在基底、硬材料层、加工工具和涂层源上产生硬材料层的方法与流程

文档序号:16045147发布日期:2018-11-24 10:48阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及在基底上产生硬材料层的方法,其中通过物理气相沉积(PVD)交替将CrTaN和AlTiN沉积使得多层涂层系统应用于基底,其中优选地CrTaN和/或AlTiN由复合靶沉积的。

技术研发人员:克里斯托夫·切特尔;马库斯·波勒;皮特·波尔契克;马丁·卡特赖因
受保护的技术使用者:森拉天时奥地利有限公司;普兰西复合材料有限公司
技术研发日:2017.03.03
技术公布日:2018.11.23
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