一种新型研磨盘的制作方法

文档序号:14141498阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供了一种新型研磨盘结构,包括上磨盘(1)、载物盘(2)、导向结构(3)和限位结构(4),其特征在于:所述上磨盘(1)设置在所述载物盘(2)上方,所述限位结构(4)穿设在所述载物盘(2)中心处,所述导向结构(3)设置在所述限位结构(4)内部且能够与所述限位结构(4)上下相对运动,所述上磨盘(1)底部与所述导向结构(3)顶部连接。

技术研发人员:董仲伟;钟秉宪;吴俊毅;吴超瑜;王笃祥
受保护的技术使用者:天津三安光电有限公司
文档号码:201721073678
技术研发日:2017.08.25
技术公布日:2018.04.10

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