技术特征：
技术总结
本发明公开了一种新型旋转磁控圆型柱弧靶装置，包括壳体、第一绝缘垫、真空密封端盖装置、第一O型圈、屏蔽罩绝缘垫、轴芯挡圈、屏蔽罩、驱动轴芯、调心轴承、磁性密封装置、磁性液体、圆锥滚子轴承、小圆螺母、锁紧螺母、驱动同步带轮、电机支架、分水装置、同步带、电机同步带轮、电机涨紧装置、电机绝缘垫、驱动电机、轴用卡簧、第一旋转导电装置、第一端密封盖、第二O型圈、第二端密封盖、进水接头、出水接头、旋转磁棒装置、第三O型圈、第二旋转导电装置、靶材端密封盖和靶材，本发明有利于涂层的均匀性和提高附着力，实现离子镀膜的最佳工艺，设备运行稳定可靠，极大地提高生产效率。
技术研发人员：张俊峰;赵子东;许春立;张大剑
受保护的技术使用者：上海子创镀膜技术有限公司
技术研发日：2018.11.26
技术公布日：2019.02.01