本实用新型涉及一种真空镀膜技术，具体涉及一种集成式水冷板。
背景技术：
现有技术中，真空镀膜腔内的水冷板设置于加热灯管下方，灯管对其上方的工艺载板进行加热完成工艺过程。为了防止加热过程中腔室下部温度过高，同时加快工艺反应之后工艺载板的冷却速度，水冷板通入冷却循环水将多余的热量带走。为了保证工艺载板的加热效果和冷却速度，水冷板、工艺载板与加热灯管三者之间设定为一个合适的距离。
由于真空镀膜腔室内部结构紧凑和工艺原因，无法在水平方向上安置气体管路。通常在腔室下部、四周设置气体管路进行吹扫，防止在工艺过程中产生的各种颗粒沉积于腔室，形成杂质，同时气流也能带走真空镀膜腔室内部一部分热量。然而工艺载板与水冷板之间空间狭小，气体难以将水冷板或者加热灯管上的颗粒吹扫干净，即使在水冷板上加工通气孔，吹扫的效果也不甚理想。
技术实现要素：
本实用新型的目的是提供一种集成式水冷板，以解决现有技术中的技术问题，它将气体吹扫功能集成于水冷板上，能够解决狭小空间吹扫效果不佳的问题,还可以带动工艺载板下方气体流动，加快工艺载板的冷却速度。
本实用新型提供了一种集成式水冷板，包括板体，所述板体的顶部形成有冷却水道，所述板体的底部设有与所述冷却水道连通的进水管和出水管，所述板体的顶部还设有气道，所述气道的顶部具有排气孔，所述板体的底部设有与所述气道连通的供气管。
前述的集成式水冷板中，优选地，所述冷却水道由水路槽和水路覆板构成，所述水路槽开设在所述板体的顶面上，所述水路覆板固定在所述水路槽的顶部。
前述的集成式水冷板中，优选地，所述水路槽为S形或“回”字形或平行设置的一字形。
前述的集成式水冷板中，优选地，所述气道由气路槽和气路覆板构成，所述气路槽开设在所述板体的顶面上，所述气路覆板固定在所述气路槽的顶部，所述气路槽沿着所述水路槽的边沿并行设置，所述排气孔形成于所述气路覆板上，所述供气管的一端与所述气路槽的底部连通。
前述的集成式水冷板中，优选地，所述气路覆板与所述水路覆板为一体式结构。
前述的集成式水冷板中，优选地，所述气道为气管，所述气管固定在所述板体的顶面上，所述气管沿着所述水路槽的边沿并行设置，所述排气孔开设在所述气管的顶部，所述供气管的一端与所述气管的底部连通。
前述的集成式水冷板中，优选地，所述气道由气道槽和盖罩构成，所述气道槽开设在所述板体的顶面上，所述气道槽沿着所述水路槽的边沿并行设置，所述盖罩为倒U形结构，固定在所述气道槽上，所述排气孔形成于所述盖罩的顶部，所述供气管的一端与所述气道槽的底部连通。
前述的集成式水冷板中，优选地，所述气道为密闭腔室，所述密闭腔室固定在所述板体的顶面上，所述密闭腔室的底面与所述板体的顶面形状、大小完全相同，所述排气孔设于所述密闭腔室的顶部，所述供气管的一端与所述密闭腔室的底部连通。
与现有技术相比，本实用新型在板体上设置冷却水道和气道，使水冷板在具备冷却功能的基础上，还具备吹扫功能。使用本实用新型替换现有技术中真空镀膜腔内的水冷板，气体通过供气管进入气道，再通过气道上的排气孔对其与工艺载板之间的狭小空间进行吹扫，避免加热灯管上产生颗粒沉积，加强了吹扫的效果，同时带动工艺载板下方气体流动，加快了工艺载板的冷却速度。需要说明的是，吹扫的气体通常使用氦气或者氮气等惰性气体。
附图说明
图1是集成式水冷板的主视图；
图2是集成式水冷板的后视图；
图3是设有第一种气道结构的集成式水冷板的剖视图；
图4是设有第二种气道结构的集成式水冷板的剖视图；
图5是设有第三种气道结构的集成式水冷板的剖视图；
图6是设有第四种气道结构的集成式水冷板的剖视图；
图7是真空镀膜腔的结构示意图。
附图标记说明：1-板体，2-冷却水道，3-进水管，4-出水管，5-气道，6-排气孔，7-供气管，8-水路槽，9-水路覆板，10-气路槽，11-气路覆板，12-气管，13-腔体，14-工艺载板，15-加热灯管，16-水冷板，17-气道槽，18-盖罩，19-密闭腔室。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。
本实用新型的实施例：如图1和图2所示，一种集成式水冷板，包括板体1，板体1的顶部形成有冷却水道2，板体1的底部设有与冷却水道2连通的进水管3和出水管4，板体1的顶部还设有气道5，气道5的顶部具有排气孔6，板体1的底部设有与气道5连通的供气管7。
通过在板体1上设置气道5，使板体1在具备冷却功能的基础上增加了吹扫功能，气体通过供气管7进入气道5，再通过气道5顶部的排气孔6排出，实现对板体1顶部区域进行吹扫。本实用新型可以应用于既需要冷却又需要吹扫的设备上，例如真空镀膜机的镀膜腔室。
具体地，如图3所示，冷却水道2由水路槽8和水路覆板9构成，水路槽8开设在板体1的顶面上，水路覆板9固定在水路槽8的顶部。为了提高冷却效率，水路槽8可设置为S形或“回”字形或平行设置的一字形，需要说明的是，当水路槽8为一字形时，水路槽8应为多个且等间距设置，且每个水路槽8的底部均连接有进水管3和出水管4。本实施例优选采用S形水路槽8。
在上述实施方式中，所述气道5可以采用四种结构形式：
第一种结构形式如图3所示，气道5由气路槽10和气路覆板11构成，气路槽10开设在板体1的顶面上，气路覆板11固定在气路槽10的顶部，气路槽10沿着水路槽8的边沿并行设置，排气孔6形成于气路覆板11上，供气管7的一端与气路槽10的底部连通。这种结构的优点在于，气路槽10开设在板体1上，气体经过供气管7进入气路槽10内，可通过板体1进行降温，因此通过排气孔6排出的气体温度较低，在实现吹扫功能的同时还可以起到加速降温的作用。此外，这种结构还能够使气流分布更均匀，能够减小气体吹扫过程的压降。需要说明的是，上述这种结构的水冷板的气路覆板11和水路覆板9可以为一体式结构。
第二种结构如图4所示，气道5为气管12，气管12固定在板体1的顶面上，气管12的顶面高出水路槽8的顶面，并沿着水路槽8的边沿并行设置，排气孔6开设在气管12的顶部，供气管7的一端与气管12的底部连通。请结合图7，这种结构的水冷板，其顶面距离工艺载板14的距离更近，吹扫效果更佳。
第三种结构如图5所示，气道5由气道槽17和盖罩18构成，气道槽17开设在板体1的顶面上，气道槽17沿着水路槽8的边沿并行设置，盖罩18为倒U形结构，固定在气道槽17上，排气孔6形成于盖罩18的顶部，供气管7的一端与气道槽17的底部连通。采用这种结构不但能够起到冷却气体的作用，还能够缩短排气孔6与工艺载板14的距离，同时提高冷却和吹扫的效果。
第四种结构如图6所示，气道5为密闭腔室19，密闭腔室19固定在板体1的顶面上，密闭腔室19的底面与板体1的顶面形状、大小完全相同，排气孔6设于密闭腔室19的顶部，供气管7的一端与密闭腔室19的底部连通。采用这种结构时，由于进入密闭腔室19内的气体可以与水冷板16的顶面充分接触，使气体温度降低，通过密闭腔室19吹出的气体，不但出气均匀，而且具有显著的冷却效果。
一种真空镀膜腔，如图7所示，包括腔体13，腔体13内由上至下依次设有工艺载板14、加热灯管15和水冷板16，工艺载板14设于腔体13内的中部，水冷板16采用上述的集成式水冷板。
采用集成式水冷板，可以有效提高吹扫效果，对集成式水冷板与工艺载板14之间的狭小空间进行吹扫，避免加热灯管15上产生颗粒沉积。同时还能够节省腔体13内部安装维护空间，间接的减少了腔体13加工和工艺成本。
以上依据图式所示的实施例详细说明了本实用新型的构造、特征及作用效果，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，但本实用新型不以图面所示限定实施范围，凡是依照本实用新型的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本实用新型的保护范围内。