夹持装置及包括其的掩模组件制造装置的制作方法

本发明涉及夹持装置及包括该夹持装置的掩模组件制造装置。

背景技术：

在一般的显示装置之中，有机发光显示装置不仅具有宽视角以及出色的对比度，而且还具有响应速度快的优点。

另外，有机发光显示装置的包括电极和发光层的中间层可通过各种方法形成，其中的一种方法为沉积法。沉积法为利用具有与待形成的薄膜的图案相同的图案的精细金属掩模来蒸发材料的方式。

技术实现要素：

解决的技术问题

本发明所要解决的技术问题在于提供提高对齐精度的夹持装置。

本发明所要解决的另一技术问题在于提供提高工艺的效率性的夹持装置。

本发明所要解决的另一技术问题在于提供提高对齐精度的掩模组件制造装置。

本发明所要解决的另一技术问题在于提供提高工艺的效率性的掩模组件制造装置。

本发明的技术问题并不受上述技术问题的限制，并且通过下文中的记载，本领域技术人员能够明确地理解未提及的其它技术问题。

解决方法

用于解决上述技术问题的根据本发明一实施方式的夹持装置作为包括夹持单元和使夹持单元移动的拉伸单元的夹持装置，其中，夹持单元包括基础台、相隔开地布置在基础台上的第一驱动台和第二驱动台，以及布置在第一驱动台上的第一指部和布置在第二驱动台上的第二指部，其中，第一驱动台和第二驱动台分别在选自x轴方向、y轴方向和z轴方向中的任意一个方向上进行移动，或者将选自在y轴方向上延伸的第一旋转轴线、在x轴方向上延伸的第二旋转轴线和在z轴方向上延伸的第三旋转轴线中的任意一个旋转轴线作为轴线进行旋转，并且拉伸单元使夹持单元在x轴方向或y轴方向上移动。

此外，第一驱动台的最小移动单位可与拉伸单元的最小移动单位彼此不同。

此外，第一驱动台的最小移动单位可以是0.1至0.2μm，并且拉伸单元的最小移动单位可以是1μm。

此外，当拉伸单元使夹持单元在x轴方向或y轴方向上移动时，第一指部和第二指部可同时在x轴方向或y轴方向上移动。

此外，拉伸单元可包括第一电机、驱动杆、第一支承台、第二电机和第二支承台，其中，第一电机提供用于使夹持单元在x轴方向上移动的动力，驱动杆传递由第一电机提供的动力，第一支承台与驱动杆连接以在x轴方向上进行移动，第二电机提供用于使夹持单元在y轴方向上移动的动力，并且第二支承台接收来自第二电机的动力以在y轴方向上进行移动。

此外，夹持装置还可包括布置在基础台上的第三驱动台和布置在第三驱动台上的第三指部。

此外，夹持装置还可包括布置在第一指部的一侧处的第一侧面驱动部。

此外，第一侧面驱动部可包括压电材料。

此外，第一侧面驱动部可通过膨胀或收缩来使第一指部在y轴方向上移动。

用于解决技术问题的根据本发明一实施方式的掩模组件制造装置作为包括彼此相对的第一夹持装置和第二夹持装置的掩模组件制造装置，其中，第一夹持装置包括夹持单元和使夹持单元移动的拉伸单元，其中，夹持单元包括基础台、相隔开地布置在基础台上的第一驱动台和第二驱动台，以及布置在第一驱动台上的第一指部和布置在第二驱动台上的第二指部，其中，第一驱动台和第二驱动台分别在选自x轴方向、y轴方向和z轴方向中的任意一个方向上移动，或者将选自在y轴方向上延伸的第一旋转轴线、在x轴方向上延伸的第二旋转轴线和在z轴方向上延伸的第三旋转轴线中的任意一个旋转轴线作为轴线进行旋转，并且拉伸单元使夹持单元在x轴方向或y轴方向上移动。

此外，第一夹持装置与第二夹持装置之间可布置有分割掩模，并且第一夹持装置和第二夹持装置可在彼此相反的方向上拉动分割掩模。

此外，分割掩模可包括布置在一侧处的第一把手部和第二把手部，并且第一指部可固定第一把手部，且第二指部可固定第二把手部。

此外，第一夹持装置与第二夹持装置之间可布置有原始掩模，原始掩模的角落部处可布置有在斜线方向上延伸的至少两个把手部，并且掩模组件制造装置还可包括对在斜线方向上延伸的两个把手部进行固定的第三夹持装置。

此外，第一驱动台的最小移动单位与拉伸单元的最小移动单位可彼此不同。

此外，第一驱动台的最小移动单位可以是0.1至0.2μm，并且拉伸单元的最小移动单位可以是1μm。

此外，当拉伸单元使夹持单元在x轴方向或y轴方向上移动时，第一指部和第二指部可同时在x轴方向或y轴方向上移动。

此外，拉伸单元可包括第一电机、驱动杆、第一支承台、第二电机和第二支承台，其中，第一电机提供用于使夹持单元在x轴方向上移动的动力，驱动杆传递由第一电机提供的动力，第一支承台与驱动杆连接以在x轴方向上进行移动，第二电机提供用于使夹持单元在y轴方向上移动的动力，并且第二支承台接收来自第二电机的动力以在y轴方向上进行移动。

此外，第一夹持装置还可包括布置在基础台上的第三驱动台和布置在第三驱动台上的第三指部。

此外，第一夹持装置还可包括布置在第一指部的一侧处的第一侧面驱动部。

此外，第一侧面驱动部可包括压电材料。

有益效果

根据本发明的实施方式，至少存在着如下所述的效果。

能够提高对齐的精度。

此外，能够有助于工艺效率性。

根据本发明实施方式的效果并不限于上文中所例示的内容，并且本说明书中包含有更多种的效果。

附图说明

图1是根据本发明一实施方式的掩模组件制造装置的局部平面图。

图2是沿着图1的ⅰ-ⅰ’取得的剖视图。

图3是根据本发明一实施方式的掩模组件制造装置的局部平面图。

图4是根据图3的实施方式的掩模组件制造装置的局部剖视图。

图5是根据本发明另一实施方式的掩模组件制造装置的局部平面图。

图6是根据本发明另一实施方式的掩模组件制造装置的平面图。

图7是根据本发明另一实施方式的掩模组件制造装置的局部平面图。

具体实施方式

通过参照下文中结合附图详细描述的实施方式，本发明的优点和特征以及实现它们的方法将变得明确。然而，本发明并不限于下文中所公开的实施方式，而是可实现为彼此不同的各种形态，而且，本实施方式仅仅是为了使本发明的公开变得完整且为了将发明的范围完整地传达给本发明所属技术领域的普通技术人员而提供，并且本发明仅由权利要求书的范围来限定。

尽管第一、第二等用于表述各种构成元件，但是这些构成元件并不受这些措辞的限制，这些措辞仅用于将一个构成元件与另一构成元件区分开。因此，在本发明的技术思想范围内，下文中所提及的第一构成元件也可以是第二构成元件。

下文中将参照附图对本发明实施方式进行说明。

图1是根据本发明一实施方式的掩模组件制造装置的局部平面图。图2是沿着图1的ⅰ-ⅰ’取得的剖视图。

参照图1和图2，根据本发明一实施方式的掩模组件制造装置包括至少一个夹持装置。

在一实施方式中，掩模组件制造装置可包括固定掩模的至少一个夹持装置。

图1示出了第一夹持装置1001固定一个分割掩模100的一侧并且第二夹持装置1002固定其另一侧的情况。第一夹持装置1001和第二夹持装置1002可实质上相同。因此，尽管在下文中出于说明的便利对第一夹持装置1001进行说明，但是以下对于第一夹持装置1001的说明可同样适用于第二夹持装置1002。

在一实施方式中，第一夹持装置1001可包括夹持单元cu和拉伸单元pu。

在一实施方式中，夹持单元cu可包括基础台bs、第一驱动台ds1、第二驱动台ds2、第一指部f1和第二指部f2。

基础台bs可提供用于布置待后述的结构的空间。基础台bs的上表面可具有在水平方向上延伸的板形状。

基础台bs上可布置有第一驱动台ds1和第二驱动台ds2。

第一驱动台ds1和第二驱动台ds2可布置成彼此相隔开。因此，第一驱动台ds1和第二驱动台ds2可彼此独立地驱动。

第一驱动台ds1和第二驱动台ds2上可分别布置有第一指部f1和第二指部f2。

第一驱动台ds1与第二驱动台ds2可实质上相同，并且第一指部f1与第二指部f2可实质上相同。因此，在下文中将着重对第一驱动台ds1和第一指部f1进行说明。本说明书中对于第一驱动台ds1和第一指部f1的说明可同样适用于第二驱动台ds2和第二指部f2。

第一驱动台ds1可使待后述的第一指部f1移动。具体地，第一驱动台ds1可使第一指部f1进行直线移动或旋转。

在下文中将参照图3和图4对第一驱动台ds1的动作进行具体说明。

图3是根据本发明一实施方式的掩模组件制造装置的局部平面图。

图4是根据图3的实施方式的掩模组件制造装置的局部剖视图。

参照图3和图4，第一驱动台ds1可以以6种方式移动。因此，布置在第一驱动台ds1上的第一指部f1也可以以6种方式进行移动。

第一驱动台ds1可在y轴方向上进行直线移动(图3的①)，可在x轴方向上进行直线移动(图3的②)，或者可在z轴方向上进行直线移动(图4的⑥)。

即，第一驱动台ds1可在xyz坐标系中所选择的任一方向上进行直线移动。

此外，第一驱动台ds1可选择至少一个旋转轴线并进行旋转。参照图3和图4，与y轴平行延伸的第一旋转轴线ry、与x轴平行延伸的第二旋转轴线rx和与z轴平行延伸的第三旋转轴线rz可布置成横跨第一驱动台ds1。

第一驱动台ds1可将与y轴平行布置的第一旋转轴线ry作为轴线旋转(图3的③)，可将与x轴平行布置的第二旋转轴线rx作为轴线旋转(图3的④)，或者可将与z轴平行布置的第三旋转轴线rz作为轴线旋转(图4的⑤)。

因此，与第一驱动台ds1连接的第一指部f1也可以以上文中所说明的6种方式进行操作。在第一指部f1如上所述那样以多种方式进行操作的情况下，当待后述的掩模框架200与分割掩模100接合时能够精确地进行对齐。

再次参照图2，在一实施方式中，第一指部f1可包括夹持头部h、支承台65和夹持电机cm。

夹持头部h可布置成与支承台65彼此相对。夹持头部h和支承台65可通过将对象物体置于中间并在上下方向上夹紧来固定对象物体。

在一实施方式中，夹持头部h可与夹持电机cm连接。夹持电机cm可在x轴的正方向上拉动夹持头部h或者在x轴的负方向上推动夹持头部h(参见图2)。

当夹持电机cm在x轴的正方向上拉动夹持头部h时，夹持头部h可朝向支承台65移动。因此，夹持头部h可靠近支承台65。随着夹持头部h与支承台65持续地靠近，夹持头部h和支承台65可咬住对象物体(图2中的第一把手部51)。换言之，对象物体的上部可与夹持头部h接触，而其下部可与支承台65接触。因此，对象物体可固定在夹持头部h与支承台65之间。

当夹持电机cm在x轴的负方向上推动夹持头部h时，夹持头部h可在远离支承台65的方向上移动。因此，夹持头部h和/或支承台65可与对象物体相隔开。在这种情况下，固定可被解除，并且对象物体可自由地脱离第一指部f1。

在其它实施方式中，夹持电机cm和夹持头部h的移动可与此相反。换言之，在其它实施方式中，当夹持电机cm在x轴的正方向上拉动夹持头部h时，夹持头部h可与支承台65彼此远离，使得对象物体与夹持头部h和/或支承台65相隔开，从而解除固定，而当夹持电机cm在x轴的负方向上推动夹持头部h时，夹持头部h可与支承台65彼此靠近，从而咬住对象物体并固定对象物体。

接着，将对与夹持单元cu连接的拉伸单元pu进行说明。

拉伸单元pu可使夹持单元cu移动。在一实施方式中，拉伸单元pu可包括负荷传感器lc、第一电机xm、驱动杆xr、第一支承台xs、第一导轨xg、第二电机ym、第二支承台ys和第二导轨yg。

第一电机xm可提供用于使第一支承台xs在x轴方向上移动的驱动力。

驱动杆xr可与第一电机xm连接，并且可将由第一电机xm提供的驱动力传递至第一支承台xs。具体地，驱动杆xr可将由第一电机xm提供的驱动力传递至第一支承台xs。由此，第一支承台xs可在x轴的正方向或x轴的负方向上进行直线移动。

第一支承台xs上可布置有前述的夹持单元cu。即，随着第一支承台xs在x轴方向上移动，夹持单元cu也可在x轴方向上进行移动。

虽然夹持单元cu的第一驱动台ds1在x轴方向上进行移动，并且第一支承台xs也在x轴方向上进行移动，但是两者的最小移动单位可彼此不同。

在本说明书中，最小移动单位是指一次所能够移动的最低限度的距离。

在一实施方式中，第一支承台xs的最小移动单位可大于第一驱动台ds1的最小移动单位。具体地，第一驱动台ds1的最小移动单位可以是0.1至0.2μm，且第一支承台xs的最小移动单位可以是1μm。

在第一支承台xs和第一驱动台ds1的最小移动单位不同的情况下，能够更加有效且精确地执行掩模的对齐。即，通过使用最小移动单位大的第一支承台xs执行第一对齐操作，然后使用第一驱动台ds1执行相对更精确的第二对齐操作，能够提高整体对齐工艺的效率性和准确性。

在一实施方式中，第一支承台xs的下部可布置有第一导轨xg。第一导轨xg可在第二支承台ys上形成为在x轴方向上延伸。因此，第一支承台xs可在第二支承台ys上沿着第一导轨xg在x轴的正方向或x轴的负方向上移动。

在一实施方式中，拉伸单元pu还可包括与基础台bs连接的负荷传感器lc。负荷传感器lc可布置在驱动杆xr与基础台bs之间。负荷传感器lc可测量驱动杆xr所施加的力，即，通过第一电机xm在x轴方向上施加的力的大小。

虽然未在附图中示出，但是在一实施方式中，第一夹持装置1001还可包括用于显示施加到负荷传感器lc的力的计算机装置。

第二电机ym可提供用于使第二支承台ys在y轴方向上移动的驱动力。

第二支承台ys上可布置有第一支承台xs，并且第一支承台xs上可布置有夹持单元cu。即，随着第二支承台ys在y轴方向上移动，夹持单元cu也可在y轴方向上移动。

虽然夹持单元cu的第一驱动台ds1在y轴方向上移动，并且第二支承台ys也在y轴方向上移动，但是两者的最小移动单位可彼此不同。

在一实施方式中，第二支承台ys的最小移动单位可大于第一驱动台ds1的最小移动单位。具体地，第一驱动台ds1的最小移动单位可以是0.1至0.2μm，且第二支承台ys的最小移动单位可以是1μm。

在第二支承台ys和第一驱动台ds1的最小移动单位不同的情况下，能够更加有效且精确地执行掩模的对齐。即，通过使用最小移动单位大的第二支承台ys执行第一对齐操作，然后使用第一驱动台ds1执行相对更精确的第二对齐操作，能够提高整体对齐工艺的准确性。

由于基础台bs上布置有第一指部f1和第二指部f2，因此在基础台bs通过拉伸单元pu进行移动时，第一指部f1和第二指部f2彼此联动地移动。即，不同于第一指部f1和第二指部f2通过第一驱动台ds1和第二驱动台ds2彼此独立地操作，根据拉伸单元pu的移动是彼此相关联的。换言之，当拉伸单元pu使夹持单元cu在x轴或y轴方向上移动时，第一指部f1和第二指部f2同时进行移动。

在如上所述的独立驱动和关联驱动并存的情况下，能够最大限度地减少工艺中不必要的移动，从而避免浪费。此外，通过独立驱动来精确地进行对齐，并且通过关联驱动来执行拉伸，能够提高掩模组装的准确性。

再次参照图1，根据本发明一实施方式的掩模组件制造装置可对掩模进行固定。

在一实施方式中，掩模组件可包括掩模框架200和分割掩模100。

掩模框架200可具有中空的四边形形状。即，掩模框架200可具有框架形状。

在一实施方式中，掩模框架200可由金属材料形成。掩模框架200可与待后述的多个分割掩模100结合。

分割掩模100可包括本体部101、布置在本体部101两侧处的接合部102以及布置在接合部102外侧处的至少一个把手部51、52。

本体部101可具有在一方向上延伸的杆(bar)形状。本体部101中可布置有至少一个图案部111。图案部111可包括制造显示装置所需的多个狭缝图案。虽然在一实施方式中多个狭缝图案可以是用于沉积工艺的狭缝图案，但是并不一定限于此。

图案部111可沿着本体部101的延伸方向布置为多个。

本体部101的两侧处可布置有使分割掩模100与掩模框架200接合的接合部102。分割掩模100与掩模框架200可在接合部102处彼此结合。

一个掩模框架200上可结合有一个以上的分割掩模100。多个分割掩模100可彼此平行地布置并且结合到掩模框架200。

接合部102的外侧处可布置有第一把手部51和第二把手部52。第一把手部51和第二把手部52可在端部相隔开的状态下彼此平行地延伸。

在一实施方式中，第一把手部51可与第一夹持装置1001的第一指部f1联接，且第二把手部52可与第二指部f2联接。

在分割掩模100联接至第一夹持装置1001和第二夹持装置1002的状态下，第一夹持装置1001和第二夹持装置1002可相互拉动分割掩模100。换言之，第一夹持装置1001可在x轴的正方向上拉动分割掩模100，且第二夹持装置1002可在x轴的负方向上拉动分割掩模100。因此，分割掩模100可保持为紧绷的状态。此外，为了准确地进行对齐，如上所述，多个驱动台ds1、ds2或拉伸单元pu可适当地调整第一指部f1和/或第二指部f2的位置。

在一实施方式中，掩模框架200与分割掩模100的接合可在分割掩模100被第一夹持装置1001和第二夹持装置1002拉动的状态下进行。

接着，将对根据本发明另一实施方式的掩模组件制造装置进行说明。在下面的实施方式中，以相同的附图标记指示与已说明的结构相同的结构，并且将省略或简化重复的说明。

图5是根据本发明另一实施方式的掩模组件制造装置的局部平面图。

参照图5，与图1的实施方式的不同之处在于一个夹持装置1003包括三个以上的指部。

在一实施方式中，一个基础台bs1上可布置有三个以上的指部。

虽然图5示出了基础台bs1上布置有第一指部f1、第二指部f2、第三指部f3、第四指部f4、第五指部f5和第六指部f6的情况，但是这仅仅是示例性的，并不意味着指部的数量限制为6个。

第二指部f2、第三指部f3、第四指部f4、第五指部f5和第六指部f6可与前述的第一指部f1实质上相同。此外，分别驱动第二指部f2、第三指部f3、第四指部f4、第五指部f5和第六指部f6的第二驱动台ds2、第三驱动台ds3、第四驱动台ds4、第五驱动台ds5和第六驱动台ds6可与前述的第一驱动台ds1实质上相同。因此，将省略对其详细的说明。

在基础台bs1上布置有多个指部的情况下，也可存在一个拉伸单元pu。即，因此，第一指部f1、第二指部f2、第三指部f3、第四指部f4、第五指部f5和第六指部f6可通过一个拉伸单元pu同时移动。

由此，能够在独立地控制各个指部来精确地进行对齐之后，使用一个拉伸单元pu执行拉伸工艺，从而提高工艺效率性。

图6是根据本发明另一实施方式的掩模组件制造装置的平面图。

参照图6，在一实施方式中，掩模组件制造装置还可包括使第一指部f1在y轴方向上移动的侧面驱动部sd1、sd2。虽然图6示出了两个侧面驱动部，即，第一侧面驱动部sd1和第二侧面驱动部sd2，但是这仅仅是示例性的，并且侧面驱动部的数量并不限于此。

即，在其它实施方式中，可存在单个或者三个以上的侧面驱动部。

第一侧面驱动部sd1和第二侧面驱动部sd2可实质上相同。因此，在下文中将对第一侧面驱动部sd1进行说明。对于第一侧面驱动部sd1的说明同样可以适用于第二侧面驱动部sd2。

第一侧面驱动部sd1可布置在第一指部f1的侧面处。因此，第一侧面驱动部sd1可在第一指部f1的侧面处在y轴方向上拉动或推动第一指部f1。

在一实施方式中，第一侧面驱动部sd1可包括压电材料(piezoelectricmaterials)。在第一侧面驱动部sd1包括压电材料的情况下，当对第一侧面驱动部sd1施加电压时，第一侧面驱动部sd1可膨胀或收缩。当第一侧面驱动部sd1膨胀时，第一侧面驱动部sd1可在y轴的正方向上推动第一指部f1，并且当第一侧面驱动部sd1收缩时，第一侧面驱动部sd1可在y轴的负方向上拉动第一指部f1。

根据第一侧面驱动部sd1的第一指部f1的最小移动单位可与根据第一驱动台ds1和拉伸单元pu的第一指部f1的最小移动单位不同。因此，通过设置具有多种最小移动单位的位置控制装置并根据情况选择适当的位置控制装置，能够提高整体工艺的准确性和效率性。

图7是根据本发明另一实施方式的掩模组件制造装置的局部平面图。

参照图7，在一实施方式中，掩模组件制造装置所固定的掩模可以是原始掩模300。

原始掩模300可具有平板形状并且可在水平方向上延伸。

原始掩模300中可形成有多个图案部311。在一实施方式中，图案部311可排列成具有多个列和多个行的矩阵形态。

原始掩模300的边缘可包括四个侧部和四个角落部。

换言之，原始掩模300的边缘可包括第一侧部s1、第二侧部s2、第三侧部s3和第四侧部s4。此外，原始掩模300的边缘还可包括布置在第一侧部s1与第二侧部s2之间的第一角落部c1、布置在第二侧部s2与第三侧部s3之间的第二角落部c2、布置在第三侧部s3与第四侧部s4之间的第三角落部c3，以及布置在第四侧部s4与第一侧部s1之间的第四角落部c4。

在一实施方式中，第一侧部s1、第二侧部s2、第三侧部s3和第四侧部s4上可布置有多个把手部55。多个把手部55可分别与多个指部联接。在一实施方式中，布置于第一侧部s1和第三侧部s3的把手部55可在x轴方向上延伸，且布置于第二侧部s2和第四侧部s4的把手部55可在y轴方向上延伸。

在一实施方式中，第一角落部c1处可布置有在斜线方向上延伸的第一把手部51和第二把手部52。

布置于第一角落部c1的第一把手部51和第二把手部52可在第二象限上以斜线方向延伸。

形成在第二角落部c2至第四角落部c4处的把手部可与形成在第一角落部c1处的把手部相同地在斜线方向上延伸。

即，形成在第二角落部c2处的把手部可在第一象限上以斜线方向延伸，形成在第三角落部c3处的把手部可在第四象限上以斜线方向延伸，并且形成在第四角落部c4处的把手部可在第三象限上以斜线方向延伸。

第一侧部s1、第二侧部s2、第三侧部s3和第四侧部s4，以及第一角落部c1、第二角落部c2、第三角落部c3和第四角落部c4上分别可布置有至少一个夹持装置。该夹持装置可与前述的根据本发明若干实施方式的夹持装置实质上相同。

布置在第一侧部s1上的夹持装置可在x轴的负方向上拉动原始掩模300，布置在第二侧部s2上的夹持装置可在y轴的正方向上拉动原始掩模300，布置在第三侧部s3上的夹持装置可在x轴的正方向上拉动原始掩模300，并且布置在第四侧部s4上的夹持装置可在y轴的负方向上拉动原始掩模300。

此外，布置在第一角落部c1处的夹持装置可在第二象限方向上拉动原始掩模300，布置在第二角落部c2处的夹持装置可在第一象限方向上拉动原始掩模300，布置在第三角落部c3处的夹持装置可在第四象限方向上拉动原始掩模300，并且布置在第四角落部c4处的夹持装置可在第三象限方向上拉动原始掩模300。

因此，原始掩模300可在八个方向上被拉动，并由此，能够防止工艺中原始掩模300下垂的现象。

虽然在上文中已参照附图对本发明实施方式进行了说明，但是本发明所属技术领域的普通技术人员将理解，在不改变本发明技术思想或必要特征的情况下能够实施为其它具体形态。因此应理解的是，在所有方面，上文中所记载的实施方式均为示例性的，而不是限制性的。

附图标记说明

1001：第一夹持装置

ds1：第一驱动台

cu：夹持单元

pu：拉伸单元

f1：第一指部

f2：第二指部

200：掩模框架

100：分割掩模