金属网沉积金刚石涂层装置和金属网沉积金刚石涂层系统的制作方法

文档序号:16545950发布日期:2019-01-08 20:51阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金属网沉积金刚石涂层装置,其特征在于,所述金属网沉积金刚石涂层装置包括夹具本体(100);

所述夹具本体(100)包括平行设置的第一本体(110)和第二本体(120),所述第一本体(110)和所述第二本体(120)的本体内部均独立地具有空洞,金属网(200)置于所述第一本体(110)与所述第二本体(120)之间,且金属网(200)边缘尺寸大于所述第一本体(110)和所述第二本体(120)的空洞尺寸,所述第一本体(110)与所述第二本体(120)通过垂直于所述第一本体(110)的可拆卸夹紧机构(130)固定,以夹紧所述第一本体(110)与所述第二本体(120)之间的金属网(200)。

2.按照权利要求1所述的金属网沉积金刚石涂层装置,其特征在于,所述第一本体(110)和所述第二本体(120)均为钼盘。

3.按照权利要求1所述的金属网沉积金刚石涂层装置,其特征在于,所述可拆卸夹紧机构(130)包括螺栓(131)和螺母(132)。

4.按照权利要求1-3任一项所述的金属网沉积金刚石涂层装置,其特征在于,所述夹具本体(100)还包括第一弹簧片(141)或第二弹簧片(142);

第一弹簧片(141)位于所述第一本体(110)内侧;

第二弹簧片(142)位于所述第二本体(120)内侧。

5.按照权利要求1-3任一项所述的金属网沉积金刚石涂层装置,其特征在于,所述夹具本体(100)还包括第一弹簧片(141)和第二弹簧片(142);

所述第一弹簧片(141)位于所述第一本体(110)内侧;

所述第二弹簧片(142)位于所述第二本体(120)内侧。

6.包括权利要求1-5任一项所述的金属网沉积金刚石涂层装置的金属网沉积金刚石涂层系统。

7.按照权利要求6所述的金属网沉积金刚石涂层系统,其特征在于,所述金属网沉积金刚石涂层系统包括真空系统和与所述真空系统相连通的反应室;

所述反应室内设有热丝加热器(300);所述热丝加热器包括上下排热丝;所述金属网沉积金刚石涂层装置至于上下排热丝之间。

8.按照权利要求7所述的金属网沉积金刚石涂层系统,其特征在于,所述热丝加热器(300)上方设有气体分配器;

所述气体分配器包括氢气室、甲烷气室和水冷室;所述氢气室设有氢气通道,用于通入氢气;所述甲烷气室设有甲烷通道,用于通入甲烷气体;所述水冷室设有进水口和出水口,用于通入冷却水。

9.按照权利要求7或8所述的金属网沉积金刚石涂层系统,其特征在于,所述热丝加热器(300)的热丝为钨丝;

所述钨丝直径为1-3mm。

10.按照权利要求7或8所述的金属网沉积金刚石涂层系统,其特征在于,所述上下排热丝之间的垂直距离为30-40mm;

其中,上排热丝距离金属网(200)的垂直距离为20-25mm。

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