PVD真空镀膜工装治具的制作方法

文档序号:14231550阅读:来源:国知局

技术特征:

1.PVD真空镀膜工装治具,其特征在于:包括长条状主梁(1)和间隔地布置在其上的若干支柱(2),每一个支柱(2)包括固定部(21)和限位台阶(22)、连接部(23),其中:固定部(21)固定在长条状主梁(1)上,而且限位台阶(22)突出于固定部(21)和连接部(23),连接部(23)为锥形结构;并且每一个支柱(2)的连接部(23)外通过一个连接杆(3)固定需镀膜的产品(4);

连接杆(3)一端为锥筒结构(31),另一端为螺杆结构(32),连接杆(3)的锥筒结构(31)直接套在支柱(2)的连接部,连接杆(3)的螺杆结构(32)用于连接需镀膜的产品(4)。

2.根据权利要求1所述的PVD真空镀膜工装治具,其特征在于:固定部(21)的连接部(23)外侧还设有至少两片具有弹性的翘起片(24)。

3.根据权利要求1所述的PVD真空镀膜工装治具,其特征在于:连接杆(3)的锥筒结构(31)和螺杆结构(32)之间还设有增强凸台(33)。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的PVD真空镀膜工装治具,其特征在于:若干条长条状主梁(1)通过框架主体(5)支撑,框架主体(5)与每一个长条状主梁(1)连接的位置处分别设有一个限位装置(6)。

5.根据权利要求4所述的PVD真空镀膜工装治具,其特征在于:长条状主梁(1)的每一个连接杆(3)的螺杆结构(32)顶部还固定有一个类弧形支撑板(7),并且该类弧形支撑板(7)沿其周向中心位置处设置调整凹槽(71),该类弧形支撑板(7)通过一个锁紧螺母(8)将类弧形支撑板(7)固定在连接杆(3)的螺杆结构(32)的顶部位置,需镀膜的产品(4)夹紧在类弧形支撑板(7)内。

6.根据权利要求5所述的PVD真空镀膜工装治具,其特征在于:类弧形支撑板(7)的两个端部位置还设有钩挂槽(72)。

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