一种片状工件镀膜清洗装置及方法与流程

文档序号:15363899发布日期:2018-09-05 01:17阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种片状工件镀膜清洗装置及方法,该装置包括机体骨架、第一转轴、喷淋管、滚刷、洗液槽、循环泵;第一转轴与机体骨架活动连接,组成第一组转动副,第一转轴转动以传送工件;喷淋管包括进液口和出液口,出液口固定在所述机体骨架的底座与所述滚刷之间;滚刷包括第二转轴和清洗刷,所述清洗刷沿第二转轴表面环形布置第二转轴,滚刷与机体骨架活动连接,组成第二组转动副,滚刷位于喷液口与第一转轴之间;第二转轴和第一转轴平行设置;洗液槽设置在机体骨架上,洗液槽通过导管与循环泵连接,循环泵通过导管与喷淋管的进液口连接。本发明保证了清洁的质量,避免了工件背面的化学膜层对环境造成污染,保证了工件的性能。

技术研发人员:刘耀军
受保护的技术使用者:北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
技术研发日:2018.06.08
技术公布日:2018.09.04
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