一种掩膜板及其制作方法与流程

本发明涉及掩膜蒸镀技术领域，尤其涉及一种掩膜板及其制作方法。

背景技术

oled(organiclight-emittingdisplay，有机电致发光显示)器件，例如有源矩阵有机发光二极管(英文全称：active-matrixorganiclight-emittingdiode，英文简称：amoled)，由于可实现较高的色域、超薄以及柔性化的显示等优势，逐渐受到了广泛的关注。尤其是曲面和柔性oled，由于独特的功能和优秀的用户体验受到了众多青睐。oled器件的发光层的主要制作工艺是蒸镀，即将有机材料在真空条件下加热至一定温度，使有机材料飞升至基板表面，形成薄膜。要制作成固定形状的薄膜，掩膜板就是必不可少的部件。现有的蒸镀技术中，需要采用精细金属掩膜板(英文全称：finemetalmask，英文简称fmm)，以在有机发光二极管显示基板上形成不同颜色的有机发光层。

制作fmm时，通常需要在进行网格加工之后，即在掩膜片上形成掩膜区域之后，通过拉伸机对掩膜片进行拉伸以保证制成的掩膜板的直线度和平坦度，并将其固定在框架上。但是拉伸将造成fmm的掩膜区域变形，甚至损坏，进而影响蒸镀成膜的效果，因此如何在拉伸的过程中对fmm的掩膜区域进行保护尤为重要。

技术实现要素：

本发明的实施例提供一种掩膜板及其制作方法，用于防止拉伸掩膜片时对掩膜区域造成损坏的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

本发明实施例的第一方面，提供一种掩膜板的制作方法，包括：将塑形模具嵌入掩膜片的掩膜区域中；将所述掩膜片与所述塑形模具进行粘合；通过张网工艺将所述掩膜片固定在框架上；将所述塑形模具与所述掩膜片分离，以形成所述掩膜板。

可选的，所述塑形模具包括阻隔柱；所述将塑形模具嵌入所述掩膜片的掩膜区域中包括：将所述阻隔柱嵌入所述掩膜片的掩膜区域中。

可选的，所述塑形模具还包括支撑部，所述阻隔柱凸出于所述支撑部；所述将所述掩膜片与所述塑形模具进行粘合包括：在所述掩膜片背离所述支撑部的一侧形成胶层，以将所述掩膜片与所述阻隔柱进行粘合。

可选的，在所述掩膜片背离所述支撑部的一侧形成胶层包括：将一侧表面覆有胶层的防粘膜贴覆在所述掩膜片背离所述支撑部的一侧；或者，在所述掩膜片背离所述支撑部的一侧形成胶层，以将所述掩膜片与所述阻隔柱进行粘合之后，所述掩膜板的制作方法还包括：在所述胶层背离所述掩膜片的一侧形成防粘膜。

可选的，所述胶层的材质为热分离胶，所述热分离胶会在预设温度下失效。

进一步的，所述预设温度为60℃～100℃。

可选的，所述将所述塑形模具与所述掩膜片分离包括：将通过张网工艺固定在所述框架上的所述掩膜片加热所述至预设温度，使得所述热分离胶失效，以将所述塑形模具与所述掩膜片分离。

可选的，所述阻隔柱的厚度大于或者等于所述掩膜片的厚度。

可选的，所述阻隔柱的表面由树脂类材料包覆。

本发明实施例的另一方面，提供一种掩膜板，所述掩膜板利用如第一方面所述的掩膜板的制作方法制成。

本发明实施例提供一种掩膜板及其制作方法，该掩膜板的制作方法包括：将塑形模具嵌入掩膜片的掩膜区域中；将掩膜片与塑形模具进行粘合；通过张网工艺将掩膜片固定在框架上；将塑形模具与掩膜片分离，以形成掩膜板。基于此，由于在通过张网工艺将掩膜片固定在框架上之前，已将塑形模具嵌入掩膜片的掩膜区域，并将掩膜片与塑形模具粘合在一起，因此在通过张网工艺拉伸掩膜片并将其固定在框架上时，可以起到防止掩膜区域变形的效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种掩膜板的制作方法的流程图；

图2为本发明实施例提供的一种掩膜板的结构示意图；

图3a为本发明实施例提供的一种将塑形模具嵌入掩膜片的掩膜区域的示意图；

图3b为本发明实施例提供的另一种将塑形模具嵌入掩膜片的掩膜区域的示意图；

图4为将图3a或图3b所示的掩膜片与塑形模具进行粘合的示意图；

图5为将图4所示的掩膜片固定在框架上的示意图；

图6为将图5所示的掩膜片与塑形模具以形成掩膜板的结构图；

图7为本发明实施例提供的一种塑形模具的结构示意图。

附图标记：

01-掩膜板；10-塑形模具；101-阻隔柱；102-支撑部；20-掩膜片；30-框架；401-胶层；402-防粘膜。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在显示面板上进行掩膜蒸镀以形成所需膜层图案的技术，例如，在oled器件的制作工艺中，将发光材料蒸镀在阵列基板上以形成对应的各子像素，就是通过将掩膜板附设在待蒸镀的基板表面，掩膜板包括框架和固定(例如焊接)在框架上的掩膜片，其中掩膜片上设置有多个掩膜区域(也可称为掩膜图案区域)，掩膜区域对应于待成膜基板上的待成膜图案，蒸镀时，蒸镀材料透过掩膜片的掩膜区域内的镂空部分沉积在待成膜基板的表面，以形成所需的待成膜图案。需要说明的是，在本领域内，本领域技术人员也会将上述掩膜片称为掩膜条。

需要说明的是，本领域技术人员对上述掩膜板及其组成还有另外的称谓，例如，框架以及多个焊接在框架上的掩膜片组成的整体可以称为掩膜集成框架(maskframeassembly，mfa)，此时，掩膜片可以称为掩膜板。

上述的两种示例，仅为本领域技术人员在实际工作应用中对精细金属掩膜工艺中的掩膜板所采用的不同称谓，二者所指代的结构是相同的。下面，以上述第一种示例的称谓为例，对掩膜板的制作方法进行详细说明。

本发明实施例提供一种掩膜板的制作方法，如图1所示，包括：

s101、如图3a或3b所示，将塑形模具10嵌入掩膜片20的掩膜区域a中。

需要说明的是，第一、本领域中掩膜片20也可称为掩膜条，示例的，掩膜片20可以为如图2所示的结构，多个该掩膜片20固定在框架上，可以形成掩膜板。此外，本发明实施例不限定构成掩膜片20的材料。可选的，上述掩膜片20的材质可以是金属，例如构成掩膜片20的材料可以为不锈钢箔、invar合金(中文名称：因瓦合金)、kovar合金(中文名称：可伐合金)中的一种。当掩膜片20的材质为金属时，形成的掩膜板可以称为精细金属掩膜板(finemetalmask，简称为fmm)。

第二、本发明实施例不限定塑形模具10的结构。示例的，塑形模具可以如图3a所示包括阻隔柱101。又示例的，塑形模具10可以如图3b所示包括还包括支撑部102，其中阻隔柱101凸出于支撑部102。在上述两种情况下，步骤s101包括：将阻隔柱101嵌入掩膜片20的掩膜区域a中，具体的，嵌入掩膜区域a的镂空部分中。此时阻隔柱101可以在厚度方向上嵌满掩膜片20的掩膜区域a的镂空部分。此外，在塑形模具10包括支撑部102和阻隔柱101的情况下，支撑部102和阻隔柱101可以通过一体工艺形成，也可以先形成支撑部101，再形成凸出于支撑部101的阻隔柱102，本发明实施例对此不限定。

此外，可选的，在步骤s101之前，掩膜板的制作方法还包括：在掩膜片20上制作掩膜图案，以形成掩膜区域a。

s102、将掩膜片20与塑形模具10进行粘合。

示例的，如图4所示，在塑形模具10包括支撑部102和阻隔柱101的情况下，步骤s102包括：在掩膜片20背离支撑部102的一侧形成胶层401，以将掩膜片20与阻隔柱101进行粘合。

s103、如图5所示，通过张网工艺将掩膜片20固定在框架30上。

本领域技术人员可知，在制作掩膜板时，张网工艺包括：拉伸掩膜片并将其固定(例如焊接)在框架上；其中拉伸方向可以为掩膜片的横向(掩膜片的宽度方向)或者纵向(掩膜片的长度方向)，通常拉伸方向是掩膜片的长度方向。本发明实施例中，在进行张网工艺之前，已将塑形模具10嵌入掩膜片20的掩膜区域a，并将掩膜片20与塑形模具20粘合在一起，因此在拉伸掩膜片20以将其固定在框架30上时，可以降低掩膜区域a变形的几率。示例的，框架30可以为金属框架。

s104、将塑形模具10与掩膜片20分离，以形成如图6所示的掩膜板01。

需要说明的是，将塑形模具10与掩膜片20分离后，此时如图6所示掩膜片20与框架30构成掩膜板01。此外，本发明实施例不限定分离塑形模具10与掩膜片20的方式，只要可以将二者进行分离且不对掩膜片20造成损坏即可。

本发明实施例提供一种掩膜板的制作方法，包括将塑形模具10嵌入掩膜片20的掩膜区域a中；将掩膜片20与塑形模具10进行粘合；通过张网工艺将掩膜片20固定在框架30上；将塑形模具10与掩膜片20分离，以形成掩膜板。基于此，由于在通过张网工艺将掩膜片20固定在框架30上之前，已将塑形模具10嵌入掩膜片20的掩膜区域a，并将掩膜片20与塑形模具20粘合在一起，因此在通过张网工艺拉伸掩膜片20并将其固定在框架30上时，可以起到防止掩膜区域a变形的效果。

在此基础上，可选的，如图4所示，上述在掩膜片20背离支撑部102的一侧形成胶层401包括：将一侧表面覆有胶层401的防粘膜402贴覆在掩膜片20背离支撑部的102的一侧。或者，在掩膜片20背离支撑部102的一侧形成胶层401，以将掩膜片20与阻隔柱101进行粘合之后，本发明实施例提供的掩膜板的制作方法还包括：在胶层401背离掩膜片20的一侧形成防粘膜402。其中示例的，构成防粘膜402的材料可以为pc塑料(中文名称：聚碳酸酯，英文全称：polycarbonate)。这样一来，在通过胶层401将掩膜片20和塑形模具10(例如阻隔柱101)粘合在一起后进行其他工艺时，防粘膜402可以防止胶层401与其他物质产生粘连。

在此基础上，构成上述胶层401的材质可以为热分离胶，热分离胶会在预设温度下失效。其中，热分离胶通常为具有粘着性的树脂类材料，并具有在加热至一定温度后粘着性失效的性质。当热分离胶失效的温度高于100℃时，在加热热分离胶使其失效时，会对掩膜片20造成一定的损伤；当热分离胶失效的温度低于60℃时，热分离胶易在非预期的情况下失效，从而在张网工艺之前使得阻隔柱101与掩膜片20分离，影响张网工艺中通过阻隔柱101来防止掩膜片20的掩膜区域发生形变的效果。因此优选的，上述预设温度为60℃-100℃，即将热分离胶加热至60℃-100℃时，热分离胶会失去粘着性。

进一步可选的，上述将塑形模具10与掩膜片20分离包括：将通过张网工艺固定在框架30上的掩膜片10加热至预设温度，例如加热至60℃-100℃，使得热分离胶的粘着性失效，从而将塑形模具10与掩膜片20分离；此时固定在一起的框架30与掩膜片20构成掩膜板。这样一来，一方面，通过加热可将掩膜片20与塑形模具10分离，降低了掩膜板的制作工艺的难度；另一方面，加热至预设温度使得热分离胶失效，可以将掩膜片20与塑形模具10分离彻底，防止在掩膜片20表面残留杂质。

此外，本发明实施例不限定塑形模具10的材质。以塑形模具10包括支撑部102和凸出于支撑部102的阻隔柱101为例，构成支撑部101的材料可以为铝、镁、钛、锌等金属组成的轻质合金，同时在支撑部102的表面刻蚀出对应掩膜片20的掩膜区域的阻隔柱101。

结合前述，本发明实施例提供的掩膜板的制作方法包括将阻隔柱101嵌入掩膜片20的掩膜区域中，为了防止阻隔柱101对掩膜片20造成损伤，优选的，如图7所示，阻隔柱101的表面由树脂类材料包覆。示例的，阻隔柱101的外围可以通过光刻工艺制作感光型树脂类有机材料包覆结构。

在此基础上，为了防止将塑形模具10与掩膜片20进行粘合时，胶层401例如热分离胶进入掩膜片20的掩膜区域中，对掩膜片20的掩膜区域造成污损，可选的，如图3b所示，阻隔柱101的厚度h2大于或者等于掩膜片20的厚度h1。这样一来，在掩膜片20的厚度方向上，阻隔柱101可以嵌满掩膜片20的掩膜区域，从而在掩膜片20背离支撑部102的一侧形成胶层401时，胶层401不会进入掩膜片20的掩膜区域，从而避免了胶层401对掩膜片20的掩膜区域造成污损。

以下结合一具体实施例对利用本发明实施例提供的掩膜板的制作方法制成掩膜板的过程进行举例说明。该具体实施例中，构成掩膜片20的材料为invar合金；构成塑形模具10的材料为金属铝。

具体的，首先对掩膜片20的表面进行清洗烘干，然后将掩膜片20贴覆在塑形模具10上，并使塑形模具10中的阻隔柱101嵌入掩膜片20的掩膜区域中。接下来，在掩膜片20背离支撑部101的一侧贴覆热分离胶，使热分离胶与掩膜片20、阻隔柱101的上表面粘合。接下来，通过张网工艺将掩膜片20固定在框架30上，具体的，拉伸掩膜片20并将其焊接在框架30上，焊接在一起的框架30和掩膜片20构成掩膜板。接下来，通过加热至80℃使热分离胶的粘着性失效，脱离掩膜板，同时将塑形模具10与掩膜板分离。最后可选的，采用乙醇溶剂清洗掩膜板的表面，以进一步去除可能附着在掩膜板上的热分离胶。这样一来，由于在通过张网工艺将掩膜片20固定在框架30上之前，已将塑形模具10嵌入掩膜片20的掩膜区域a，并将掩膜片20与塑形模具20粘合在一起，因此在通过张网工艺拉伸掩膜片20并将其固定在框架30上时，可以起到防止掩膜区域a变形的效果。

本发明实施例还提供一种掩膜板，该掩膜板利用如上所述的任一种掩膜板的制作方法制成，利用该掩膜板的制作方法制成的掩膜板的掩膜区域的精确度高，从而在利用该掩膜板进行蒸镀成膜的效果更佳。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。