一种靶材部件及平面靶的制作方法

本实用新型涉及靶材结构技术领域，特别涉及一种靶材部件及平面靶。

背景技术：

目前有一种平面型靶材部件，其特点在于整块靶材设置于底座上，靶面为平面或基本呈平面，这类靶材部件在实际使用中，存在一个问题，即利用率较低，原因在于，在使用该类靶材部件做磁控溅射镀膜时，由于磁场产生的磁力线在靶面分布不均，在磁力线集中的地方，等离子体最强，对应的靶面上由于溅射形成“V”型沟道，一旦此处靶材消耗到无法满足溅射工艺要求时，则整个靶材部件不能再使用，需要更换，从而导致靶材利用率不高的问题，靶材利用率不高将导致生产成本较高。因此改进靶材部件以实现靶材的利用率的提高是很有意义的。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种靶材部件，实现靶材利用率的提高，还提供一种平面靶，由前述靶材部件构成，结构紧凑，可提供更大面积的靶面，并可进一步提高靶材利用率。

本实用新型为解决技术问题提出一种技术方案：设计一种靶材部件，包括靶材和底座，所述靶材包括多个靶材片，多个靶材片排列形成靶面，各个靶材片均与底座连接。

优选的，各个靶材片与所述底座经铟焊接，这样，当需要调整时，将铟加热至熔融，就能够调整靶材片的位置，即将损耗较大的靶材片取放至外侧，而损耗较小的靶材片进行填补，从而满足溅射工艺要求，因此，经铟焊接，调整靶材片简单方便，在调整过程中，只是改变各个靶材片的位置，而不需要额外增加新的靶材片，然而，当然也可以使用新的靶材片将旧的靶材片予以替换。

优选的，各个靶材片均为条形，且相互平行或基本相互平行，这样，更便于排列，也就更便于调整。

优选的，各个靶材片均为长度一致或基本一致的矩形片，这样，更有利于提高靶材的利用率，也更利于排列形成整体性较好的靶面。

优选的，以靶面中心线为分割线，自靶面中心线向靶面两侧方向，各个靶材片的宽度逐渐变大，这样，更有利于提高靶材的利用率。

优选的，各矩形片形成的靶面为矩形面，这样，较为规则，靶材片加工简单，且更易于排列靶材片和控制靶面形成的质量。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：靶材由多个靶材片排列形成，也就是说多个靶材片的组合形成靶面，从而能够通过调整靶材片来保持靶面满足溅射工艺的要求，即较快速度消耗掉的靶材片，通过将其移至其它位置，并由仍然较厚的靶材片取而代之，实现保持靶面满足溅射工艺的要求，因此杜绝了现有技术中因靶材部分消耗殆尽就把靶材进行整体报废的浪费处理，大大的提高了靶材的利用率。

本实用新型为解决技术问题还提出一种技术方案：设计一种平面靶，包括靶材部件和安装座，安装座设有安装槽，靶材部件与安装槽可拆式连接，沿安装槽长度方向依序安装有多个所述的靶材部件，各靶材部件的靶面沿安装槽长度方向依序排列形成一个总靶面。

优选的，安装槽为T形槽或燕尾槽，靶材部件的底座包括与T形槽或燕尾槽相配合的配合部，该结构拆装方便，连接稳固。

优选的，配合部的上表面为用于连接靶材片的安装面，安装面连接靶材片后形成的靶面的高度与安装槽上表面持平或基本持平，这样，将配合部的上表面直接作为所述的安装面，具有简化结构、结构紧凑的优点，且这样的结构在侧向可利用安装槽侧面对靶材片进行限位，从而使得整个靶面更为稳定。

优选的，各个靶材片均为条形，且沿安装槽长度方向相互平行或基本相互平行，这样，形成的总靶面更加符合溅射工艺的要求，更有利于提高利用率，且在装入和拆除时，只有最外侧的靶材片可能与安装槽侧面有一定的接触或轻微碰撞，而最外侧的靶材片之间的靶材片不受影响，因此各分靶面的质量在装入和拆除时均能够得以保障，也就是使得总靶面的质量得以保证。

附图说明

图1为本实用新型靶材部件的俯视图。

图2为本实用新型靶材部件的左视图。

图3为图1所示的靶材部件使用后需调整时的俯视图。

图4为对图3所示的靶材部件进行调整后的俯视图。

图5为本实用新型平面靶的俯视图。

图中标号说明：1、靶材，2、底座，3、靶材片，4、铟，5、安装座。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的实施例作进一步描述。

如图1、2所示，本实施例涉及一种靶材部件，包括靶材1和底座2，靶材1包括多个靶材片3，多个靶材片3排列形成靶面，各个靶材片3均与底座2连接。

其中如图3、4所述，各个靶材片3与底座2经铟4焊接。这样设计，当需要调整时，将铟4加热至熔融，就能够调整靶材片3的位置，即将损耗较大的靶材片3取放至外侧，而损耗较小的靶材片3进行填补，从而满足溅射工艺要求。因此，经铟4焊接，调整靶材片3简单方便，在调整过程中，只是改变各个靶材片3的位置，而不需要额外增加新的靶材片3，当然也可以使用新的靶材片3将旧的靶材片3予以替换。克服现有技术因靶材1部分消耗殆尽就做整体报废的浪费处理的技术问题，通过调整各靶材片3的位置，大大提高了靶材1的利用率。

在本实施例中，各个靶材片3均为条形，且相互平行或基本相互平行，这样，更便于排列，也就更便于调整。

各个靶材片3均为长度一致或基本一致的矩形片，这样更有利于提高靶材1的利用率，也更利于排列形成整体性较好的靶面。

在实际使用过程中，作为优选，以靶面中心线为分割线，自靶面中心线向靶面两侧方向，各个靶材片3的宽度逐渐变大，这样更有利于提高靶材1的利用率。

各矩形片形成的靶面为矩形面，这样较为规则，靶材片3加工简单，且更易于排列靶材片3和控制靶面形成的质量。

相邻靶材片3之间的间距小于或等于0.8mm，该间距可以尽可能的小，从而使得靶面的整体性更好，更有利于溅射工艺的实施。

举个例子，现将6㎜的靶材1改为5-7个靶材片3，能够将原有30％的利用率提高至50％左右，这在实际生产中是非常有意义的。

如图5所述，本实施例为解决技术问题还提出一种技术方案：设计一种平面靶，包括靶材部件和安装座5，安装座5设有安装槽，靶材部件与安装槽可拆式连接，沿安装槽长度方向依序安装有多个的靶材部件，各靶材部件的靶面沿安装槽长度方向依序排列形成一个总靶面。

安装槽为T形槽或燕尾槽，靶材部件的底座2包括与T形槽或燕尾槽相配合的配合部，该结构拆装方便，连接稳固，本例中采用T形槽。

配合部的上表面为用于连接靶材片3的安装面，安装面连接靶材片3后形成的靶面的高度与安装槽上表面持平或基本持平，这样，将配合部的上表面直接作为的安装面，具有简化结构、结构紧凑的优点，且这样的结构在侧向可利用安装槽侧面对靶材片3进行限位，从而使得整个靶面更为稳定。

各个靶材片3均为条形，且沿安装槽长度方向相互平行或基本相互平行，这样，形成的总靶面更加符合溅射工艺的要求，更有利于提高利用率，且在装入和拆除时，只有最外侧的靶材片3可能与安装槽侧面有一定的接触或轻微碰撞，而最外侧的靶材片3之间的靶材片3不受影响，因此各分靶面的质量在装入和拆除时均能够得以保障，也就是使得总靶面的质量得以保证。

本实用新型的有益效果为：靶材由多个靶材片排列形成，也就是说多个靶材片的组合形成靶面，从而能够通过调整靶材片来保持靶面满足溅射工艺的要求，即较快速度消耗掉的靶材片，通过将其移至其它位置，并由仍然较厚的靶材片取而代之，实现保持靶面满足溅射工艺的要求，因此杜绝了现有技术中因靶材部分消耗殆尽就把靶材进行整体报废的浪费处理，大大的提高了靶材的利用率。

上述说明示出并描述了本实用新型的若干优选实施例，但如前所述，应当理解本实用新型并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述实用新型构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本实用新型的精神和范围，则都应在本实用新型所附权利要求的保护范围内。