一种抛光垫开槽装置的制作方法

本发明涉及一种开槽装置，特别是关于一种在半导体制造领域中应用的抛光垫开槽装置。

背景技术：

目前，市场上有各种各样的抛光垫开槽机构，而大部分都通过模具挤压的方式进行开槽，挤压出来的槽形，带圆度，在挤压的过程中，可能在材质内部产生形变，在实际抛光加工中对加工件的加工不理想。为了克服上述缺陷，亟需对现有开槽机构进行有益的改进。

技术实现要素：

针对上述问题，本发明的目的是提供一种抛光垫开槽装置，该装置对开槽深度可以进行微调，保证排屑顺畅，降低粉尘污染。

为实现上述目的，本发明采取以下技术方案：一种抛光垫开槽装置，其特征在于：该装置包括主轴、固定圈、锯片固定杆、锯片和紧固螺母；所述主轴的输出端上穿设有所述固定圈，所述固定圈上活动连接有所述微调结构；且所述主轴输出端与所述锯片固定杆传动连接；位于所述锯片固定杆的端部通过所述紧固螺母与所述锯片固定连接。

进一步，所述固定圈两端垂直设置有两滑块，且位于所述固定圈顶部设置有连接板，所述连接板上设置有用于连接所述微调结构的第一螺纹孔和调节孔。

进一步，所述微调结构包括导轨、导轨盖板、压板、紧固螺钉和旋钮千分尺；所述导轨设置在所述导轨盖板两侧，呈垂直设置，所述固定圈上的两滑块与所述导轨盖板两侧的导轨配合；所述导轨盖板顶部设置有第二螺纹孔，所述固定圈与所述导轨盖板之间通过上述第一螺纹孔、第二螺纹孔和紧固螺钉进行连接，且所述调节孔内设置有所述旋钮千分尺；位于所述导轨盖板外侧下部固定连接有所述压板，所述压板中部设置的开槽孔与所述锯片呈对应设置。

进一步，所述主轴外部设置有主轴支架，所述主轴支架顶部设置有安装板，所述安装板上部一侧设置有固定板。

进一步，所述主轴支架包括主轴下固定板和主轴上固定板，所述主轴下固定板采用半圆结构，所述主轴上固定板采用具有半圆槽的矩形结构；所述主轴上固定板上设置有半圆槽的一侧与所述主轴下固定板固定连接，形成中空圆形通孔，所述主轴位于该中空圆形通孔内；所述主轴上固定板另一侧与所述安装板固定连接。

进一步，所述锯片上方设置有防尘罩。

进一步，所述防尘罩通过防尘罩固定块固定在所述安装板的端部。

进一步，所述防尘罩的出口与现有大功率吸尘器连接。

进一步，所述主轴采用2.2KW水冷主轴。

进一步，所述锯片采用硬质合金圆锯片。

本发明由于采取以上技术方案，其具有以下优点：1、本发明采用锯片是切割的方式进行开槽，将抛光垫上的在槽型内的部分切除，对开槽深度可以进行微调，进而保证了排屑顺畅，降低了粉尘污染。2、本发明主轴采用2.2KW水冷主轴电机最高转速可以达到24000转每分钟，运转平稳。3、本发明锯片采用硬质合金圆锯片，防尘罩外接大功率吸尘器，保证排屑顺畅。

附图说明

图1是本发明的整体结构示意图；

图2是本发明的分解结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行详细的描述。

如图1、图2所示，本发明提供一种抛光垫开槽装置，该装置可以实现开槽深度微调，实现在半导体耗材抛光垫上开槽。本发明包括主轴1、固定圈2、微调结构、锯片固定杆3、锯片5和紧固螺母4。主轴1的输出端上穿设有固定圈2，固定圈2上活动连接有微调结构；且主轴1输出端与锯片固定杆3传动连接。位于锯片固定杆3的端部通过紧固螺母4与锯片5固定连接，锯片5经主轴1和锯片固定杆3带动转动，进行工作。

上述实施例中，位于固定圈2两端垂直设置有两滑块，且位于固定圈2顶部设置有连接板6，连接板6上设置有第一螺纹孔7和调节孔8，用于与微调结构连接。

在一个优选地实施例中，微调结构包括导轨9、导轨盖板10、压板14、紧固螺钉12和旋钮千分尺13。导轨9设置在导轨盖板10两侧，呈垂直设置，固定圈2上的两滑块与导轨盖板10两侧的导轨9配合，实现固定圈2与导轨盖板10的滑动连接。导轨盖板10顶部设置有第二螺纹孔11，固定圈2与导轨盖板10之间通过第一螺纹孔7、第二螺纹孔11和紧固螺钉12进行连接，且固定圈2上的调节孔8内设置有旋钮千分尺13，用于调节导轨盖板10的滑动距离。位于导轨盖板10外侧下部固定连接有压板14，压板14中部设置的开槽孔与锯片5呈对应设置。使用时，通过旋钮千分尺13调节导轨盖板10的滑动距离，进而调节压板14与锯片5之间的距离，实现对开槽深度的微调。

在一个优选地实施例中，主轴1外部设置有主轴支架，主轴支架顶部设置有安装板15，安装板15上部一侧设置有固定板16，经固定板16将本发明的装置固定在已有设备上。

上述实施例中，主轴支架包括主轴下固定板17和主轴上固定板18，主轴下固定板17采用半圆结构，主轴上固定板18采用具有半圆槽的矩形结构。主轴上固定板18上设置有半圆槽的一侧与主轴下固定板17固定连接，形成中空圆形通孔，主轴1位于该中空圆形通孔内；主轴上固定板18另一侧与安装板15固定连接。

在一个优选地实施例中，位于锯片上方还设置有防尘罩19，防尘罩19通过防尘罩固定块20固定在安装板15的端部。且防尘罩19的出口与现有大功率吸尘器连接，以保证在工作时将产生的废料排除，保证排屑顺畅，并保证工作环境的清净。

上述各实施例中，主轴1采用2.2KW水冷主轴，电机最高转速可以达到24000转每分钟，运转平稳。

上述各实施例中，锯片5采用硬质合金圆锯片。

综上所述，本发明在使用时，通过旋钮千分尺13对开槽深度进行微调：首先将紧固螺钉12松开，然后通过旋钮千分尺13进行开槽深度的微调，调整好后，将紧固螺钉12锁紧。锯片5的安装与拆卸：取下防尘罩19，再将紧固螺母4取下，然后取下锯片11；反向操作即可将锯片5安装在锯片固定杆3上。

上述各实施例仅用于说明本发明，各部件的结构、尺寸、设置位置及形状都是可以有所变化的，在本发明技术方案的基础上，凡根据本发明原理对个别部件进行的改进和等同变换，均不应排除在本发明的保护范围之外。