技术特征:
技术总结
本发明提供了一种精密金属掩膜版,包括支撑框架以及设置在支撑框架上的金属支撑网和至少一个精密金属掩膜条,精密金属掩膜条位于金属支撑网上方,其中,金属支撑网为一体成型结构,金属支撑网上设置有至少一个开口区域,精密金属掩膜条上设置有图形区域,图形区域位于至少一个开口区域的上方且覆盖至少一个开口区域,蒸镀制程中,蒸镀材料依次通过开口区域和图形区域在待蒸镀基板上形成预设蒸镀图案。本发明的精密金属掩膜版中使用一体成型的金属支撑网,可以支撑精密金属掩膜条并阻挡蒸镀材料从相邻精密金属掩膜条之间的间隔处通过;开口区域的形状决定了预设蒸镀图案的形状,因此,通过设置开口区域可以使得精密金属掩膜版用于异形屏的蒸镀中。
技术研发人员:杜骁
受保护的技术使用者:武汉华星光电半导体显示技术有限公司
技术研发日:2018.08.20
技术公布日:2018.11.30