一种用于丝锥表面制备TiCN涂层的方法与流程

文档序号:16594465发布日期:2019-01-14 19:27阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种用于丝锥表面制备TiCN涂层的方法,将高速钢制成的丝锥经预处理后,放入电弧离子镀膜设备中的转架杆上,以Ti靶作为制备TiCN涂层的Ti元素来源,通过电弧电源的电流控制Ti靶的溅射率;采用高纯Ar作为主要离化气体,采用高纯N2和高纯CH2作为反应气体,使其离化并与Ti元素结合,在丝锥表面沉积形成TiCN涂层;所制备的TiCN涂层为多层结构,即Ti/TiN/TiCN/TiN/TiCN,总厚度为2微米,原子成分含量为Ti:52at.%,C:28at.%,N:20at.%,涂层硬度HV3000,在室温干摩擦和对副为GCr15条件下,销盘实验测出涂层的摩擦系数为0.15,具有优良的减摩性能,适合于在难加工材料进行攻丝加工的应用。

技术研发人员:马胜利
受保护的技术使用者:西安浩元航空科技有限公司
技术研发日:2018.09.21
技术公布日:2019.01.11
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