技术总结
本实用新型公开了一种多芯片条同步研磨的研磨装置，包括有磨盘、至少一组设置于磨盘表面上的研磨座、以及连接杆组，其特征在于：每组所述研磨座上开有至少一个供芯片条放入的固定槽，其中，所述磨盘与研磨座相对转动以对放置于固定槽内的芯片条进行研磨处理；所述连接杆组包括有至少一根连接杆，其中，所述连接杆端部呈圆头状且与研磨座顶面上预开有的连接孔相转动连接，以使研磨座以连接杆为轴线相转动。
技术研发人员：刘钟远;潘伟星
受保护的技术使用者：广东瑞芯源技术有限公司
文档号码：201720600749
技术研发日：2017.05.26
技术公布日：2018.03.16