技术总结
本发明涉及一种低温制备高性能ZnO基透明导电氧化物薄膜的方法，具体步骤如下：1)根据需求将二水合醋酸锌与Al源、Sn源溶解于乙二醇甲醚中，之后将稳定剂逐滴加入含锌溶液中，加热搅拌后过滤，在室温下充分陈化，得到澄清透明的溶胶待用；2)将衬底清洗干净，利用匀胶机将溶胶均匀旋涂在衬底表面，然后将衬底进行前热处理，重复旋涂和前热处理过程，直至得到凝胶膜；3)将凝胶膜在空气气氛下进行第一步退火处理，然后在氮气或氩气气氛下进行第二步退火处理，待其冷却至室温得到高性能ZnO基透明导电氧化物薄膜。本发明提供的制备方法工艺过程简单，且可以有效降低反应体系的晶格能，使薄膜在450℃左右提前晶化。
技术研发人员：戴英;贾倩;裴新美;陈文
受保护的技术使用者：武汉理工大学
技术研发日：2018.05.09
技术公布日：2018.09.18