一种采用ALD在丝素纳米纤维表面制备氧化锌纳米管的方法与流程

文档序号:17247190发布日期:2019-03-30 08:52阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种采用ALD在丝素纳米纤维表面制备氧化锌纳米管的方法,该方法采用原子层沉积法,以二乙基锌为锌源,以蒸馏水为氧源,在柔性丝素纳米纤维表面沉积氧化锌纳米管,通过将二乙基锌与蒸馏水交替通入原子层沉积系统的反应腔内,实现了氧化锌在柔性纳米纤维上的沉积。本方法制得的氧化锌/柔性纳米纤维衬底具有成本低,薄膜成分和厚度精确可控,三维均匀保型性好等优点,同时提高了氧化锌的光催化性能。

技术研发人员:刘明;张乐;张晓慧;周子尧;关蒙萌
受保护的技术使用者:西安科汇电子科技有限公司
技术研发日:2018.10.25
技术公布日:2019.03.29
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