技术总结
本实用新型公开了OLED蒸镀坩埚,包括坩埚本体和坩埚本体上设置的蒸镀蒸汽喷出结构,蒸镀蒸汽喷出结构包括用于蒸镀蒸汽喷出或溢出的喷口,蒸镀蒸汽喷出结构上设置有防喷口堵塞机构。本实用新型通过喷嘴转动设置降低了喷嘴处降温速度,这样在整个蒸镀过程中只需控制好转轴的转速,就能实现喷嘴其喷口处始终处于一个还算较高的温度,这样避免了蒸镀蒸汽在经过喷嘴时冷凝而堵塞喷口的情况;或者通过将喷嘴采用钢管并配合电涡流的方式使得喷口处钢管的温度达到防止蒸镀蒸汽在喷口冷凝的温度,也避免了蒸镀蒸汽在经过喷嘴时冷凝而堵塞喷口的情况。
技术研发人员:瞿建强;瞿一涛;黄仕强;陆彬锋
受保护的技术使用者:江阴市光科真空机械有限公司
技术研发日:2018.04.08
技术公布日:2018.11.23