本发明涉及内部减压的减压容器、包括减压容器的处理装置、包括处理装置的处理系统、以及使用减压容器制造平板显示器的方法。
背景技术：
：例如，在用于制造半导体装置或平板显示器(fpd)的处理装置(譬如成膜装置)中，诸如成膜处理这样的处理在减压容器中进行。在这种类型的减压容器中，容器内部被减压且因此压力被施加至容器的壁部。此时，如果容器的壁部的强度较低，则壁部将变形，并且因此将产生诸如空气通过接合部等进入容器中且因此无法维持容器内部的压力、或者壁部的变形影响到设置在容器中的内藏物这样的问题。因此，减压容器需要具有耐压强度。另外，由于所施加的压力随着容器的尺寸变大而变高，因此在增大容器的尺寸时需要增加容器的强度。因此，加大的减压容器变得更重。例如，在用于制造半导体装置或fpd的处理装置(譬如成膜装置)中，因为减压容器的尺寸随着晶圆或玻璃基板的尺寸的增大而增大，所以减压容器的重量也趋于增大。这就意味着用于减压容器的材料的成本增加以及用于安装减压容器的铺设成本增加。因此，希望提供一种减压容器，其尽可能轻，同时具有足够的耐压强度。作为用于加强减压容器的手段，例如日本专利特开jp2010-243015提出了一种肋结构。通过在承受压力的壁面上设置竖立的肋，所获得的减压容器与具有简单的平面结构的减压容器相比强度更高并且重量更轻。然而，尽管日本专利特开jp2010-243015中的肋结构所能够实现的减压容器与未设置肋的减压容器相比强度更高且重量更轻，但是仍然希望能够进一步减轻在处理装置等中使用的减压容器的重量。技术实现要素：根据本发明的第一方面，一种减压容器包括外壁，所述外壁包括第一构件，所述第一构件包括第一基部和第一肋部，所述第一基部包括具有四边形形状的第一表面，所述第一肋部设置在所述第一表面上。所述第一肋部包括：围绕所述第一表面的中心的第一肋；多个第二肋，所述多个第二肋连接至所述第一肋并且朝向所述第一表面的四边形形状的侧边延伸；以及多个第三肋，所述多个第三肋分别设置成与所述第一表面的四边形形状的相应角部相对、朝向形成所述第一表面的四边形形状的相应角部的相应成对侧边延伸、并且相互间隔开。根据本发明的第二方面，一种制造平板显示器的方法包括：将基板设置在减压容器内部，所述减压容器包括外壁，所述外壁包括一构件，所述构件包括基部和肋部，所述基部包括具有四边形形状的表面，所述肋部设置在所述表面上，所述肋部包括第一肋、多个第二肋和多个第三肋，所述第一肋围绕所述表面的中心，所述多个第二肋连接至所述第一肋并且朝向所述表面的四边形形状的侧边延伸，所述多个第三肋分别设置成与所述表面的四边形形状的相应角部相对、朝向形成所述表面的四边形形状的相应角部的相应成对侧边延伸、并且相互间隔开；在所述减压容器内部的所述基板上由平板显示器的材料成膜；以及将所述基板从所述减压容器中取出。本发明的更多特征将根据以下参照附图对示范性实施例的说明变得显而易见。附图说明图1是示出了根据第一示范性实施例的处理系统的说明图。图2是示出了根据第一示范性实施例的处理装置的说明图。图3是根据第一示范性实施例的减压容器的透视图。图4a是根据第一示范性实施例的减压容器的上表面部或下表面部的平面图。图4b是根据第一示范性实施例的减压容器的侧表面部的平面图。图5是根据第二示范性实施例的减压容器的透视图。图6是根据第二示范性实施例的减压容器的门的平面图。图7a是构成第一示范性实施例的减压容器的上表面部和下表面部的构件的尺寸的说明图。图7b是构成第一示范性实施例的减压容器的侧表面部的构件的尺寸的说明图。图8是比较例1的减压容器的透视图。图9是示例2和示例3的门的尺寸的说明图。图10是比较例2的减压容器的门的尺寸的说明图。图11a至11e是第一肋的变型例的说明图。图12a至12e是第二肋的变型例的说明图。图13a和13b是第三肋的变型例的说明图。图14是根据第二示范性实施例的减压容器的变型例的透视图。具体实施方式以下将参照附图详细描述本发明的示范性实施例。第一示范性实施例图1是示出了根据第一示范性实施例的处理系统的说明图。处理系统100是用于制造平板显示器的系统。平板显示器的示例包括有机电致发光显示器(oled显示器)、液晶显示器、等离子显示器、场发射显示器、以及电子纸，并且在第一示范性实施例中将描述平板显示器为oled显示器的情形。处理系统100包括作为真空室的减压容器101至110。减压容器101、102和103是传送室，其中用作工件的基板由设置在传送室中且用作传送机构的机械手120传送。减压容器101和102经由一减压容器107相互连接，并且减压容器102和103经由另一减压容器107相互连接。减压容器107是基板在其中进行过渡的过渡室。多个减压容器104、减压容器105和减压容器106连接至减压容器101。多个减压容器104和减压容器106连接至减压容器102。减压容器108、减压容器109和减压容器110连接至减压容器103。减压容器104是沉积室，薄膜的材料例如金属材料或有机材料在沉积室中被沉积到支撑于托盘上的基板上。减压容器105是基板供给室，从外部通过该基板供给室供给基板。减压容器106是收纳室，用于支撑基板的托盘被收纳在该收纳室中，并且每当在减压容器104中的托盘上沉积了预定厚度的膜或者较厚的膜时，都会将托盘传送至减压容器106。通过将传送至减压容器106的托盘取出，即可对托盘进行清洁。减压容器108是玻璃供给室，通过该玻璃供给室供给密封玻璃，并且减压容器109是贴合室，在该贴合室中将密封玻璃贴合到其上已经形成有膜的基板上。减压容器110是取出室，制成的oled显示器通过该取出室取出。将描述制造oled显示器的方法。供给至减压容器105的基板由减压容器101中的机械手120相继地传送至相应的减压容器104，并且进行成膜处理。在由设置在相应的减压容器104中的气相沉积装置完成了成膜之后，基板被传送至减压容器107，并且由此将基板过渡到减压容器102中的机械手120。然后，基板由减压容器102中的机械手120相继地传送至相应的减压容器104，并且进行成膜处理。在相应的减压容器104中完成了成膜之后，基板被传送通过减压容器107(其用作传送路径)以将基板过渡到减压容器103中的机械手120，然后基板被传送到减压容器109。供给至减压容器108的密封玻璃由机械手120传送至减压容器109，基板和密封玻璃被贴合在一起，并且由此制造oled显示器。制成的oled显示器由机械手120传送至减压容器110，并且由此被取出。图2是示出了根据第一示范性实施例的处理装置200的说明图。图2所示的处理装置200是成膜装置，其通过沉积在用作工件的基板w上成膜，并且包括如图1所示的减压容器104。图1所示的处理系统100包括多个如图2所示的处理装置200。处理系统100中的处理装置200均在oled显示器的制造步骤的一部分中使用，也就是在成膜步骤中使用，且均构造成用以例如将有机材料沉积在设于减压容器104中的用作工件的基板w上。要沉积在基板w上的有机材料是用以构成有机电致发光层的材料，并且例如是用以构成发光层的alq3。处理部210设置在减压容器104中。处理部210是构造成用以在设于减压容器104中的用作工件的基板w上执行处理的处理部并且包括沉积源8。支撑基板w的托盘1设置成与沉积源8相对。防沉积构件2设置在托盘1的沉积源侧。掩膜4安置在托盘1上。基板w如图1所示由机械手120传送至减压容器104，并且在基板w和掩膜4之间执行对准。托盘1和基板w被放置在支撑部5上。反射器7设置成围绕沉积源8。挡板6设置在沉积源8上方。沉积速率监测器10设置在挡板6上方。沉积速率监测器10用于测量来自沉积源8的沉积速率，并且将测量结果传输至控制装置500。控制装置500构造成用以控制成膜，并且当沉积速率监测器10的监测值变成稳定在期望值时开始在基板w上进行成膜。减压容器104连接至排气装置220例如泵，并且减压容器104的内部能够通过促使排气装置220进行操作而减压。图3是根据第一示范性实施例的减压容器104的透视图。图4a是根据第一示范性实施例的减压容器104的上表面部或下表面部的平面图。图4b是根据第一示范性实施例的减压容器104的侧表面部的平面图。如图3所示，减压容器104包括容器本体150。容器本体150例如由金属(譬如不锈钢)形成。当容器本体150的六个外表面均被视为外壁时，容器本体150包括六个构件155(每个构件都构成外壁)，并且具有通过例如经由焊接将构件155彼此接合而形成的大致长方体的形状。焊接的示例包括不用焊条而执行的焊接。构件155均包括板状构件151和肋部160。板状构件151具有平板状的形状，并且用作具有四边形外表面152的基板部。肋部160例如通过不用焊条的焊接或点焊而接合至板状构件151的外表面152。在下文中，通过将构成容器本体150的上表面部和下表面部的构件155称作构件1551、并且将构成容器本体150的侧表面部的构件155称作构件1552来进行描述。板状构件1511的外表面1521是方形的，并且板状构件1512的外表面1522是矩形的。另外，容器本体150的上表面部或下表面部的板状构件1511以及构成侧表面部的两个板状构件1512彼此邻接地设置成相互垂直。另外，构成容器本体150的相邻侧表面部的两个板状构件1512也彼此邻接地设置成相互垂直。用于加强的肋部160设置成竖立在六个板状构件151中的每一个的外表面152上。由于板状构件151通过肋部160而得到加强，因此能够在增加减压容器104的强度的同时减小板状构件151的厚度，并且由此能够减轻减压容器104的重量。只要在多个板状构件151中的至少一个上设置肋部160就足够了。与设有肋部160的板状构件151相比，未设置肋部160的板状构件151可能要为了保持高强度而设置得更厚。因此，设有肋部160的板状构件151越多，减压容器104能够减轻的重量就越多。在下文中，设置在板状构件1511上的肋部160将被称作肋部1601，并且设置在板状构件1512上的肋部160将被称作肋部1602。将描述容器本体150的上表面部和下表面部上的肋部1601。肋部1601包括用作第一肋的肋1611、用作多个第二肋的四个肋1621、以及用作多个第三肋的四个肋1631。用作第一肋的肋1611是在外表面1521上设置成围绕四边形外表面1521的中心p1的肋，如图4a所示。中心p1是两条对角线的交点，每一条对角线都连接外表面1521的两个相对的顶点。在第一示范性实施例中，肋1611是通过将四个直线状肋611连结成四边形的形状而形成的肋。也就是说，在沿着垂直于外表面1521的方向观察时，肋1611具有四边形的形状。肋1611具有在周向上连续的封闭形状从而确保强度。由肋1611围绕的区域r1是肋1611内侧的区域。该区域r1是在其中不设置另外的肋的区域。即使在肋1611内侧的区域r1中设置另外的肋，该另外设置的肋的加强效果也较差。由于在第一示范性实施例中不在区域r1中设置另外的肋，因此能够进一步减轻减压容器104的重量。用作第二肋的肋1621在外表面1521上设置成连接至肋1611并且朝向外表面1521的四边形形状的侧边s11至s41之一延伸。在第一示范性实施例中，四个肋1621朝向相应的侧边s11至s41径向地延伸。尽管并不是每一个肋1621都必须抵接侧边s11至s41中的对应侧边，但优选的是每一个肋1621都抵接侧边s11至s41中的对应侧边。在第一示范性实施例中，肋1621抵接侧边s11至s41，因此肋1621的加强效果得到增强，进一步增加了减压容器104的强度，并且能够更有效地抑制减压容器104的变形。在肋1621不抵接侧边s11至s41的情况下，优选的是在沿着垂直于外表面1521的方向观察时从肋1621的端部到外表面1521的侧边的距离为100mm以下。也就是说，肋1621设置成延伸至抵接侧边s11至s41的位置，或者延伸至侧边s11至s41附近的位置，具体地说是延伸至与侧边s11至s41的距离为100mm以下的位置。在沿着垂直于外表面1521的方向观察时，肋1621均为垂直于侧边s11至s41中的对应侧边的直线状肋。通过将肋1621设置成分别垂直于侧边s11至s41，进一步增加了减压容器104的强度，并且能够更有效地抑制减压容器104的变形。也就是说，能够进一步减轻减压容器104的重量。另外，四个肋1621包括分别朝向四边形的两条相对侧边s11和s31延伸的一对肋1621以及分别朝向四边形的两条相对侧边s21和s41延伸的一对肋1621。通过成对的肋1621分别朝向两条侧边s11和s31延伸，能够有效地抑制减压容器104的变形。通过成对的肋1621分别朝向两条侧边s21和s41延伸，也能够有效地抑制减压容器104的变形。由于在第一示范性实施例中肋1621沿着四个方向朝向四条侧边s11至s41延伸，因此能够更有效地抑制减压容器104的变形。也就是说，能够进一步减轻减压容器104的重量。另外，四个肋1621分别从多边形肋1611的角部c51、c61、c71和c81朝向侧边s11至s41延伸。由于肋1621从角部c51、c61、c71和c81延伸，因此与肋1621从肋611的中段延伸的情况相比，加强板状构件1511的效果得以增加，并且能够进一步减轻减压容器104的重量。用作第三肋的肋1631在外表面1521上设置成分别与四边形外表面1521的角部c11、c21、c31和c41相对。也就是说，一个或多个肋1631设置成与角部c11、c21、c31和c41中的每一个相对应。在第一示范性实施例中，针对角部c11、c21、c31和c41中的每一个角部都设有一个肋1631。也就是说，一共设有四个肋1631。四个肋1631在外表面1521上设置成分别朝向形成相应角部c11、c21、c31和c41的成对相邻侧边延伸，也就是分别朝向侧边s11和s21、侧边s21和s31、侧边s31和s41、以及侧边s41和s11延伸。尽管肋1631不必抵接侧边s11至s41，但优选的是肋1631抵接侧边s11至s41。在第一示范性实施例中，肋1631均设置成抵接两条相邻侧边，也就是连接两条相邻侧边。在第一示范性实施例中，由于肋1631抵接侧边s11至s41，因此肋1631的加强效果得到增强，进一步增加了减压容器104的强度，并且能够更有效地抑制减压容器104的变形。在肋1631不抵接侧边s11至s41的情况下，优选的是在沿着垂直于外表面1521的方向观察时肋1631的端部与外表面1521的侧边s11至s41之间的距离为100mm以下。也就是说，肋1631设置成延伸至抵接侧边s11至s41的位置，或者延伸至侧边s11至s41附近的位置，具体地说是延伸至与侧边s11至s41的距离为100mm以下的位置。用作第三肋的肋1631不在侧边s11至s41处相互连接。也就是说，设置在四边形外表面上的一个第三肋1631与设置在四边形外表面上的另一个第三肋1631间隔开。以侧边s11为例，两个肋1631抵接侧边s11，并且这两个肋1631不在侧边s11处相互连接。也就是说，这两个肋1631不相互接触。这同样适用于侧边s21至s41。肋1631是相对于形成角部(该角部与所述肋1631相对)的两条相邻侧边都倾斜的直线状肋。每个肋1631都在外表面1521上设置成与肋611(其与该肋1631相对)平行。接下来，将描述容器本体150的侧表面部上的肋部1602。也就是说，如图4b所示，类似于肋部1601，肋部1602包括用作第一肋的肋1612、用作多个第二肋的四个肋1622、以及用作多个第三肋的四个肋1632。尽管设在矩形外表面1522上的肋部1602的肋1612、1622和1632分别设置为与设在方形外表面1521上的肋部1601的肋1611、1621和1631数量相同，但是肋1612、1622和1632与肋1611、1621和1631在倾斜角等方面不同。类似于肋1611，用作第一肋的肋1612在外表面1522上设置成围绕四边形外表面1522的中心p2。类似于区域r1，肋1612内侧的区域r2是在其中不设置另外的肋的区域。类似于肋1621，用作第二肋的肋1622连接至肋1612，并且朝向外表面1522的四边形形状的侧边s12至s42中的对应侧边径向地延伸。具体地，肋1622分别从多边形肋1612的角部c52、c62、c72和c82朝向侧边s12至s42延伸。类似于肋1631，用作第三肋的肋1632设置成相对于四边形外表面1522的两条相邻侧边都倾斜。根据肋部1601和1602的上述构造，能够有效地抑制减压容器104的变形，并且因此能够减轻容器本体150的重量。也就是说，能够在保持减压容器104的高强度的同时减轻减压容器104的重量。在第一示范性实施例中，针对分别构成容器本体150的上表面和侧表面的两个相邻构件1551和1552，用作第一构件的构件1551的四个肋1621包括朝向两个外表面1521和1522之间的边界b1延伸的肋1621。类似地，用作第二构件的构件1552的四个肋1622包括朝向边界b1延伸的肋1622。朝向边界b1延伸的肋1621和朝向边界b1延伸的肋1622在边界b1处彼此连接且一体化。另外，针对构成容器本体150的两个侧表面的两个相邻构件1552，用作第一构件的一个构件1552的四个肋1622包括朝向两个相邻外表面1522之间的边界b2延伸的肋1622。类似地，用作第二构件的另一个构件1552的四个肋1622包括朝向边界b2延伸的肋1622。朝向边界b2延伸的两个肋1622在边界b2处彼此连接且一体化。同时，用作第三肋的肋1631和用作第三肋的肋1632尽管彼此靠近且相互接触，但并未在两个相邻构件1551和1552之间的边界b1处彼此连接或一体化。这是因为连接和一体化这些肋会造成不必要的重量增加。由于如上所述将肋1621和肋1622彼此连接以及将肋1622彼此连接，加强效果得以进一步增强，能够有效地抑制减压容器104的变形，并且因此能够进一步减轻减压容器104的重量。第二示范性实施例接下来，将描述根据第二示范性实施例的减压容器。图5是根据第二示范性实施例的减压容器的透视图。在图5所示的第二示范性实施例中，构成减压容器104a的一个外壁的一部分的构件是门155a，其构造成用以相对于容器本体150a打开和关闭。门155a通过多个合页170a固定成能够相对于容器本体150a打开和关闭。图6是根据第二示范性实施例的减压容器104a的门155a的平面图。门155a包括门本体151a和肋部160a。门本体151a是具有平板状形状且包括四边形外表面152a的基部。肋部160a设置在外表面152a上，并且包括用作第一肋的肋161a、用作多个第二肋的四个肋162a、以及用作多个第三肋的四个肋163a。用作第一肋的肋161a是在外表面152a上设置成围绕四边形外表面152a的中心pa的肋。在第二示范性实施例中，肋161a是通过将四个直线状肋61a连结成四边形的形状而形成的肋。也就是说，在沿着垂直于外表面152a的方向观察时，肋161a具有四边形的形状。肋161a具有在周向上连续的封闭形状从而确保强度。由肋161a围绕的区域ra是肋161a内侧的区域。该区域ra是在其中不设置另外的肋的区域。用作第二肋的肋162a在外表面152a上设置成连接至肋161a并且朝向外表面152a的四边形形状的侧边s1a至s4a之一延伸。在第二示范性实施例中，四个肋162a中的两个朝向侧边s1a延伸，并且四个肋162a中的另外两个朝向侧边s3a延伸。尽管并不是每一个肋162a都必须抵接侧边s1a和s3a中的对应侧边，但优选的是每一个肋162a都抵接侧边s1a和s3a中的对应侧边。在第二示范性实施例中，肋162a抵接侧边s1a和s3a，因此肋162a的加强效果得到增强，进一步增加了减压容器104a的强度，并且能够更有效地抑制减压容器104a的变形。在肋162a不抵接侧边s1a和s3a的情况下，优选的是在沿着垂直于外表面152a的方向观察时从肋162a的端部到外表面152a的侧边的距离为100mm以下。也就是说，肋162a设置成延伸至抵接侧边s1a和s3a的位置，或者延伸至侧边s1a和s3a附近的位置，具体地说是延伸至与侧边s1a和s3a的距离为100mm以下的位置。在沿着垂直于外表面152a的方向观察时，肋162a均为垂直于侧边s1a和s3a中的对应侧边的直线状肋。通过将肋162a设置成垂直于侧边s1a和s3a，进一步增加了减压容器104a的强度，并且能够更有效地抑制减压容器104a的变形。另外，四个肋162a包括两对肋162a，这两对肋162a分别朝向外表面152a的四边形形状的两条相对侧边s1a和s3a延伸。这两对肋162a有效地防止减压容器104a变形。由于合页、拉杆等附接至门本体151a的左侧和右侧，因此肋162a构造成仅沿着竖直方向延伸。另外，四个肋162a分别从多边形肋161a的角部c5a、c6a、c7a和c8a朝向侧边s1a和s3a延伸。由于肋162a从角部c5a、c6a、c7a和c8a延伸，因此与肋162a从肋61a的中段延伸的情况相比，加强门本体151a的效果得以增加，并且能够进一步减轻减压容器104a的重量。用作第三肋的肋163a在外表面152a上设置成分别与四边形外表面152a的角部c1a、c2a、c3a和c4a相对。也就是说，一个或多个肋163a设置成与角部c1a、c2a、c3a和c4a中的每一个相对应。在第二示范性实施例中，针对角部c1a、c2a、c3a和c4a中的每一个角部都设有一个肋163a。也就是说，一共设有四个肋163a。四个肋163a在外表面152a上设置成分别朝向形成相应角部c1a、c2a、c3a和c4a的成对相邻侧边延伸，也就是分别朝向侧边s1a和s2a、侧边s2a和s3a、侧边s3a和s4a、以及侧边s4a和s1a延伸。用作第三肋的肋163a不在相应的侧边s1a至s4a处相互连接。此外，每个肋163a都有一个端部不抵接侧边s1a或s3a并且连接至对应的一个肋162a，并且另一个端部抵接侧边s2a或s4a。也就是说，在四边形外表面152a的侧边上，设在四边形外表面152a上的一个第三肋163a与设在四边形外表面152a上的另一个第三肋163a间隔开。以侧边s1a为例，朝向侧边s1a延伸的两个肋163a不抵接侧边s1a，并且这两个肋163a在侧边s1a处不相互接触。也就是说，这两个肋163a不相互接触。肋163a是相对于外表面152a的四边形形状的对应的成对相邻侧边都倾斜的直线状肋。窗口171a设置在区域ra中。窗口171a是用于供操作者视觉观察减压容器104a内部的观察口，并且例如主要使用玻璃类的材料。与不锈钢相比，玻璃具有较低的刚性和较低的强度，并且因此易于变形或破裂。在第二示范性实施例中，肋161a设置成围绕窗口171a，并且因此能够抑制窗口171a的变形。应当注意，在区域ra中可以设置用于连接至另一减压容器的开口以取代窗口171a。肋161a和窗口171a之间的距离d(更具体地说是从肋161a的内边缘到窗口171a的边缘的距离d)优选为100mm以下。由于将距离d设定为100mm以下，因此肋161a和窗口171a彼此接近，并且能够有效地抑制窗口171a的变形。尽管并未特别地限定距离d的下限值，但是从确保肋161a和窗口171a之间的间隙的角度看，该下限值优选为10mm。另外，在第二示范性实施例中，肋部160a包括将一对肋162a彼此平行地连接的肋164a。另外，窗口172a设置在肋161a的上侧，并且窗口173a设置在肋164a的下侧。根据上述的肋部160a的构造，能够有效地抑制减压容器104a的变形，并且因此能够减轻门155a的重量。也就是说，能够在保持减压容器104a的高强度的同时减轻减压容器104a的重量。变型例在用于制造有机电致发光装置的气相沉积装置中，在执行基板和掩膜的对准之后，执行成膜。基板和掩膜需要以微米级的精度对准，并且因此要花费长时间来执行对准。特别地，在基板的尺寸大于所谓的第四代基板的尺寸(即680mm×880mm)的情况下，基板会发生振动或歪斜，并且对准所需的时间增加。因此，可以考虑通过使用容积为在对应尺寸的基板上成膜所需容积的两倍的减压容器、同时在减压容器中的一半的空间内执行对准且在减压容器中的另一半的空间内执行成膜来提高装置的工作效率。然而，在这样的气相沉积装置的情况下，减压容器的尺寸和重量进一步增加。因此，在这样的大型减压容器的情况下，优选的是如图14所示设置两个门155a和155b(每个门都具有类似于图5所示的门155a的结构)，而不是仅设置一个大型门。门的数量不局限于两个，而是可以根据减压容器的尺寸设置为三个或更多个。另外，可以设置具有不同尺寸的多个门。根据这样的构造，设置在减压容器中的开口的尺寸能够减小，因此能够在保持减压容器的强度的同时减轻门的重量，并且能够在整体保持减压容器的高强度的同时减轻减压容器的重量。示例示例1对第一示范性实施例中所述的减压容器104执行模拟测试。基板w的尺寸设定成宽度为925mm、长度为1500mm且厚度为0.4mm，并且除肋部160以外的容器本体150被构造成宽度为4000mm、长度为4000mm且高度为2000mm的长方体。使用sus304作为容器本体150的材料，并且板状构件151的厚度设定为30mm。肋的高度根据装置的外部形状的尺寸的上限来确定，并且高度限制设定为300mm。作为减压容器104的性能参数，获取每一个表面在容器内部为真空且容器外部为正常压力的状态下(也就是在向减压容器104的每一个表面施加0.1mpa的压力的状态下)的最大位移量。另外，每一个第三肋的两个端部均被斜切100mm，并且第二肋之间的连接部均被斜切200mm。图7a是示出了构成示例1的减压容器104的上表面部和下表面部的构件的尺寸的说明图。图7b是示出了构成示例1的减压容器104的侧表面部的构件的尺寸的说明图。尺寸的单位是毫米(mm)。通过将每一个肋的尺寸设定为如图7a和7b所示来执行模拟测试。应当注意，由于肋的结构在竖直方向和水平方向上是对称的，因此所示的尺寸仅限于肋的某些部分。在此，也对比较例1的减压容器执行模拟测试。图8是比较例1的减压容器104x的透视图。图8所示的比较例1的减压容器104x具有将日本专利特开jp2010-243015中所公开的肋结构设置在容器本体的全部六个表面上的构造。肋的厚度一致地设定为30mm，并且肋的高度一致地设定为300mm。如图8所示，尽管比较例1中设在减压容器104x的上表面上的肋8621在点cn附近靠近或者接触设在容器的侧表面上的肋8622，但是肋8621并未连接至肋8622或与之一体化。另外，在容器的四边形外表面的侧边上，设置成与容器的四边形外表面的角部相对的肋8631连接至设在四边形外表面上的另外的肋8631且与之一体化。通过有限元方法来执行模拟测试。有限元方法是广泛用于结构的性能评估以及位移和应力的估算的技术。通过使用有限元方法，计算在减压容器104和104x的每一个下表面部的四个角部都相对于六个坐标轴的方向固定的状态下、在将0.1mpa的压力垂直地施加至减压容器104和104x的本体的所有表面时的最大位移量。下面的表1中示出了示例1和比较例1的有限元模型的样式。表1在以下的表2中示出了通过模拟测试获得的重量[t]和最大位移量[mm]。下表面部的中心点是在示例1的模型和比较例1的模型这两者中的最大位移的位置。表2重量[t]最大位移量[mm]示例119.82.70比较例122.02.77如表2所示，尽管示例1的模型和比较例1的模型的最大位移量是类似的，但示例1的模型的重量较小。因此，这表明可以通过示例1中的肋部160的结构来减轻减压容器104的重量。示例2和示例3对第二示范性实施例中所述的减压容器104a执行模拟测试。图9是示例2和示例3的门155a的尺寸的说明图。在图9中，通过使用肋在其厚度方向上的中心作为基准来示出尺寸。另外，门155a的肋的厚度全都设定为30mm。在示例2和示例3中，窗口周围留出的空间设定为50mm以上，玻璃边缘和肋161a的内边缘之间的间隙设定为10mm以上，并且肋161a的内边缘和窗口的边缘之间的距离设定为60mm以上。在示例2中，门155a的板状构件的厚度设定为30mm。在示例3中，门155a的板状构件的厚度设定为25mm。在此，也对比较例2的减压容器执行模拟测试。图10是比较例2的减压容器的门155y的尺寸的说明图。门155y的板状构件的厚度设定为30mm。由于在日本专利特开2010-243015中所公开的肋结构不能应用于在中心处设有窗口的示例2或示例3，因此将图10所示的简单的栅格状结构用于比较例2的模型。应当注意，由于执行该模拟测试是为了比较门的肋结构，因此在示例2和示例3以及比较例2的模型中省略了诸如容器本体和窗口构件这样的共同部分。也就是说，只有门和肋部的模型被用于进行模拟测试。通过使用有限元方法，计算在门的背面的外周端部被固定的状态下、在将0.1mpa的压力垂直地施加至门的整个表面时的最大位移量。下面的表3中示出了示例2和3以及比较例2的有限元模型的样式。表3在以下的表4中示出了通过模拟测试获得的重量[t]和最大位移量[mm]。表4重量[kg]最大位移量[mm]门的厚度[mm]示例27900.730示例37020.825比较例27940.830在示例2的模型中，变形量小于比较例2的模型中的变形量，并且重量也小于比较例2的模型中的重量。另外，在示例3的模型中，尽管变形量与比较例2的模型中的变形量相同，但是重量比所述比较例2的模型中的重量小92kg。也就是说，通过将示例2或示例3的肋结构应用于减压容器的门，能够在保持减压容器的刚性的同时减轻减压容器的重量。变型例本发明并不局限于上述的示范性实施例，并且能够在本发明的技术思想的范围内进行修改。图11a至11e是示出了第一肋的变型例的说明图。在上述的示范性实施例中，已经描述了在沿着垂直于外表面的方向观察时第一肋为四边形的情形。然而，第一肋的形状不局限于此。第一肋可以是不同的形状，只要第一肋围绕减压容器的外表面的中心即可，并且可以采用各种形状。例如，第一肋可以如图11a所示的肋161b那样为圆形，或者可以如图11b所示的肋161c那样为椭圆形。另外，第一肋可以具有不同于四边形的多边形形状。例如，第一肋可以如图11c所示的肋161d那样为三角形，或者可以如图11d所示的肋161e那样为六边形。另外，第一肋的中心不必与外表面的中心重合，只要第一肋围绕外表面的中心(就像如图11e所示肋161f围绕中心pf那样)即可。图12a至12e是示出了第二肋的变型例的说明图。尽管已经在上述的示范性实施例中描述了第二肋的数量为四个的情形，但是第二肋的数量不局限于此。例如，可以设置多于四个的第二肋，正如图12a所示的肋162b那样。另外，朝向相应侧边延伸的第二肋的数量可以是不同的，正如图12b所示的肋162c那样。另外，两个第二肋可以从第一肋上的相同位置沿着不同的方向延伸，正如图12c所示的第二肋162d从第一肋161g上的相同位置沿着不同的方向延伸那样。另外，优选的是在肋部中所包括的多个第二肋包括朝向外表面的两条相对侧边延伸的成对的肋。也就是说，肋部的第二肋可以是朝向左侧和右侧延伸的成对的肋(正如图12d所示的肋162e那样)，或者可以是朝向上侧和下侧延伸的成对的肋(正如图12e所示的肋162f那样)。图13a和13b是示出了第三肋的变型例的说明图。在上述的示范性实施例中，已经描述了四个第三肋为对称设置的情形。然而，四个第三肋可以不对称地设置，正如图13a所示的肋163b那样。也就是说，各个第三肋的长度可以是不同的。另外，第三肋的数量不受限制，只要与外表面的每一个角部相对应地设置一个或多个第三肋即可。例如，可以与一个角部相对应地设置两个第三肋，正如图13b所示的与一个角部cc相对应地设置两个肋163c那样。另外，尽管已经描述了处理装置200的减压容器104或104a包括肋部160或160a的情形，但是构造方式不局限于此。例如，减压容器101至103以及105至110也可以包括肋部160或160a。另外，板状构件的每一个边缘都可以被斜切。在此情况下，第二肋或第三肋可以仅设置在避开斜切部的平坦表面上。在仅将第二肋或第三肋设置在平坦表面上的情况下，肋具有简单的形状并且因此能够易于执行将肋连接至平坦表面的操作(例如焊接)。另外，在第二肋或第三肋延伸至斜切部的情况下，强度增加，并且因此能够将减压容器的重量减轻对应的量值。另外，尽管已经在上述的示范性实施例中描述了将肋部设置在板状构件的外表面上的情形，但是肋部也可以设置在内表面上。另外，尽管在图3所示的示范性实施例中，肋部设置在减压容器的所有的外表面上，也就是设置在所有的上表面、下表面以及四个侧表面上，但是肋部不必设置在所有的外表面上。例如，在要将一个减压容器连接至另一个减压容器例如图1所示的处理系统200中的减压容器104、105或106的情况下，在连接表面上可以不设置肋。另外，图4所示的肋可以设置在减压容器的某一表面上，并且图5或图14所示的设有肋的门可以设置在另一表面上。另外，如图5或图14所示的设有肋的门可以是在处理工件的处理系统中用于将工件送入减压容器或者用于将工件从减压容器中取出的门。例如，该门可以是在平板显示器的制造系统中用于将用作原材料的基板送入成膜装置等的减压容器以及用于将用作原材料的基板从成膜装置等的减压容器中取出的门。另外，如图5或图14所示的设有肋的门可以是用于在处理工件的处理系统中对减压容器中的处理部进行维护检查的门。例如，在平板显示器的制造系统中，门理想地具有50cm×50cm或更大的尺寸，使得人员或维护工具能够从门通过以进入或离开减压容器，并且门理想地具有200cm×200cm或更小的尺寸以抑制重量的增加。尽管已经参照示范性实施例描述了本发明，但是应该理解本发明并不局限于所公开的示范性实施例。所附权利要求的保护范围应该与最广义的解读相符，以便涵盖所有这样的变型以及等同的结构和功能。当前第1页12