对称设置在传动部底端,所述内置弧源安装在圆筒外围,所述圆筒通过螺栓固定在转盘上,所述转盘底部焊接有旋转轴,所述旋转轴固定连接在步进电机输出端,所述步进电机设置在传动部上方,所述撤回杆固定环套设在滑动块外围,所述镀膜腔内置有工件转架,所述工件转架置于传动部正上方,所述弧源电源接口安装在圆筒外壁。
进一步地,所述圆筒与真空镀膜机顶端通过连接轴固定,且连接轴一端与真空镀膜机内壁之间安装有轴承。
进一步地,所述外置弧源和内置弧源进行同步电镀。
进一步地,所述固定板与真空镀膜机之间通过螺栓固定连接。
进一步地,所述滑动块设置有多个,且滑动块连接撤回杆。
与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:该种具有内置弧源的真空镀膜装置,通过在镀膜腔固定带有圆筒的转盘,并在圆筒外围环设内置弧源,转盘底部由旋转轴固定在步进电机输出端,在外置弧源和内置弧源的作用下对工件进行同步电镀,工件转架在传动部的带动下使得电镀更加均匀到位,撤回杆把手处设置的滑动块使得传动灵活,结构合理,功能使用方便,适合进行广泛推广。
附图说明
图1为本实用新型一种具有内置弧源的真空镀膜装置的整体结构示意图。
图2为本实用新型一种具有内置弧源的真空镀膜装置的内部结构示意图。
图中:1、固定板;2、外置弧源;3、连接轴;4、圆筒;5、内置弧源;6、真空镀膜机;7、撤回杆把手;8、滑动块;9、撤回杆固定环;10、镀膜腔;11、工件转架;12、弧源电源接口;13、传动部;14、步进电机;15、旋转轴;16、转盘。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。
如图1-2所示,一种具有内置弧源的真空镀膜装置,包括固定板1、内置弧源5、撤回杆固定环9、镀膜腔10和弧源电源接口12,所述固定板1连接在真空镀膜机6外侧,且固定板1上安装有外置弧源2,所述真空镀膜机6底部设有撤回杆把手7,所述撤回杆把手7一端连接着滑动块8,所述滑动块8对称设置在传动部13底端,所述内置弧源5安装在圆筒4外围,所述圆筒4通过螺栓固定在转盘16上,所述转盘16底部焊接有旋转轴15,所述旋转轴15固定连接在步进电机14输出端,所述步进电机14设置在传动部13上方,所述撤回杆固定环9套设在滑动块8外围,所述镀膜腔10内置有工件转架11,所述工件转架11置于传动部13正上方,所述弧源电源接口12安装在圆筒4外壁。
其中,所述圆筒4与真空镀膜机6顶端通过连接轴3固定,且连接轴3一端与真空镀膜机6内壁之间安装有轴承,便于提升转盘16旋转的稳定性,使电镀匀称。
其中,所述外置弧源2和内置弧源5进行同步电镀,使得生存效率可以加大一倍,而且内外同时电镀,镀上的膜层可以达到密度更大,色泽均匀。
其中,所述固定板1与真空镀膜机6之间通过螺栓固定连接。便于连接紧固。
其中,所述滑动块8设置有多个,且滑动块8连接撤回杆,便于工件灵活转动。
需要说明的是,本实用新型为一种具有内置弧源的真空镀膜装置,工作时,连接弧源电源接口12,步进电机14带动内置弧源5旋转,在镀膜腔10固定带有圆筒4的转盘16,并在圆筒4外围环设多个内置弧源5,转盘16底部由旋转轴15固定在步进电机14输出端,在外置弧源2和内置弧源5的作用下对工件进行同步电镀,工件转架11在传动部13的带动下使得电镀更加均匀到位,撤回杆把手7处设置的滑动块8使得传动灵活,提高电镀的工作效率。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。