技术特征：
技术总结
本发明提供一种具有磁化冷却水装置的磁控溅射系统及磁控溅射设备。磁控溅射系统包括磁控溅射装置、冷却水装置及磁化装置；其中，冷却水装置包括冷却水源及冷却水管路，冷却水管路一端与冷却水源相连接，另一端与磁控溅射装置相连接，用于向磁控溅射装置提供冷却水以对磁控溅射装置进行冷却；磁化装置位于冷却水管路上，用于对流经冷却水管路的冷却水进行磁化处理，以使冷却水的酸碱度呈中性，并降低冷却水的结合能力及表面张力。本发明的具有磁化冷却水装置的磁控溅射系统及磁控溅射设备结构简单，不额外占用生产空间，不额外使用电量，能保证设备的稳定性，有效延长设备的使用寿命，极大降低生产成本。
技术研发人员：不公告发明人
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：2018.04.04
技术公布日：2019.10.18