一种镀膜机液氮旋转冷却装置的制作方法

技术特征：

1.一种镀膜机液氮旋转冷却装置，其特征在于：从上到下依次包括液氮旋转装置、支撑螺杆、真空密封装置、空心管、基片台，液氮旋转装置的外壳和真空密封装置的外壳通过支撑螺杆相连；在液氮旋转装置和真空密封装置的中间轴之间设置有连接体、大齿轮，大齿轮位于连接体下部并和连接体螺栓连接，真空密封装置外壳上固定有电机座，所述电机座上设置有电机，所述电机连接有小齿轮，小齿轮通过皮带连接到大齿轮；大齿轮与穿过真空密封装置的空心管焊接，空心管中设置有冷却管，冷却管上部与液氮旋转装置相连接，下部与基片台相连。

2.根据权利要求1所述的镀膜机液氮旋转冷却装置，其特征在于：空心管外侧的上部设置有波纹管，波纹管位于真空密封装置下面，二者螺栓相连。

3.根据权利要求1所述的镀膜机液氮旋转冷却装置，其特征在于：液氮旋转装置和真空密封装置的中间轴使用螺栓分别与连接体相连。

4.根据权利要求1所述的镀膜机液氮旋转冷却装置，其特征在于：所述冷却管包括进氮口和出氮口，所述冷却管在基片台螺旋排列，形成螺旋冷却面。

5.根据权利要求4所述的镀膜机液氮旋转冷却装置，其特征在于：所述液氮旋转装置包括与进氮口和出氮口分别对应的液氮入口和液氮出口。

6.根据权利要求1所述的镀膜机液氮旋转冷却装置，其特征在于：大齿轮为高真空密封齿轮，下面为真空密封装置，大齿轮与真空密封装置的中间轴螺栓连接。