技术特征：
技术总结
一种低温缓冲层技术制备柔性氧化钒复合薄膜的方法。一种氧化钒复合薄膜的制备方法，包括，步骤一，在衬底上形成耐高温柔性材料薄膜，以形成基片；步骤二，在所述基片上的所述柔性材料薄膜上形成氧化钒缓冲层；步骤三，对形成有所述氧化钒缓冲层的基片进行退火；步骤四，在所述氧化钒缓冲层上再次形成氧化钒薄膜。上述方法制备过程简单，且容易控制，通过该制备方法所获得的复合柔性薄膜表面均匀、结构致密、成膜质量好、结晶良好、与聚酰亚胺结合紧密且不易脱落，为柔性氧化钒器件，例如氧化钒太赫兹探测器的制备奠定了基础。
技术研发人员：鲁远甫;李锐;李光元;杨春雷;魏广路;佘荣斌
受保护的技术使用者：深圳先进技术研究院
技术研发日：2018.12.18
技术公布日：2019.04.23