一种曲面工件超精密抛光方法与流程

文档序号:14730970发布日期:2018-06-19 19:32阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种曲面工件超精密抛光方法,其特征是,所述方法为:室温下,将工件先后置于抛光液I和II中,并控制抛光液以一定流速流经工件的待抛光面,持续处理至少5min,所述抛光液I和II按质量百分比,包括1~25%的磨料和75~99%的基液;所述抛光液I所用磨料为氧化铝晶须、SiC晶须、ZnO晶须、碳纤维,且磨料的长径比为2~10,长度为5~10微米;所述抛光液II所用磨料为平均粒径为0.5~50微米的超硬材料颗粒,所述超硬材料为金刚石颗粒、立方BN颗粒、SiC颗粒。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征是,所述基液按下述方法制备所得, 包括下述工艺步骤:

(1)将SiO2纳米粒子与硅烷偶联剂和乙二醇按质量比为100:1~2:5~10混合后进行球磨,球磨时间至少0.5h,球磨后进行干燥,得到预处理的SiO2纳米粒子;

(2)将顺丁烯二酸酐按与水的质量比为15~50:100溶于水中,90~105℃,在过硫酸铵存在下使其与丙烯酸反应4~6 h,反应同时向反应液内滴加质量分数为30~40%NaOH溶液,反应完毕后调节溶液pH值为7~7.5,得共聚物溶液,其中,顺丁烯二酸酐与丙烯酸的摩尔比1:0.5~2,过硫酸铵与顺丁烯二酸酐的摩尔比为0.1~5:100;

(3)将步骤(1)所得预处理的SiO2纳米粒子按0.5~5g:10mL溶于步骤(2)所得共聚物溶液中,超声分散,干燥;将干燥所得SiO2纳米粒子按与介质溶剂的质量比为10:4~8分散于介质溶剂中,超声分散,得抛光液用基液。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征是,所述抛光液I按质量百分比,包括5~15%的磨料,所述抛光液I所用磨料为氧化铝晶须、SiC晶须、ZnO晶须、碳纤维,且磨料的长径比为2~5,长度为5~10微米。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征是,所述抛光液II按质量百分比包括10~25%的磨料,所用磨料为平均粒径为5~20微米的超硬材料颗粒,所述超硬材料为金刚石颗粒、立方BN颗粒、SiC颗粒。

5.根据权利要求1所述的方法,其特征是,所述步骤(1)中,所述SiO2纳米粒子的平均粒径为50nm~200nm。

6.根据权利要求1所述的方法,其特征是,所述步骤(2)中,所述顺丁烯二酸酐与水的质量比为28~35:100。

7.根据权利要求1所述的方法,其特征是,所述步骤(2)中,所述顺丁烯二酸酐与丙烯酸的摩尔比为1:1~1.5;所述过硫酸铵与顺丁烯二酸酐的摩尔比为0.5~2.7:100。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1